-
Ученая степенькандидат физико-математических наук
-
Научное направлениеФизико-математические науки
-
РегионРоссия / Ярославская область
Работает в Ярославском Филиале Учреждения Российской академии наук Физико-технологического института РАН.
Координатор от Физико-технологического института РАН для решения вопросов в научной и образовательной сферах в рамках соглашения о сотрудничестве между Физико-технологическим институтом РАН (Россия) и Волынским государственным университетом имени Леси Украинки (Украина).
Маковийчук Мирослав Иванович, 1954г. рождения, гражданин России. Окончил физический факультет Черновицкого государственного университета в 1976г. Защитил диссертацию «Влияние ионной имплантации и послеимплантационных термических обработок на низкочастотный токовый шум в особо чистом кремнии» на соискание степени кандидата физико-математических наук в 1985г. (НИИ прикладной физики, г. Москва). Практические навыки получил на заводе «Кварц» (г. Черновцы), где работал с 1976 по 1987г. инженером-технологом 1 категории, начальником участка ионной имплантации. В настоящее время – ведущий научный сотрудник Ярославского филиала физико-технологического института РАН.
Член IMAPS (International Microelectronics and Packaging Society) и ASATeF (Association for Science, Art and Technology of Fluctuations).
Маковийчук М.И. осуществляет научное руководство темами исследований: «Разработка полупроводникового газового сенсора на основе эффектов адсорбционно-десорбционной фликкер-шумовой спектроскопии для контроля содержания хлорорганических соединений в газовой среде» и «Разработка универсального измерительного комплекса на базе адсорбционно-десорбционной фликкер-шумовой спектроскопии для контроля стойких органических загрязнителей в окружающей среде».
Маковийчук М.И. разработал новые аналитические методы исследования:
Адсорбционно-десорбционная фликкер-шумовая спектроскопия - для анализа поверхности полупроводников;
Дефектно-примесная фликкер-шумовая спектроскопия - для анализа объемных свойств полупроводников.
Применение указанных методов продемонстрировано им при разработке технологии фликкер-шумовых газовых сенсоров для селективного детектирования хлорорганических соединений в окружающей газовой среде. Данная работа вошла в Отчет о деятельности РАН в 2002 и 2005 году, в раздел «Основные исследования и разработки научных учреждений РАН, готовые к практическому применению».
Научные интересы:
Фундаментальные закономерности фликкер-шумовых процессов в структурно-неупорядоченных кремниевых системах и физические основы фликкер-шумовых методов их диагностики;
Мониторинг окружающей среды.
Научные публикации
Автор более 200 научных публикаций в научных журналах и трудах конференций и 4 патентов:
1.Патент РФ № I559983, МКИ Н OIL 2I/66.- Способ операционного контроля ионно-легированных слоев./ Маковийчук М.И. // I4.04. I993.
2.Патент № 2193803 РФ, МКИ 7H01L21/76.- Способ ионного синтеза в кремнии захороненного слоя изолятора. / Денисенко Ю.И., Кривелевич С.А., Маковийчук М.И., Паршин Е.О. // 27.11.2002.
3.Патент на полезную модель № 79182 РФ – Газовый сенсор и устройство для контроля газовой среды. / Маковийчук М.И., Чапкевич А.А., Чапкевич А.Л. //. 20.12.2008.
4.Патент на изобретение № 2383012 РФ – Способ контроля газовой среды и устройство для его осуществления. / Маковийчук М.И., Чапкевич А.А., Чапкевич А.Л. // 27.02.2010.