- Результаты системного анализа существующих конструкций, технологий изготовления, методов проектирования и систем контроля качества в процессе серийного производства тонкопленочных элементов ПЧ высоконадежных МП СВЧ-устройств с повышенным уровнем мощности. Разработанные классификации маршрутов изготовления МПП и пути повышения их качества.
- Результаты теоретического и экспериментального исследования влияния конструктивно-технологических факторов на потери в многослойных МПЛ, имеющих структуру слоев V(Cr)-Cuв-Cuг-Niг-Auг на частотах дециметрового диапазона, позволившие установить основные причины, существенно влияющие на увеличение потерь энергии многослойной МПЛ.
- Результаты экспериментального исследования, а также анализа физики отказов ТРН при воздействии импульсной СВЧ мощности, показывающие существенное влияние на предельную импульсную мощность рассеяния ТРН трех основных факторов: качества поверхности подложки, температуры плавления резистивной пленки и покрытия поверхности и краев резистивной пленки диэлектрической пленкой. Методика конструктивного расчета согласованных ТРН при воздействии импульсной СВЧ мощности.
- Математические модели, методика и алгоритмы для автоматизированного проектирования ТРЭ СВЧ-устройств, которые, совместно с предложенными автоматизированными системами технологического обеспечения качества, позволяют существенно увеличить процент выхода годных МПП за счет учета систематических и случайных составляющих производственных погрешностей КТП, возникающих при установившемся серийном производстве изделий.
- Тестовая резистивная структура, математическая модель, методика и алгоритм для создания автоматизированных систем АСК и СРТП при серийном изготовлении ПЧ СВЧ-устройств. Результаты экспериментальных исследований погрешностей КТП резисторов, включая контактные сопротивления, при серийном изготовлении МПП с ТПР.
- Новые конструкции, способы изготовления и способ управления ТП изготовления элементов ПЧ СВЧ-устройств, позволяющие существенно повысить их надежность и улучшить электрические и массогабаритные характеристики: снизить потери энергии в МПЛ и повысить их коррозионную стойкость; повысить предельную импульсную мощность рассеяния ТРН при сохранении габаритов; обеспечить высокую стабильность ТРЭ и автоматизировать процессы управления качеством при серийном изготовлении.
1. Крючатов В.И., Насыров И.К. Расчет тонкопленочных резисторов с учетом переходного сопротивления контакта // Вестник КГТУ им. А.Н. Туполева. Казань, 1998. № 1. С. 42–45.
2. Крючатов В.И., Насыров И.К. Исследование предельной импульсной мощности рас-сеяния резистивных пленок на подложках СВЧ интегральных схем // Вестник КГТУ им. А.Н. Туполева. Казань, 1998. № 2. С. 19–22.
3. Крючатов В.И. Применение персонального компьютера для расчета прецизионных резистивных элементов интегральных схем по методике, учитывающей контактные сопро-тивления // Вестник КГТУ им. А.Н. Туполева. Казань, 2007. № 1. С. 33–37.
4. Крючатов В.И. Технология изготовления микрополосковых линий СВЧ ГИС с повы-шенной надежностью // Вестник КГТУ им. А.Н. Туполева. Казань, 2009. № 2. С. 34–36.
5. Крючатов В.И. Методика автоматизированного конструктивного расчета тонкопле-ночных резисторов с учетом производственных погрешностей // Вестник КГТУ им. А.Н. Ту-полева. Казань, 2009. № 3. С. 53–59.
6. Крючатов В.И. Математическая модель для исследования погрешностей сопротивле-ний резисторов интегральных схем // Нелинейный мир. М.: 2009. Т.7. № 5. С. 70-75.
7. Крючатов В.И. Математическая модель тонкопленочного резистора, включая переходные сопротивления контактов // Вестник КГТУ им. А.Н. Туполева. Казань, 2009. № 4. С. 43–48.
8. Крючатов В.И. Экспериментальное исследование технологических погрешностей и контактных сопротивлений тонкопленочных резистивных структур // Вестник КГТУ им. А.Н. Туполева. Казань, 2010. №1. С. 48–53.
9. Крючатов В.И. Автоматизированные системы технологического обеспечения качества тонкопленочных резисторов при учете контактных сопротивлений // Вестник КГТУ им. А.Н. Туполева. Казань, 2010. № 2. С. 53–58.
Авторские свидетельства СССР и патенты РФ на изобретение:
10. А.с. 1314847 СССР, МКИ4 H01C 7/00. Толстопленочный резистор / Ю.П. Конов, В.И. Крючатов, М.З. Валеев. № 3864958/24-21; заявл. 07.03.85; опубл. 01.02.87.
11. А.с. 1316453 СССР, МКИ4 H01C 17/22. Пленочный резистор / Ю.П. Конов, В.И. Крючатов, М.З. Валеев. № 3840374/24-21; заявл. 08.01.85; опубл. 08.02.87.
12. Пат. № 2308127 Российская Федерация, C1, H01P 1/26. Полосковая нагрузка / Крю-чатов В.И., Кузнецов Д.И.; заявл. 12.12.2005; опубл. 10.10.2007, Бюл. №28.
13. Пат. № 2309489 Российская Федерация, C2, H01P 1/22. Полосковый аттенюатор / Крючатов В.И., Кузнецов Д.И.; заявл. 12.12.2005; опубл. 27.10.2007, Бюл. №30.
14. Пат. № 2338341 Российская Федерация, C2, H05K 3/02, H05K 3/06. Способ изготов-ления полосковой платы на диэлектрической подложке / Крючатов В.И.; заявл. 28.12.2006; опубл. 10.11.2008, Бюл. №31.
15. Пат. № 2342812 Российская Федерация, C2, H05K 3/02, H05K 3/06. Способ изготов-ления плат гибридных интегральных схем Крючатова В.И. / Крючатов В.И.; заявл. 24.01.2007; опубл. 27.12.2008, Бюл. №36.
16. Пат. № 2339104 Российская Федерация, C1, H01C 17/24. Способ изготовления пле-ночных резисторов / Крючатов В.И.; заявл. 16.03.2007; опубл. 20.11.2008, Бюл. №32.
17. Пат. № 2332741 Российская Федерация, C1, H01C 17/075. Способ изготовления тон-копленочных резисторов / Крючатов В.И.; заявл. 16.04.2007; опубл. 27.08.2008, Бюл. №24.
18. Пат. № 2341048 Российская Федерация, C1, H05K 3/18. Способ изготовления микрополосковых СВЧ-интегральных схем / Крючатов В.И.; заявл. 28.06.2007; опубл. 10.12.2008, Бюл. №34.
19. Пат. № 2339103 Российская Федерация, C1, H01C 1/032. Резистор с повышенной мощностью рассеяния и способ его изготовления / Крючатов В.И.; заявл. 17.07.2007; опубл. 20.11.2008, Бюл. №32.
20. Пат. № 2403649 Российская Федерация., C1, H01L 21/66. Способ управления групповы-ми технологическими процессами изготовления резистивных компонентов интегральных схем / Крючатов В.И.; заявл. 17.08.2009; опубл. 10.11.2010, Бюл. № 31.
Статьи в периодических изданиях и сборниках трудов:
21. Крючатов В.И. Оптимизация технологии изготовления резистивно-проводящих эле-ментов с малым переходным контактным сопротивлением // Электронное приборостроение. Казань, 1997. Вып. 3. С. 40–44.
22. Крючатов В.И., Коннов Ю.П. Подгонка сопротивления пленочных резисторов с по-мощью лазера // Обмен производственно техническим опытом. М.: НИИ ЭИР, 1989.
23. Крючатов В.И. Подгонка тонкопленочных резисторов, защищенных фоторезистив-ным слоем // Обмен производственно техническим опытом. М.: НИИ ЭИР, 1990.
24. Крючатов В.И. Исследование термостабильности толстопленочных резисторов, подгоняемых лазерным способом // Электронное приборостроение. Казань, 1997. Вып. 2. С. 39–43.
25. Крючатов В.И. Исследование влияния лазерной подгонки на стабильность тонко-пленочных резисторов с защитным фоторезистивным слоем // Электронное приборострое-ние. Казань, 1997. Вып. 2. С. 44–49.
26. Крючатов В.И. Исследование влияния структуры микрополосковых линий и технологии их изготовления на погонные потери // Электронное приборостроение. Казань, 1997. Вып. 4. С. 41–43.
27. Крючатов В.И., Карамов Ф.А. Конструктивно-технологические вопросы проектирования тонкопленочных резистивных нагрузок ГИС СВЧ диапазона при воздействии импульсной СВЧ мощности // Электронное приборостроение. Казань, 2002. Вып. 5. С. 108–116.
28. Крючатов В.И., Карамов Ф.А. Проектирование высокостабильных прецизионных резистивных элементов тонкопленочных ГИС с учетом контактных сопротивлений // Элек-тронное приборостроение. Казань, 2002. Вып. 5. С. 93–107.
29. Крючатов В.И., Карамов Ф.А. Разработка методики и программных модулей расчета прецизионных тонкопленочных резисторов с учетом контактных сопротивлений // Электронное приборостроение. Казань, 2004. Вып. 7. С. 40–58.
Материалы конференций:
30. Тюхтин М.Ф., Крючатов В.И. Исследование точности изготовления тонкопленоч-ных элементов ГИС СВС на поликоре // Тез. докл. Всесоюзной конф. «Интегральная элек-троника СВЧ». Новосибирск, 1988.
31. Крючатов В.И. Состояние и перспективы развития технологии изготовления тонко-пленочных и микрополосковых плат микросборок // Тез. докл. межреспубликанской конф. «Состояние и перспективы развития основных направлений радиотехнологии и спецмашиностроения». Казань, 1989. С. 50-51.
32. Крючатов В.И. Исследование влияния технологии контактов на величину сопротив-ления тонкопленочных резисторов // Тез. докл. межреспубликанской конф. «Состояние и перспективы развития основных направлений радиотехнологии и спецмашиностроения». Казань, 1989. С. 130-131.
33. Крючатов В.И., Яхин Ш.З., Мумжиева Т.П. Влияние технологии защитных покрытий на потери в микрополосковых линиях СВЧ модулей // Тез. докл. межреспубликанской конф. «Состояние и перспективы развития основных направлений радиотехнологии и спецмашиностроения». Казань, 1989. С. 119-120.
34. Крючатов В.И. Влияние технологии защитных покрытий на потери в микрополос-ковых линиях СВЧ модулей // Тез. докл. I Всесоюзной научно-технической конф. «Актуаль-ные проблемы технологии композиционных материалов и радиокомпонентов в микроэлек-тронных информационных системах». Ялта, 1990.
35. Невзоров В.Н., Крючатов В.И., Карамов Ф.А. Автоматизированная система управле-ния технологическими процессами для обеспечения качества датчиков, выполненных мето-дом вакуумного напыления тонких пленок на установке «Магнетрон» // Сборник докладов Всероссийской научно-технической конференции 2-6 сентября 2003 г. Пенза: ФГУП «НИИ физических измерений», 2003. С. 71–72.
36. Крючатов В.И. Исследование потерь энергии в многослойных микрополосковых линиях СВЧ ГИС для радиотехнических систем опознавания // Материалы Международной молодежной научной конференции 9-10 ноября 2007 г. XV Туполевские чтения, т. 4. Казань: КГТУ им. А.Н. Туполева, 2007. С. 80-83.
37. Крючатов В.И. Методика косвенного экспериментального определения производ-ственных погрешностей конструктивно-технологических параметров резистивных элементов гибридных интегральных схем // Материалы научно-практической конференции, посвященной 50-летию со дня образования Казанского научно-исследовательского института радиоэлектроники. «Пути развития государственного опознавания». Казань, 2008. С. 56-67.
Учебное пособие
38. Крючатов В.И., Карамов Ф.А. Технология и конструирование высокостабильных прецизионных резистивных элементов тонкопленочных гибридных интегральных схем с учетом контактных сопротивлений: Учебное пособие. Казань: Изд-во Казан. гос. техн. ун-та, 2002. 55 с.