- Математическая модель ТПР, включающая в себя:- систематические погрешности формирования физической структуры ТПР;- контактное сопротивление;- сопротивление электродов;- систематическую погрешность, за счет исключения контактных площадок перекрытия резистивного и проводящего слоя.
- Конструкция гребенчатого резистора.
- Методы повышения качества тонкопленочных МСБ, включающие в себя:- способ изготовления ТПР методом двойной фотолитографии;- способы компенсации систематических погрешностей тонкопленочных элементов;- метод оценки качества тонкопленочной платы;- метод определения погрешностей формирования структуры тонкопленочных элементов;- устройство контроля качества сварных соединений.
- Конструктивно-технологические варианты многоуровневых плат, включающие в себя:- платы с толстопленочной полимерной изоляцией;- платы с подложкой из кремния.
- Методы проектирования тонкопленочной МСБ, включающие в себя:- интегрально-групповой метод компоновки;- метод расчета стационарного теплового режима;- метод проектирования топологии платы.
1.Спирин, В.Г. Проектирование и технология тонкопленочных микросборок с топологическими размерами 10-50 мкм: Монография / В.Г. Спирин.- Арзамас: АГПИ, 2005.- 146 с.
2.Спирин, В.Г. Тонкопленочные резисторы многокристальных модулей: Учебное пособие / В.Г. Спирин.- АПИ (филиал) НГТУ им. Р.Е. Алексеева; Арзамас: Издательство ОО «Ассоциация уче-ных» г. Арзамаса, 2007, 112 с.
Статьи в рецензируемых изданиях, рекомендованных ВАК
3.Спирин, В.Г. Исследование добротности и немоночастотности резонатора пьезоэлектрическо-го дискового гироскопа / В.Г. Спирин // Датчики и системы.- 2004.- № 5.- С. 43-45.
4.Спирин, В.Г. Собственные частоты колебаний резонатора пьезоэлектрического дискового ги-роскопа / В.Г. Спирин // Датчики и системы. 2004.- № 8.- С. 35-37.
5.Спирин, В.Г. Расчет и исследование стационарного теплового режима тонкопленочной мик-росборки / В.Г. Спирин // Проектирование и технология электронных средств.- 2005.- № 1.- С.27-32.
6.Спирин, В.Г. Проблемы проектирования и технологии тонкопленочных микросборок с топо-логическими размерами 10-50 мкм / В.Г. Спирин // Проектирование и технология электронных средств.-2005.- № 2.- С 15-18.
7.Спирин, В.Г. Особенности проектирования микроэлектронной аппаратуры с микросборками высокой интеграции / В.Г. Спирин // Проектирование и технология электронных средств.-2005.- № 3.- С 7-11.
8.Спирин, В.Г. Исследование конструктивной погрешности сопротивления тонкопленочного резистора / В.Г. Спирин // Известия вузов. Электроника.- 2005.- № .6- С. 95-96.
9.Спирин, В.Г. Контактное сопротивление тонкопленочного резистора / В.Г. Спирин // Нано- и микросистемная техника.- 2007.- № 10.- С. 56-60.
10.Спирин, В.Г. Исследование погрешностей определения параметров тонкопленочного резистора / В.Г. Спирин // Заводская лаборатория. Диагностика материалов.- 2008.- № 2.- С. 33-36.
11.Спирин, В.Г. Сопротивление электродов тонкопленочного резистора / В.Г. Спирин // Нано- и микросистемная техника.- 2008.- № 7.- С. 19 - 24.
12.Спирин, В.Г. Тонкопленочные многоуровневые коммутационные платы с толстопленочной полимерной изоляцией / В.Г. Спирин // Вестник Московского авиационного института.-2008, т.15.- № 3.- С 114-119.
Материалы международных конференций
13.Спирин, В.Г. Методы повышения плотности упаковки тонкопленочной микросборки / В.Г. Спирин // Материалы международной научно-технической конференции «Информационные си-стемы и технологии – 2008».- Н. Новгород, НГТУ 2008г.- С. 56.
14.Спирин, В.Г. Сопротивление контактов тонкопленочного резистора / В.Г. Спирин // Труды девятой международной научно-практической конференции «Современные информационные и электронные технологии – 2008», Т. 2.- Одесса, ОНПУ, 2008г.- С. 115.
15.Спирин, В.Г. Математическая модель сопротивления тонкопленочного резистора / В.Г. Спи-рин // Труды международной научно-технической конференции «Пассивные электронные компо-ненты – 2008».- Н. Новгород, НПО «Эркон», 2008г.- С. 158-162.
16.Спирин, В.Г. Методы оценки качества тонкопленочной платы / В.Г. Спирин // Труды между-народного симпозиума «Надежность и качество – 2008», Т. 2.- Пенза, ПГУ, 2008г.- С. 5-8.
17.Спирин, В.Г. Технология двухуровневой кремниевой платы микросенсоров / В.Г. Спирин // Труды Восьмого международного симпозиума «Интеллектуальные системы (INTELS`2008)», Рос-сия, Нижний Новгород, НГТУ им. Р.Е. Алексеева, 2008г.- С. 664-668.
18.Спирин, В.Г. Контроль структурных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // 18-ая Всероссийская научно-техническая конференция с международным участием «Неразру-шающий контроль и техническая диагностика». Н. Новгород, НГТУ, 2008.- С. 101-102.
19.Спирин, В.Г. Технология тонкопленочной микросборки акселерометра / В.Г. Спирин // 7-ая международная конференция «Авиация и космонавтика – 2008», Москва, МАИ, 2008.- С. 351.
Авторские свидетельства и патенты:
20.А.с. 1589743 СССР. Устройство для контроля качества приварки вводов и выводов микросхем / В.С. Кораблев, В.Г. Спирин., В.З. Гончаров.– 01.05.90.
21.А.с. 1795740 СССР, МКИ5 G 01 N 27/02. Способ измерения влажности / В.Г. Спирин.– 08.10.90.
22.А.с. 1628836 СССР, МКИ5 H 05 K 3/00. Способ изготовления многослойной платы / В.С. Ко-раблев, В.Г. Спирин– 15.10.90.
23.Заявка № 4799691. Устройство для контроля качества приварки вводов и выводов микросхем / В.Г. Спирин.– Решение о выдаче патента РФ от 15.06.92.
24.Заявка № 4915519 от 01.03.91 г. Способ изготовления платы / Кораблев В.С., В.Г. Спирин.- Решение о выдаче патента РФ от 22.06.92.
25.Пат. 2213383 РФ, МПК7 H 01 C 17/00. Способ изготовления тонкопленочных резисторов / В.Г. Спирин.- 27.09.2003.
26.Пат. 2231150 РФ, МПК7 H 01 C 7/00, 17/00. Тонкопленочный резистор и способ его изготовле-ния / В.Г. Спирин.- 20.06.2004.
27.Пат. 2244969 РФ, МПК7 H 01 C 7/00, 17/00. Тонкопленочный резистор / В.Г. Спирин., В.И. Чи-пурин.- 20.01.2005.
28.Пат. 2218555 РФ, МПК7 G 01 C 19/56, G 01 P 9/04. Пьезоэлектрический дисковый гироскоп / В.Г. Спирин.- 10.12.2003.
Статьи, опубликованные в зарубежном журнале
29.Спирин, В.Г. Метод компоновки плат микросборки / В.Г Спирин // Технология и конструиро-вание в электронной аппаратуре.- 2004.- №1.- С. 11-13.
30.Спирин, В.Г. Математические модели сопротивления тонкопленочного резистора с размерами 50 мкм / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в радиоэлектронной аппарату-ре.- 2004.- № 2.- С. 14-16.
31.Спирин, В.Г. Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппарату-ре.- 2004.- № 4.- С. 9-11.
32.Спирин, В.Г. Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. 2004.- № 4.- С. 50-53.
33.Спирин, В.Г. Метод проектирования топологии тонкопленочной микросборки c размерами пленочных элементов 10-50 мкм / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. .-2004.- № 5.- С. 6-10.
34.Спирин, В.Г. Перспективы развития тонкопленочных микросборок / В.Г. Спирин // Техноло-гия и конструирование в радиоэлектронной аппаратуре.-2005.- № 1.- С 3-6.
35.Спирин, В.Г. Конструкторско-технологические варианты коммутационных плат с подложкой из кремния / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в радиоэлектронной аппаратуре.- 2005.- № 1.- С. 48-50.
36.Спирин, В.Г. Монтаж микросборок с подложкой из кремния / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в радиоэлектронной аппаратуре.- 2005.- № 2.- С. 46-48.
Статьи
37.Спирин, В.Г. Влияние конструктивно-технологических факторов на адгезионную прочность тонких пленок / В.Г. Спирин, В.С. Кораблев, В.С. Новиков // Технология авиационного приборо- и агрегатостроения. Производственно-технический сборник. Вып. 3, 1989.- С. 47-48.
38.Спирин, В.Г. Методы определения коэффициента формы тонкопленочных резисторов при проектировании и изготовлении гибридных интегральных схем / В.Г. Спирин // Технология авиа-ционного приборо- и агрегатостроения. Производственно-технический сборник. Вып.2, 1990.- С. 66-68.
39.Спирин, В.Г. Повышение стабильности тонкопленочных резисторов / В.Г. Спирин, В.С. Ко-раблев // Приборы и системы управления. № 3, 1990.- С. 39-40.
40.Спирин, В.Г. Расчет стационарного теплового режима тонкопленочной микросборки / В.Г. Спирин // Вестник МВВО. Серия: Высокие технологии в радиоэлектронике, информатике и связи Н. Новгород. 2003.- Выпуск 1(9).- С. 15-19.
41.Спирин, В.Г. Способы изготовления тонкопленочных резисторов / В.Г. Спирин // Вестник МВВО. Серия: Высокие технологии в радиоэлектронике, информатике и связи. Н. Новгород. 2003.- Выпуск 1(9).- С. 7-10.
42.Спирин, В.Г. Оценка влияния сопротивления электродов на погрешность тонкопленочного резистора / В.Г. Спирин // Вестник МВВО. Серия: Высокие технологии в радиоэлектронике, информатике и связи. Н. Новгород. 2003.- Выпуск 1(9).- С. 11-14.
43.Спирин, В.Г. Ключевые проблемы миниатюризации в проектировании аналоговых тонкопле-ночных микросборок и возможные пути их решения / В.Г. Спирин // Электронная промышлен-ность.-2005. № 1. С. 50-54.
44.Спирин, В.Г. Выбор конструкций тонкопленочных резисторов для микросборок высокой ин-теграции / В.Г. Спирин // Электронная промышленность.- 2005.- № 1. С. 55-59.
45.Спирин, В.Г. Влияние ошибок совмещения на погрешность сопротивления тонкопленочного резистора / В.Г. Спирин // Электронная промышленность.- 2005.- № 1. С. 60-62.
Материалы конференций
46.Спирин, В.Г. Повышение качества и воспроизводимости тонкопленочных элементов в приборостроении / В.Г. Спирин, В.А. Шаров // Повышение качества и эффективности в машино- и приборостроении Материалы юбилейной научно-технической конференции с участием международных специалистов. АТН РФ, НГТУ, Н. Новгород, 1997г.- С. 150-151.
47.Спирин, В.Г. Особенности проектирования тонкопленочных резисторов ГИС / В.Г. Спирин В.А. Потехин, Н.П. Ямпурин // Научно-техническая конференция факультета информационных систем и технологий. Тезисы докладов. - Н. Новгород. НГТУ, 1998г.- С. 34-35.
48.Спирин, В.Г. Особенности расчета РИС высокой интеграции / В.Г. Спирин, Н.П. Ямпурин // Наука – производству: современные задачи управления, экономики, технологии и экологии в ма-шино- и приборостроении. Сборник материалов Всероссийской научно-технической конференции, посвященной 30-летию Арзамасского филиала НГТУ. – Арзамас, 1998. - С. 252.
49.Потехин, В.А. Расчет числа квадратов резистора сложной формы / В.А. Потехин, В.Г. Спирин, Б.Д. Шурыгин // Материалы Всероссийской научно-технической конференции, посвященной 30-летию Арзамасского филиала НГТУ. 24-25 ноября 1998г. - С. 250, 251.
50.Спирин, В.Г. Коммутационные платы с подложкой из кремния для информационных систем / В.Г. Спирин // Информационные технологии в промышленности и учебном процессе.- Сборник материалов выездной сессии седьмой научно-технической конференции, Москва-Арзамас, МГОУ, Арзамасский филиал НГТУ, 2004.- С. 46-47.
51.Спирин, В.Г. Оценка инструментальных погрешностей сопротивления тонкопленочного резистора / В.Г. Спирин // Прогрессивные технологии в машино- и приборостроении. Межвузовский сборник статей по материалам Всероссийской НТК с участием международных специалистов. Н. Новгород – Арзамас, НГТУ – АФ НГТУ, 2003, С 363-365.
52.Спирин, В.Г. Исследование погрешностей функций тонкопленочных резисторов / В.Г. Спи-рин, Н.П. Ямпурин // Прогрессивные технологии в машино- и приборостроении. Межвузовский сборник статей по материалам Всероссийской НТК с участием международных специалистов. Н. Новгород – Арзамас, НГТУ – АФ НГТУ, 2003, С 358-362.
53.Спирин, В.Г. Особенности схемотехнического проектирования тонкопленочных микросборок / В.Г. Спирин // Прогрессивные технологии в машино- и приборостроении. Межвузовский сборник статей по материалам Всероссийской НТК с участием международных специалистов. Н. Новгород – Арзамас, НГТУ – АФ НГТУ, 2003, С 370-372.
54.Потехин, В.А. Расчет функции числа квадратов углового участка тонкопленочного резистора / В.А. Потехин, В.Г. Спирин, Шурыгин Б.Д. // Прогрессивные технологии в машино- и приборо-строении. Межвузовский сборник статей по материалам Всероссийской НТК с участием международных специалистов. Н. Новгород – Арзамас, НГТУ – АФ НГТУ, 2003, С 366-369.
55.Спирин, В.Г. Особенности проектирования электронных преобразователей датчиков первич-ной информации / В.Г. Спирин // Труды Российского научно-технического общества радиотехни-ки, электроники и связи имени А.С. Попова. Серия: Научная сессия, посвященная дню Радио. - М., 2005.- Вып. 60–2.- С. 71-75.
56.Спирин, В.Г. Интегрально-групповой метод компоновки микросборки / В.Г. Спирин // Про-грессивные технологии в машино- и приборостроении. Межвузовский сборник статей по материалам Всероссийской научно-технической конференции. – Нижний Новгород-Арзамас: НГТУ-АПИ НГТУ, 2007. – С. 436-443.
57.Спирин, В.Г. Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // Труды Российского научно-технического общества радиотехники, электроники и связи имени А.С. Попова. Серия: Научная сессия, посвященная дню Радио. - М., 2008.- Вып. 63.- С. 350-352.
58.Спирин, В.Г. Контроль структурных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // 18-ая Всероссийская научно-техническая конференция с международным участием «Неразру-шающий контроль и техническая диагностика». Н. Новгород, НГТУ, 2008.- С. 101-102.
59.Спирин, В.Г. Многоуровневые платы с толстопленочной изоляцией / В.Г. Спирин // V межре-гиональная научно-практическая конференция «Современные информационные и телекоммуни-кационные технологии в образовании, науке и технике», Арзамасский филиал Современной гуманитарной академии, 2008.- С 275-281.