Научная тема: «УПРАВЛЕНИЕ ПРОЦЕССОМ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ ГЕРМАНИЯ НА ОСНОВЕ КОНТАКТНОГО МЕТОДА ИЗМЕРЕНИЯ»
Специальность: 05.13.06
Год: 2009
Отрасль науки: Технические науки
Основные научные положения, сформулированные автором на основании проведенных исследований:
  1. разработана новая методология управления процессом выращивания монокристаллов германия в закрытой тепловой оснастке на основе контроля и управления параметрами процесса выращивания кристалла (текущей площадью кристалла, величиной длины прямого конуса, цилиндрической части и обратного конуса кристалла);
  2. разработана математическая модель датчика уровня расплава, позволяющая контролировать отклонение текущей площади кристалла от заданной, на основе широтной модуляции сигнала датчика уровня, с точностью оценки площади кристалла 0,5 %;
  3. разработан алгоритм управления температурой боковой поверхности нагревателя по всей длине кристалла;
  4. разработан алгоритм управления скоростью выращивания кристалла по всей длине кристалла;
  5. разработана методика динамического анализа системы управления, позволяющая определять коэффициенты регулирования по температуре и скорости выращивания кристалла.
Список опубликованных работ
1.Пат. 2128250 Российская Федерация, МПК С30 В15/20, 15/22, 15/26. Способ управления процессом выращивания монокристаллов германия из расплава и устройство для его осуществления [Текст] / С. П. Саханский, О. И. Подкопаев, В. Ф. Петрик - заявлено 16.01.97, опубл. 27.03.99, Бюл. № 9.

2.Пат. 2184803 Российская Федерация, МПК С30 В15/20, 15/22, 15/12 29/08. Способ управления процессом выращивания монокристаллов германия из расплава и устройство для его осуществления [Текст] / С. П. Саханский, О. И. Подкопаев, В. Ф. Петрик, В. Д. Лаптенок - заявлено 12.11.99, опубл. 10.07.02, Бюл. № 19.

3.Саханский, С. П. Способ управления процессом выращивания монокристаллов германия из расплава [Текст] / С. П. Саханский, В. Д. Лаптенок // Перспективные материалы, технологии, конструкции : сб. научн. тр. ; под. ред. В. В. Стацуры ; ГАЦМиЗ. - Красноярск, 1998. - Вып. 4. - С. 516-519.

4.Саханский, С. П. Способ управления процессом выращивания монокристаллов германия из расплава [Текст] / С. П. Саханский, О. И. Подкопаев,

B.Д. Лаптенок // Перспективные материалы, технологии, конструкции и экономика : сб. научн. тр. ; под. ред. В. В. Стацуры ; ГАЦМиЗ. - Красноярск, 2000. - Вып. 6. - С. 391-393.

5.Саханский, С. П. Оценка точности управления на базе «улучшенного контактного метода» управления выращиванием монокристаллов германия из расплава по способу Чохральского [Текст] / С. П. Саханский // Решетневские чтения: мат. конф. 4 Всерос. научн. конф. проводимой в составе 2-го Международного Сибир. авиац.-космич. салона «САКС-2002» (11-14 ноября 2002 г, Красноярск) ; Сиб.гос. аэрокосмич. ун-т. - Красноярск, 2002. - С. 68-71.

6.Саханский, С. П. Новый «контактный метод» управления площадью выращиваемых монокристаллов по способу Чохральского [Текст] / С. П. Саханский // НТИ-2002 г.: материалы региональной научной конференции (5-8 декабря 2002 г, Новосибирск) ; НГТУ. - Новосибирск, 2002. - С. 80-85.

7.Саханский, С. П. Особенности конструирования датчиков положения уровня расплава для германия [Текст] /С. П. Саханский, В. Д. Лаптенок // Перспективные материалы, технологии, конструкции, экономика : сб. научн. тр.; под общ. ред. В. В. Стацуры ; ГУЦМиЗ. - Красноярск, 2005. - Вып. 11. - C.169-170.

8.Саханский, С. П. Совмещение системы управления выращиванием монокристаллов германия на основе контактного метода измерения диаметра и одновременного вытягивания монокристалла из фильеры способом Степанова [Текст] / С. П. Саханский, В. Д. Лаптенок // Вестник Сиб. гос. аэрокосмич. ун-та имени акад. М. Ф. Решетнева; под. общ. ред. проф. Г. П. Белякова ; Сиб. гос. аэрокосмич. ун-т. - Красноярск, 2005. - С. 246-247.

9.Саханский, С. П. Основные математические соотношения контактного метода управления выращиванием монокристаллов по способу Чохральского [Текст] / С. П. Саханский // Вестник Сиб. гос. аэрокосмич. ун-та им. акад. М. Ф. Решетнева ; под ред. проф. Г. П. Белякова ; Сиб. гос. аэрокосмич. ун-т. - Красноярск, 2005. - Вып. 7. - С. 85-88.

10.Саханский, С. П. Определение величины коррекции сигнала управления по диаметру, от изменения высоты столбика мениска кристалла, при контактном методе управления выращиванием монокристаллов способом Чохральского [Текст] / С. П. Саханский, В. Д. Лаптенок // Вестник Сиб. гос. аэрокосмич. ун-та им. акад. М. Ф. Решетнева ; под ред. проф. Г. П. Белякова ; Сиб. гос. аэрокосмич. ун-т. - Красноярск, 2005 .- Вып. 7. - С. 89-90.

11.Саханский, С. П. Определение величины колебания расплава и чувствительности при контактном методе управления выращиванием монокристаллов по способу Чохральского [Текст] / С. П. Саханский // Вестник Сиб. гос. аэрокосмич. ун-та им. акад. М. Ф. Решетнева ; под ред. проф. Г. П. Белякова ; Сиб. гос. аэрокосмич. ун-т. - Красноярск, 2006. - Вып. 1(8). - С. 103-104.

12.Саханский, С. П. Выращивание монокристаллов в закрытой тепловой оснастке по способу Чохральского на основе контактного метода управления диаметром кристалла [Текст] / С. П. Саханский // Автоматизация и современные технологии. - 2007. - № 1. - C. 38-41. - ISNN 0869-4931.

13.Саханский, С. П. Управление скоростью вытягивания при контактном методе выращивания монокристаллов [Текст] / С. П. Саханский // Автоматизация и современные технологии. - 2008. - № 9. - С. 3-7. - ISNN

0869-4931.

14.Саханский, С. П. Управление скоростью вытягивания на установке выращивания монокристаллов германия [Текст] /С. П. Саханский // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. - 2008. - № 4. - C. 7-11.

15.Саханский, С. П. Погрешность контактного метода измерения текущей площади выращиваемого монокристалла германия [Текст] / С. П. Саханский // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. -2008. - № 12. - C. 10-14.

16.Саханский, С. П. Измерение площади монокристалла в системе автоматического управления выращиванием германия [Текст] / С. П. Саханский // Мехатроника. Автоматизация. Управление. - 2008 .- № 8. - С. 44-48.

17.Саханский, С. П. Особенности определения формы фронта кристаллизации при выращивании монокристаллов германия [Текст] / С. П. Саханский // Мехатроника. Автоматизация. Управление. - 2008. - № 9.- С. 45-47.

18.Саханский, С. П. Управление температурой нагревателя на установке выращивания монокристаллов германия [Текст] / С. П. Саханский // Мехатроника. Автоматизация. Управление. - 2008. - № 1. - C. 42 - 46.

19.Саханский, С. П. Установка выращивания монокристаллов германия на основе контактного метода измерения [Текст] / С. П. Саханский // Вестник Самарского ун-та им. акад. С. П. Королева ; Самарский гос. аэрокосмич.ун-т. -Самара, 2008. - Вып. 2. - C. 100-105.

20.Саханский, С. П. Задание скорости вытягивания при выращивании монокристаллов германия [Текст] / С. П. Саханский // Вестник Сиб. гос. аэрокосмич. ун-та имени акад. М. Ф. Решетнева ; под ред. проф. Г. П. Белякова ; Сиб. гос. аэрокосмич. ун-т. - Красноярск, 2008. - Вып. 3(20). - С. 124-126.

21.Саханский, С. П. Динамические свойства системы автоматического управления выращиванием монокристаллов германия на основе контактного метода измерения [Текст] / С. П. Саханский, В. Д. Лаптенок // Вестник Сиб. гос. аэрокосмич. ун-та имени акад. М. Ф. Решетнева ; под ред. проф. Г. П. Белякова ; Сиб. гос. аэрокосмич. ун-т. - Красноярск, 2008. - Вып. 2(19). - С. 144-148.

22.Саханский, С. П. Измерение и управление площадью кристалла на установке вытягивания германия [Текст] /С. П. Саханский // Вестник Сибирского государственного аэрокосмического университета имени академика М. Ф. Решетнева ; под ред. проф. Г. П. Белякова ; Сиб. гос. аэрокосмич. ун-т. - Красноярск, 2008. - Вып. 1(18). - С. 148-150.

23.Саханский, С. П. 3адание температуры при выращивании монокристаллов германия [Текст] / С. П. Саханский, В. Д. Лаптенок // Вестник Сибирского государственного аэрокосмического университета имениакадемика М. Ф. Решетнева ; под ред. проф. Г. П. Белякова ; Сиб. гос.аэрокосмич. ун-т. - Красноярск, 2008. - Вып. 3(20). - С. 122-124.

24.Саханский, С. П. Измерение и управление площадью выращиваемого кристалла германия [Текст] / С. П. Саханский // Материалы 9-й международной научно-технической конференции «Кибернетика и высокие технологии 21 века» (13-15 мая 2008 г, SAKV), Т. 2, Воронеж, 2008. - С. 908-918.

25.Саханский, С. П. Задание температуры на установке вытягивания германия / С. П. Саханский [Текст] // Материалы. 4-й международной научно-технической конференции «Прогрессивные технологии в современном машиностроении» (10 июня 2008 г, ) / Пенза, 2008. - С. 19-22.

26.Саханский, С. П. Контактный метод управления выращиванием монокристаллов германия по способу «Чохральского» [Текст] : дис. канд. техн. наук : 05. 13. 06. : защищена 22.05.03 : утв. 10.10.03. Саханский СергейПавлович - 2003. - 124 с.

27.Саханский, С. П. Управление процессом выращивания монокристаллов германия: монография / С. П. Саханский; Сиб. гос. аэрокосмич. ун-т. - Красноярск, 2008. - 104 с. - ISBN 978-5-86433-366-2.