- Научная новизна работы состоит в том, что в данной работе впервые осуществлен комплексный подход в создании новых высокоэффективных технологий и оборудования для лазерной обработки деталей приборостроения, микро - и оптоэлектроники.
- В диссертационной работе предложена математическая модель процесса лазерного управляемого термораскалывания различных изотропных и анизотропных материалов, позволяющая производить расчеты температурных полей и полей термических напряжений и раскрыть феноменологический механизм зарождения и развития трещины в хрупком материале.
- Установлена взаимосвязь между основными параметрами процесса ЛУТ различных типов хрупких неметаллических материалов, используемых в производстве изделий приборостроения, микро- и оптоэлектроники, позволившая оптимизировать режимы процесса лазерного разделения.
- Обоснован выбор оптимальной модовой структуры лазерного излучения для процесса лазерного управляемого термораскалывания.
- Проанализирован характер изменения температурных полей и полей
напряжений в различных направлениях по отношению к кристаллографической ориентации монокристаллической пластины. - Впервые исследовано влияние анизотропии теплофизических и механических свойств различных монокристаллических материалов на параметры технологического процесса лазерного управляемого термораскалывания.
- Разработана методика учета и компенсации анизотропии свойств обрабатываемого монокристалла за счет активного изменения технологических параметров резки в течение всего технологического цикла.
- Получены новые научные данные, позволившие разработать технологический процесс лазерного управляемого термораскалывания таких анизотропных материалов, как сапфир, кварц, кремний, арсенид галлия, карбид кремния и ряда других полупроводниковых материалов.
- Разработана общая концепция построения специализированного технологического оборудования для прецизионной резки широкого класса многофункциональных материалов, включая резку приборных пластин на базе анизотропных материалов на кристаллы. Разработаны и обоснованы критерии и требования к основным функциональным узлам и механизмам технологического оборудования, в том числе, к источнику лазерного излучения, оптической фокусирующей системе и механизму подачи хладагента.
- Разработан общий алгоритм программы и комплекс программно аппаратных средств управления данным оборудованием.
1.Гиндин П.Д., Бельский А.Б., Ковалев С.В., Савченко А.М., Соболев В.П. Лазерные наноматериалы и технологии: Монография. - М.: МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2006. 221 с.
2.Кондратенко В.С., Борисовский В.Е., Гиндин П.Д. Сварка кварцевого стекла: Монография. – М.: ИРВИ-Водолей, 2006. 114 с.
3.Гиндин П.Д., Кондратенко В.С., Наумов А.С. Лабораторный практикум по курсу «Лазерное управляемое термораскалывание приборных пластин на кристаллы»: Учеб.- метод. пособие. – М.: Изд. МГУПИ, 2006. 39 с.
4.Гиндин П.Д. Компьютерное управление установками лазерной резки: Лабораторный практикум. – М.: Изд. МГУПИ, 2008. 11 с.
5.Борисовский В.Е. Гиндин П.Д. Математическое моделирование: Лабораторный практикум. – М.: Изд. МГУПИ, 2008. 11 с.
Публикации в изданиях, рекомендованных ВАК
6.Kondratenko V., Tchernykh S., Gindin P. Laser controlled thermocracking die separation technique for sapphire substrate based devices // Physic Status Solid 7, 2232 – 2235 (2003)/ DOI 10.1002/ pssc.200303548.
7.Кондратенко В.С., Борисовский В.Е., Гиндин П.Д., Сек-Джун Ли, Наумов А.С. Разработка технологии лазерного управляемого термораскалывания плоских дисплейных панелей // Приборы. 2005. № 4 (58). С.35 - 38.
8.Кондратенко В.С., Борисовский В.Е., Гиндин П.Д., Сорокин А.В., Наумов А.С. Устройство контроля трещины в процессе лазерного управляемого термораскалывания стекла // Приборы. 2005. № 6 (60). С. 9 – 10.
9.Кондратенко В.С., Борисовский В.Е., Гиндин П.Д., Седаева Н.Р., Наумов А.С. Лазерное притупление острых кромок изделий // Приборы. 2005. № 12 (66). С. 37 – 41.
10.Кондратенко В.С., Борисовский В.Е., Гиндин П.Д., Сорокин А.В., Наумов А.С., Колесник В.Д., Черных С.П. Установка для лазерной резки приборных пластин // Приборы. 2006. № 4 (70). С. 38-43.
11.Кондратенко В.С., Борисовский В.Е., Гиндин П.Д., Ежов В.П., Колесник В.Д., Жималов А.Б. и др. Лазерная резка стекла в процессе выработки // Приборы. 2006. № 8 (74). С. 52-56.
12.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Наумов А.С., Борисовский В.Е. Новые технологии лазерной обработки деталей оптического приборостроения // Приборы. 2008. № 3 (93). С. 36-39.
13.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Борисовский В.Е., Колесник В.Д., Сорокин А.В. Российские высокие технологии в производстве приборов микро – и оптоэлектроники // Интеграл. 2008. № 6 (44). – С. 8-9.
14.Гиндин П.Д. Технология лазерного термораскалывания по криволинейному контуру // Интеграл. 2009. № 3 (47). С. 26-27.
15.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Трубиенко О.В., Hsu Muchi, Наумов А.С. Лазерное упрочнение кромки стекла // Оптический журнал. 2009. Том 76. № 11. 2009. С. 79-83.
16.Kondratenko V.S., Gindin P.D., Trubienko O.V., Hsu Muchi, and A. Naumov. Laser strengthening of the edge of glass // Journal of Optical Technology. 2009. Vol. 76. Issue 11. Р. 733-736.
17.Гиндин П.Д. Новое оборудование для резки материалов приборостроения методом лазерного управляемого термораскалывания // Приборы. 2010. № 1 (115). С. 33-37.
18.Гиндин П.Д. Математическая модель термораскалывания хрупких анизотропных материалов // Поверхность. 2010. № 1. С. 14-18.
Материалы международных конференций
19.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Котляров Ю. В., Семашко В. И. Новая технология изготовления прецизионных дисков из стекла и стеклокерамики // Прикладная оптика - 2002: Тез. докл. V Междунар. конф. - Санкт-Петербург, 2002.
20.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д. Особенности лазерного управляемого термораскалывания анизотропных материалов // Лазеры в науке, технике, медицине: Тез. докл. XIII Межд. конф. – Сочи, 2002.
21.Гиндин П.Д.. Кондратенко В.С., Коденко Н. М.. Развитие трещины под действием упругой волны при лазерном управляемом термораскалывании // Лазеры в науке, технике, медицине: Тез. докл. XIII Междунар. конф. – Сочи, 2002.
22.Гиндин П.Д., Котляров Ю.В., Кондратенко В.С., Семашко В.И. Новая технология изготовления прецизионных дисков из стекла и керамики // Прикладная оптика - 2002: Докл. Междунар. конф. - Санкт-Петербург, 2002.
23.Tchernykh S.,.Kondratenko V., Gindin P. Laser controlled thermocracking die separation technique for sapphire substrate based devices // 5th International Conference on Nitride Semiconductors. Nara, Japan, May 25, 2003.
24.Gindin P., Kondratenko V., Jae-Yong Jeong , Seak-Joon Lee. Laser cutting system for FPD Glass // 13th FPD Manufacturing Technology Expo & Conference “Finetech Japan”. Tokyo, Japan, July 2-4, 2003.
25.Kondratenko V., Tchernykh S., Gindin P., Seak-Joon Lee, Kozhuchov I., Goncharov S. Laser controlled thermocracking process mathematical model // Лазеры в науке, технике, медицине : Тез. докл. XIV Междунар. конф. Адлер, 15-19 сентября 2003 г.
26.Kondratenko V., Tchernykh S., Gindin P. Laser controlled thermocracking die separation technique for sapphire substrate based devices // Лазеры в науке, технике, медицине: Тез. XIV Междунар. конф. Адлер, 15-19 сентября 2003 г.
27.Kondratenko V., Gindin P., Jae-Yong Jeong, Seak-Joon Lee. Russian-Korean laser cutting system for LCD Glass // Лазеры в науке, технике, медицине: Тез. XIV Междунар. конф. Адлер, 15-19 сентября 2003 г.
28.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д. Лазерное притупление кромок // Лазеры в науке, технике, медицине: Тез. XIV Междунар. конф. Адлер, 15-19 сентября 2003 г.
29.Kondratenko V., Acker S., Weisser J. Laser technological system for glass cutting // Лазеры в науке, технике, медицине: Тез. XIV Междунар. конф. Адлер, 15-19 сентября 2003 г.
30.Kondratenko V., Tchernykh S., Gindin P. Laser thermal-cleaving technology for precise cut of silicon and sapphire wafers // Abstracts of Market Seminar SEMI Expo CIS 2003. Moscow, September 29, 2003.
31.Acker S., Kondratenko V., Gindin P. Laser technological system for ceramic cutting // JENOPTIK Laser Forum. Jena, Germany, October 1, 2003.
32.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Черных С.П., Наумов А.С. Разделение приборных пластин на сапфировой основе на кристаллы методом лазерного управляемого термораскалывания // Фотоэлектроника и приборы ночного видения: Тез. докл. XVIII Междунар. конф. - Москва, 2004.
33.Кондратенко В.С., Борисовский В.Е., Гиндин П.Д., Черных С.П., Наумов А.С. Лазерное управляемое термораскалывание приборных пластин на основе кремния и арсенида галлия // Фотоэлектроника и приборы ночного видения: Тез. докл. XVIII Междунар. конф. - Москва, 2004.
34.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Данилин В.Н., Жукова Т.А., Черных С.П., Наумов А.С. Разделение на чипы приборов на основе широкозонных полупроводников методом лазерного управляемого термораскалывания // Нитриды галлия, индия и алюминия: Матер. 3-й Всерос. конф. – М.: МГУ, июнь 2004 г.
35.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Черных С.П., Наумов А.С. Разделение приборных пластин на кристаллы методом лазерного управляемого термораскалывания // Современные технологии в задачах управления, автоматики и обработки информации: Тез. докл. XVIII Междунар. науч.¬техн. сем. Алушта, 16-20 сентября 2004 г.
36.Кондратенко В.С., Борисовский В.Е., Гиндин П.Д., Сек-Джун Ли, Черных С.П., Наумов А.С. Математическая модель процесса лазерного управляемого термораскалывания // «Фундаментальные и прикладные проблемы приборостроения, информатики, экономики и права: Тез. докл. VII Междунар. науч.-практ. конф. Сочи, 1-5 октября 2004 г. С. 98 – 103.
37.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Борисовский В.Е., Наумов А.С. Лазерное параллельное термораскалывание хрупких неметаллических материалов // Приборинформ-2005: Тез. Междунар. науч.-техн. конф. – Тунис, 2005.
39.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Черных С.П., Наумов А.С. Разделение подложек из сапфира, кремния и арсенида галлия со сформированными на них оптоэлектронными приборами // Информационные технологии и моделирование приборов и техпроцессов в целях обеспечения качества и надёжности: Сб. трудов Междунар. науч.-техн. конф. Тунис, 9 – 16 октября 2005 г. Т. II. С. 7 – 10.
40.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Черных С.П., Наумов А.С. Разработка технологии изготовления корпусов для светодиодов с применением метода лазерного управляемого термораскалывания// Информационные технологии и моделирование приборов и техпроцессов в целях обеспечения качества и надёжности: Сб. трудов Междунар. науч.-техн. конф. Тунис, 9 – 16 октября 2005 г. Т. II. С. 11 – 13.
41.Айзенштат С.Д., Бобков А.В., Гиндин П.Д., Ежов В.П., Колесник В.Д., Кондратенко В.С., Котляров Ю.В., Носачев И.В., Терашкевич И.М., Черных С.П. Новая технология утонения приборных пластин // Приборинформ-2005: Тез. Междунар. науч.-техн. конф. - Тунис, 2005.
42.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Ежов В.П., Колесник В.Д., Наумов А.С., Сорокин А.В. Повышение качества и надежности процесса ЛУТ за счет активного контроля развития трещины // Приборинформ-2005: Тез. Междунар. науч.-техн. конф. - Тунис, 2005.
43.Борисовский В.Е., Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Наумов А.С. Оптимизация процесса ЛУТ дисков различного диаметра // Приборинформ-2005: Тез. Междунар. науч.-техн. конф. - Тунис, 2005.
44.Борисовский В.Е., Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Наумов А.С. Новая технология снятия фасок с помощью лазерного излучения // Приборинформ-2005: Тез. Междунар. науч.-техн. конф. - Тунис, 2005.
45.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Котляров Ю.В., Черных С.П., Наумов А.С. Подготовка подложек из сапфира, кремния и арсенида галлия для эпитаксиального выращивания на них гетероструктур оптоэлектронных приборов // Информационные технологии и моделирование приборов и техпроцессов в целях обеспечения качества и надёжности: Сб. трудов Междунар. науч.-техн. конф. Тунис, 9 – 16 октября 2005 г. Т. II. С. 14.
46.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Котляров Ю.В., Черных С.П., Наумов А.С. Утонение подложек из сапфира, кремния и арсенида галлия со сформированными на них оптоэлектронными приборами // Информационные технологии и моделирование приборов и техпроцессов в целях обеспечения качества и надёжности: Сб. трудов Междунар. науч.¬техн. конф. Тунис, 9 – 16 октября 2005 г. Т. II. С. 15 – 16.
47.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Кондратенко А.В., Черных С.П., Наумов А.С. Современные тенденции на рынке приборов на основе подложек из сапфира, кремния и арсенида галлия // Информационные технологии и моделирование приборов и техпроцессов в целях обеспечения качества и надёжности: Сб. трудов Междунар. науч.-техн. конф. Тунис, 9 – 16 октября 2005 г. Т. II. С. 17.
48.Кондратенко В.С., Борисовский В.Е., Гиндин П.Д., Ежов В.П., Колесник В.Д., Аблязов К.А., Жималов А.Б., Солинов В.Ф., Файстель У., Аккер Ш. Внедрение лазерной резки флоат-стекла в процессе выработки // Стеклопрогресс – XXI: Сб. трудов III Междунар. науч.-техн. конф. Саратов, 22-25 мая 2006 г.
49.Аккер Ш., Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Жималов А.Б., Колесник В.Д., Солинов В.Ф., Файстель У. Конструкция промышленной установки лазерной резки флоат-стекла // Стеклопрогресс – XXI: Сб. трудов III Междунар. науч.-техн. конф. Саратов, 22-25 мая 2006 г.
49.Кондратенко В.С., Борисовский В.Е., Гиндин П.Д. Особенности процесса ЛУТ кварцевого стекла // Информационные технологии в науке, технике и образовании: Сб. трудов междунар. науч.-техн. конф. Египет, 12-19 ноября 2006 г. - М.: МГУПИ, 2007. С. 72-74.
50.Кондратенко В.С., Борисовский В.Е., Гиндин П.Д., Гундяк В.И., Зинин А.С., Наумов А.С. Оптимизация режимов ЛУТ по криволинейному контуру // Информационные технологии в науке, технике и образовании: Сб. трудов междунар. науч.-техн. конф. Египет, 12-19 ноября 2006 г. -М.: МГУПИ, 2007. С. 66-71.
51.Гиндин П.Д., Кондратенко В.С., Борисовский В.Е. О термораскалывании анизотропных хрупких материалов // Информационные технологии в науке, технике и образовании: Сб. трудов междунар. науч.-техн. конф. Египет, 12-19 ноября 2006 г. - М.: МГУПИ, 2007. С. 60-65.
52.Борисовский В.Е., Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Колесник В.Д., Наумов А.С., Сорокин А.В., Стародубцева Л.Ф., Ханов С.Г. Установка для резки сверхтонких стекол // Информационные технологии в науке, технике и образовании: Сб. трудов междунар. науч.-техн. конф. Египет, 12-19 ноября 2006 г. - М.: МГУПИ, 2007. С. 88-93.
53.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Наумов А.С. Новые технологии лазерной обработки оптических деталей // Информационные технологии в науке, технике и образовании: Сб. трудов междунар. науч.-техн. конф. Турция, 16-19 ноября 2007 г. - М.: МГУПИ, 2007.
54.Гиндин П.Д. Новые технологии в производстве оптоэлектронных приборов // Фотоника – 2008: Сб. трудов Междунар. науч.-техн. конф. Новосибирск, 21-23 мая 2008 г.
55.Борисовский В.Е., Гиндин П.Д., Наумов А.С., Сюй Тунг Минг, Сюй Чи Вай Пери. Новая технология лазерного притупления острых кромок изделий из стекла // Стеклопрогресс – XXI: Сб. трудов Междунар. науч.-техн. конф. Саратов, 27-30 мая 2008 г.
56.Гиндин П.Д. Лазерное разделение приборных пластин на кристаллы в оптоэлектронике // «Фотоника – 2008».: Сб. трудов ХХ трудов Междунар. науч.-техн. конф. Москва, 27-30 мая 2008 г.
57.Гиндин П. Д., Кобыш Н.И., Кондратенко В.С., Трубиенко О.В., Наумов А.С., Илюхин С.А. Влияние способов обработки кромки стекла на прочность изделия // Инновационные технологии в науке, технике и образовании: Сб. трудов Междунар. науч.-техн. конф. Тунис, 12-19 октября 2008 г. - М.: МГУПИ. 2009. – С.
58.Гиндин П.Д., Борисовский В.Е., Кондратенко В.С. Нарезание канавок на поверхности хрупкого материала методом лазерного управляемого термораскалывания // Инновационные технологии в науке, технике и образовании: Сб. трудов Междунар. науч.-техн. конф. Тунис, 12-19 октября 2008 г. - М.: МГУПИ. 2009. – С. 42
59.Гиндин П.Д., Борисовский В.Е., Кондратенко В.С., Наумов А.С., Миленин П.П., Сердюков С.Н., Грузиненко В.Б., Медведев А.В. Нанотехнологии в производстве изделий пьезотехники // Инновационные технологии в науке, технике и образовании: Сб. трудов Междунар. науч.-техн. конф. Тунис, 12-19 октября 2008 г. - М.: МГУПИ. 2009. – С.
60.Гиндин П.Д., Кондратенко В.С., Колесник В.Д., Наумов А.С., Сорокин А.В. Установка для лазерной резки стекла РТ-500 // Инновационные технологии в науке, технике и образовании: Сб. трудов Междунар. науч.¬техн. конф. Египет, 14-21 ноября 2009 г. - М.: МГУПИ. 2009. – С. 7.
61.Гиндин П.Д., Кондратенко В.С., Колесник В.Д., Сорокин А.В. Установка для лазерной резки полупроводниковых пластин РТ-350 // Инновационные технологии в науке, технике и образовании: Сб. трудов Междунар. науч.-техн. конф. Египет, 14-21 ноября 2009 г. - М.: МГУПИ. 2009. – С. 6.
Статьи
62.Kondratenko V., Tchernykh S., Gindin P. Laser controlled thermocracking die separation technique for sapphire substrate based devices // Светодиоды и лазеры. 2003. № 1-2.
63.Кондратенко В.С., Борисовский В.Е., Гиндин П.Д. Лазерная сварка кварцевого стекла с глубоким проплавлением // Вестник МГУПИ. – Москва, 2006. №5. С. 13-22.
64.Борисовский В.Е., Кондратенко В.С., Гиндин П.Д. Разработка и внедрение технологии лазерной резки флоат-стекла // Вестник МГУПИ. – Москва, 2006. № 7.
65.Кондратенко В.С., Борисовский В.Е., Гиндин П.Д., Наумов А.С. Лазерное технологическое оборудование для резки приборных пластин из различных материалов // Вестник МГУПИ. – Москва, 2006. № 7.
66.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Файстель У., Аккер Ш., Сек-Джун Ли. Лазерные технологии и опыт их внедрения // Науч.- практ. сборник : Приложение к бюл. «Лазер-Информ». Москва. 2004.
67.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Ивченко В.Д., Гукетлев Ю.Х., Солинов В.Ф. и др. Разработка и промышленное внедрение новых высокоэффективных технологий и оборудования для обработки стекла и других хрупких неметаллических материалов // Материалы Премии Правительства Российской Федерации, 2005.
Материалы конференций
68.Кондратенко В.С., Гиндин П.Д., Котляров Ю. В., Семашко В. И.
Технология и оборудование для изготовления прецизионных дисков из
стекла для жестких накопителей / Тез. сем. РАВ по состоянию и
приоритетным направлениям развития технологии производства оптико-
электронных приборов и систем. - Санкт-Петербург, 2002.
Патенты РФ
69.Пат. 2224648 РФ. Способ резки хрупких неметаллических материалов / Кондратенко В.С., Гиндин П.Д. Заявл. № 2002123517 от 03.09.2002; Опубл. 2004.
70.Пат. 2313854 РФ. Способ изготовления фотодиода на антимониде индия /Гиндин П.Д., Астахов В.П., Ежов В.П., Карпов В.В., Соловьева Г.С. Заявл. № 2006130235 от 22.08.2006; Опубл. 27.12.2007; Бюл. №36.
71.Пат. 2313853 РФ. Способ изготовления фотодиодов на антимониде индия / Астахов В.П., Гиндин П.Д., Ежов В.П., Карпов В.В., Крапухин В.В., Мануйлова Л.К.. Заявл. № 2006133620 от 20.09.2006; Опубл. 27.12.2007;