- Лазерные литографические системы на основе прецизионного кругового сканирования сфокусированного излучения с различными длинами волн и многоступенчатой импульсной и аналоговой модуляцией его интенсивности обеспечивают синтез многоуровневых РОЭ и ПФ диаметром более 250 мм на фото-и термочувствительных материалах.
- Прямая лазерная запись на пленках a-Si толщиной 100-110 нм и LDW-стеклах позволяет изготавливать полутоновые фотошаблоны РОЭ с диапазоном изменения коэффициента пропускания от 0,5-2% до 10-22% для пленок a-Si и от 5-10% до 60% для LDW-стекол.
- Дифракционная эффективность РОЭ, синтезируемых лазерной литографической технологией на фоторезисте, может быть увеличена за счет модификации микрорельефа вдоль границ дифракционных зон на участках с шириной, зависящей от периода зон, но не превышающей удвоенный диаметр записывающего пучка, путем приграничной оптимизации локального распределения экспозиции или путем формирования под пленкой фоторезиста на этих участках устойчивой к ионному травлению поверхностной контурной маски.
- Контроль многоуровневого микрорельефа РОЭ, практически не зависящий от типа профилометра, возможен по аппроксимированной глубине, которая определяется путем экстраполяции до границ дифракционных зон функции, аппроксимирующей форму зон между их обратными скатами, и вычислением перепада экстраполированного профиля на границе двух соседних зон или между границами одной зоны.
- Технология, сочетающая прямую запись фотошаблонов на лазерных литографических системах с круговым сканированием, полутоновую фотолитографию и реактивное ионное травление, позволяет синтезировать:
- кварцевые дифракционные матрицы для серийного тиражирования бифокальных интраокулярных линз с микрорельефом, оптимизированным с целью минимизации биологических отложений и получения одинаковой дифракционной эффективности в нулевом и первом порядках дифракции.
- конформальные корректоры искажений волнового фронта излучения мощных твердотельных лазеров, обеспечивающие остаточные статические искажения волнового фронта не более чем λ/10 (СКО).
1.Корольков В.П., Насыров Р.К., Полещук А.Г., Арапов Ю.Д., Иванов А.Ф.. Конформальные оптические элементы для коррекции искажений волнового фронта в YAG:Nd активных элементах// Квантовая электроника. - 2013. –Т. 43, № 2.- С. 117-121.
2.Chugui Yu., Verkhoglyad A., Poleshchuk A., Korolkov V., Sysoev E., Zavyalov P. 3D Optical Measuring Systems and Laser Technologies for Scientific and Industrial Applications// Measurement science review.-Vol. 13, No. 6.-2013.-P. 322-328.
3.Анцыгин В. Д., Конченко А. С., Корольков В. П., Мамрашев А. А., Николаев Н. А., Потатуркин О. И. Терагерцовый микрорастровый эмиттер на основе поперечного эффекта Дембера// Автометрия2013. – Т. 49, № 2. – С. 92-97.
4.Резникова Е.Ф., Гольденберг Б.Г., Кондратьев В.И., Кулипанов Г.Н., Корольков В.П., Насыров Р.К. ЛИГА-технология для синтеза дифракционных преломляющих интраокулярных линз// Известия РАН. Серия физическая.-2013.-Т. 77, № 2.- С. 131-135.
5.Корольков В.П., Конченко А.С. Спектрофотометрический метод измерения глубины отражательных калибровочных решеток// Автометрия. - 2012.- Т. 48, №2.- С.120-128.
6. Корольков В.П., Ионин А.А., Кудряшов С.И., Селезнев Л.В., Синицын Д.В., Самсонов Р.В., Маслий А.И., Медведев А.Ж., Гольденберг Б.Г. Фемтосекундное лазерное наноструктурирование поверхности Ni/Cu-фольг// Квантовая электроника. - 2011.- Т.41, №4 .- C.387–392.
7.Вейко В.П., Корольков В.П., Полещук А.Г., Саметов А.Р., Шахно Е.А., Ярчук М.В. Исследование пространственного разрешения лазерной термохимической технологии записи дифракционных микроструктур// Квантовая электроника. -2011.-Т. 41, № 7 .-C. 631–636.
8.Гольденберг Б.Г., Абрамский А.Ю., Зелинский А.Г., Маслий А.И., Максимовский Е.А., Кондратьев В.И., Корольков В.П., Купер К. Э., Петрова Е.В., Пиндюрин В.Ф. Особенности изготовления шаблонов для глубокой рентгеновской технологии в сибирском центре синхротронного и терагерцового излучения// Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. -2011.-№ 2.-С. 61–68.
9.Полещук А.Г., Кутанов А.А., Бессмельцев В.П., Корольков В.П., Шиманский Р.В., Малышев А.И., Маточкин А.Е., Голошевский Н.В., Макаров К.В., Макаров В.П., Снимщиков И.А., Сыдык уулу Н. Микроструктурирование оптических поверхностей: технология и устройство прямой лазерной записи дифракционных структур// Автометрия. - 2010.-Т.46, №2.-С. 86-96.
10.Абрамский А.Ю., Гольденберг Б.Г., Зелинский А.Г., Кондратьев В.И., Корольков В.П., Коронкевич В.П., Маслий А.И., Медведев. А.Ж. Разработка химико-гальванических процессов для литографического производства трехмерных микроструктур// Гальванотехника и обработка поверхности. - 2010. -Том XVIII, №2. -С. 11-18.
11.Корольков В.П., Остапенко С.В. Характеризация профилограмм кусочно-непрерывного дифракционного микрорельефа// Оптический журнал. - 2009.- Т. 76, № 7.- С. 34-41.
12.Лукин В.П., Ботыгина Н.Н., Емалеев О. Н., Корольков В. П., Лавринова Л.Н., Насыров Р.К., Полещук А.Г., Черкашин В.В. Датчик Шэка – Гартмана на основе растра низкоапертурных внеосевых дифракционных линз// Автометрия. - 2009.- Т. 45, № 2.- С. 88-98.
13.Ленкова Г.А., Корольков В.П., Коронкевич В.П., Насыров Р.К., Мызник М.М., Гутман А.С., Искаков И.А., Треушников В.М. Дифракционно-рефракционные интраокулярные линзы // Автометрия. — 2008. — Т. 44, № 4. — С. 75-88.
14.Коронкевич В.П., Ленкова Г.А., Корольков В.П., Полещук А.Г., Искаков И.А., Гутман А.С. Новое поколение бифокальных дифракционно-рефракционных интраокулярных линз// Компьютерная оптика. —2008. —Том 32, №1. —С. 50-58.
15.Искаков И.А., Корольков В.П., Коронкевич В.П., Ленкова Г.А. Клинико-экспериментальное исследование бифокальных дифракционно-рефракционных ИОЛ нового поколения // Вестник новых медицинских технологий. – 2008. – Т. XV, № 4. – С. 151–154.
16.Коронкевич В.П., Ленкова Г.А., Корольков В.П., Искаков И.А. Бифокальные дифракционно-рефракционные интраокулярные линзы// Оптический журнал. — 2007.—Т.74, №12. —С.34-39.
17.Искаков И.А., Коронкевич В.П., Ленкова Г.А., Корольков В.П. Отечественная бифокальная дифракционно-рефракционная ИОЛ: конструкция, оптические свойства // Вестник ОГУ (Вестник Оренбургского государственного университета). – 2007. – № S12 (№78). – С. 85–88.
18.Korolkov V.P., Nasyrov R.K., Shimansky R.V. Zone-boundary optimization for direct laser writing of continuous-relief diffractive optical elements// Applied Optics. — 2006. —Vol. 45, № 1. —P.53-62.
19.Корольков В.П., Насыров Р.К., Полещук А.Г., Прус К., Райхельт С. Методы сертификации дифракционных оптических элементов для контроля асферической оптики// Автометрия. —2005. — Т. 41, № 6. —С. 115-125.
20.Korolkov V., Shimansky R., Cherkashin V., Denk D. Computer controlling of writing beam in laser microfabrication of diffractive optics// Компьютерная оптика. — 2003. —Вып. 25. —С. 79-88.
21.Корольков В.П. Измерение и коррекция траектории движения лазерного пучка в круговых записывающих системах// Автометрия. —2003. —Т. 39, № 6. — С. 13-25.
22.Корольков В.П., Полещук А.Г., Черкашин В. В., Райхельт С., Бёдж. Дж. Методы минимизации ошибок прямой лазерной записи дифракционных оптических элементов// Автометрия. —2002. —№3. — С. 3-19
23.Корольков В.П., Полещук А.Г., Коронкевич В.П., Седухин А.Г. Применение дифракционной оптики в измерительной технике// Компьютерная оптика. —2001. — Вып. 22. — С. 86-95.
24.Korolkov V.P., Pruss C., Reichelt S., Tiziani H. J. Preliminary results in investigation of diffractive high-efficiency objectives// Компьютерная оптика. — 2002. —Вып. 22. —С. 33-39
25.Poleshchuk A.G., Churin E.G., Koronkevich V.P., Korolkov V.P. Polar coordinate laser pattern generator for fabrication of diffractive optical elements with arbitrary structure// Applied Optics.- 1999.—V.38, №8.—P.1295-1301.
26.Корольков В.П., Малышев А.И., Никитин В.Г., Полещук А.Г., Харисов А.А., Черкашин В.В., Ву Ч. Полутоновые фотошаблоны на основе LDW-стекол// Автометрия. —1998.—№6.—С.27-37.
27.Коронкевич В.П., Корольков В.П., Полещук А.Г. Лазерные технологии в дифракционной оптике// Автометрия. —1998.—№ 6.—С.5-26.
28.Коронкевич В.П., Корольков В.П., Полещук А.Г., Харисов А.А., Черкашин В.В. Синтез дифракционных оптических элементов в полярной системе координат -анализ погрешностей изготовления и их измерение// Автометрия. —1997.— №6.— С.42-56.
29.Gotchiyaev V.Z., Korolkov V.P., Sokolov A.P., Chernukhin V.P. High resolution optical recording on a-Si films// Journal of Non-Crystalline Solids. — 1991.—Vol. 137&138.—P.1297-1300.
30.Корольков В.П., Чернухин В.П. Оптическая запись на пленках аморфного кремния с субмикронным разрешением// Журнал технической физики. -1989.- Т. 59.-Вып. 6.- С.131-133.
31.Гочияев В.З., Корольков В.П., Соколов А.П., Чернухин В.П. Полутоновая оптическая запись на пленках a-Si// Квантовая электроника. -1989.- Т.16.- №11.-С.2343-2348.
32.Коронкевич В.П., Корольков В.П., Ленкова Г.А, Михальцова И.А., Пальчикова И.Г., Полещук А.Г., Седухин А.Г., Чурин Е.Г., Юрлов Ю.И. Киноформы: технология, новые компоненты и оптические системы. Часть II// Автометрия. -1989.-№ 4, С. 49-66.
33.Коронкевич В.П, Корольков В.П., Ленкова Г.А., Михальцова И.А., Пальчикова И.Г., Полещук А.Г., Седухин А.Г., Чурин Е.Г., Юрлов Ю.И. Киноформы: технология, новые компоненты и оптические системы. Часть I//Автометрия. — 1989. —№ 3. — C. 91-98.
34.Корольков В.П., Полещук А.Г. Управление оптическим излучением в прецизионных лазерных фотопостроителях// Автометрия. —1985. —№ 6. —C.51-61.
Список других работ, опубликованных по теме диссертации Глава в монографии
35. Кирьянов В.П., Кирьянов В.П., Корольков В.П. Лазерные генераторы изображений с круговым сканированием: новые возможности традиционных направлений// Оптико-информационные измерительные и лазерные технологии и системы: Юбилейный сборник избранных трудов КТИ НП СО РАН // Академическое изд-во «Гео». —С.184-216.
Сборники научных статей:
36.Шиманский Р.В., Полещук А.Г., Корольков В.П., Черкашин В.В., Харисов А.А. Оптимизация метода прямой записи при изготовлении ДОЭ с непрерывным профилем// Компьютерная оптика. —2000.—Вып. 20.— С. 80-83.
37.Корольков В.П., Малышев А.И., Никитин В.Г., Полещук А.Г., Харисов А.А., Черкашин В.В., Ву Ч. Изготовление высокоэффективных ДОЭ с помощью полутоновых фотошаблонов на основе LDW-стекол // Компьютерная оптика. — 1998.—Вып. 18.—С. 43-51.
Патенты и авторские свидетельства:
38. Корольков В.П., Полещук А.Г. Устройство модуляции светового потока с шумоподавлением. Авторское свидетельство №1034506, от 08.04.1983. // Бюллетень: Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки. —1983.
39.Корольков В.П., Полещук А.Г., Чурин Е.Г. Способ изготовления дифракционных оптических элементов. Авторское свидетельство СССР №1280560, от 01.09.1986. // Бюллетень: Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки. —1986.
40.Ленкова А.Г., Коронкевич В.П., Корольков В.П., Искаков И.А. Мультифокальная интраокулярная линза и способ ее изготовления // Патент РФ № 2303961, Опубл. 10.08.2007, Бюллетень 22.
Сборники трудов конференций:
41.Верхогляд А.Г., Корольков В.П., Кокарев С.А., Касторский Л.Б., Полещук А.Г. Двухканальная круговая лазерная записывающая система для изготовления дифракционных и микрооптических элементов // Сборник трудов 10-й Международной конференции "ГолоЭкспо-2013». —Москва, 2013. —С. 182-187.
42.Korolkov V.P., Nasyrov R.K., Poleshchuk A.G., Malyshev A.I., Sametov A.R., Arapov Yu. D., Ivanov A.F. Large aperture conformal wavefront correctors for high-power solid-state lasers with YAG:Nd active elements// International Symposium ICONO//LAT-20132013.— Moscow, Russia, 2013. — LFH25.
43.Корольков В.П. Применение контурной маски для повышения дифракционной эффективности ДОЭ с кусочно-непрерывным рельефом// Сборник материалов IX Международного научного конгресса "Интерэкспо гео-сибирь-2013». — Том Сибоптика-2013. — Новосибирск, 2013. — С. 20-24.
44.Korolkov V.P., Konchenko A.S., Poleshchuk A.G. Application of fiber spectrometers for etch depth measurement of binary computer-generated holograms// Proc. SPIE. — 2013. — Vol.8759. — 875959.
45.Nasyrov R.K., Arapov Yu.D., Korolkov V.P., Poleshchuk A.G. Conformal optical elements for wavefront distortion correction in YAG:Nd active elements// Book of abstracts of XV International Conference “Laser Optics 2012”.—St. Petersburg, Russia, 2012.— Code: WeR4-04.
46. Korolkov V.P., Nasyrov R.K., Sametov A.R. and Suhih S.A. Optimization of half-tone technology for diffractive microlens fabrication// Proc. SPIE. — 2011.—Vol. 7957.— 795710.
47. Корольков В.П., Насыров Р.К., Гутман А.С., Саметов А.Р., Сухих С.А. Оптимизация полутоновой технологии изготовления дифракционных элементов с кусочно-непрерывным рельефом// Материалы 7-ой Международной Конференции «ГОЛОЭКСПО – 2010». — Москва, 2010. —C. 196-202.
48. Korolkov V.P., Konchenko A.S., Nasyrov R.K., Spectrophotometric certification of calibration gratings // Proceedings of the IASTED Conference on Automation, Control, and Information Technology: Optical Information Technology.—Novosibirsk, 2010. — P. 275-278.
49.Poleshchuk A.G., Korolkov V.P. Trends in direct laser writing methods for fabrication of diffractive micro- and nanostructures // International conference “Fundamentals of laser Assisted Micro-and Nanotechnologies” (FLAMN-10).—St. Petersburg, 2010. — P. 71-72.
50.Korolkov V.P., Poleshchuk A.G., Veiko V.P., Yarchuk M.V., Malyshev A.I., Sametov A.R., Suhih S.A., Goldenberg B.G. Study of microstructure topography and hardness evolution at direct laser writing on chrome films// “Fundamentals of laser Assisted Micro-and Nanotechnologies” (FLAMN-10).—St. Petersburg, 2010.—P. 90-91.
51.Gutman A. S., Shchesyuk I.V., Korolkov V. P. Optical testing of bifocal diffractive-refractive intraocular lenses using Shack-Hartmann wavefront sensor//Proc. SPIE .— 2010.—Vol. 7718.— 77181P.
52.Korolkov V.P., Ostapenko S.V., Nasyrov R.K., Gutman A.S., Sametov A.R. Unification of approaches to optimization and metrological characterization of continuous-relief diffractive optical elements// Proc. SPIE. — 2010.—Vol. 7718. — 77180S.
53.Pindyurin V.F., Goldenberg B.G., Petrova E.V., Ancharova U.V., Eliseev V. S., Korolkov V.P., Nasyrov R.K. Dynamic X-ray lithography for blazed diffractive optics fabrication// Proc. SPIE.— 2008.—Vol. 7102.— 710208.
54.Korolkov V.P.; Ostapenko S.V.; Shimansky R.V. Profilometric characterization of DOEs with continuous microrelief// Proc. SPIE. — 2008.—Vol. 7102. — 710209.
55.Корольков В.П., Пыхтин А.В., Черкашин В.В. Проектирование и запись оригиналов защитных голограмм с псевдообъемными элементами на установке CLWS-300IAE// Сборник трудов и официальные материалы конференции «Голография в России и за рубежом. Наука и практика». — Санкт-Петербург, 2008. — C. 171-175.
56.Koronkevich V.P., Korolkov V.P., Lenkova G.A., Treushnikov V.M., Viktorova E. A., Iskakov I.A., Gutman A.S. Phototechnologies for fabrication of bifocal intraocular lenses// Proc. SPIE. — 2007.—6734, 67340Z.
57.Korolkov V. P., Nasyrov R. K., Shimansky R. V. Optimization for direct laser writing of continuous-relief diffractive optical elements// Proc. SPIE.— 2007.— Vol.6732.— 67320P.
58.Korolkov V.P., Poleshchuk A. G. Laser writing systems and technologies for fabrication of binary and continuous relief diffractive optical elements// Proc. SPIE. — 2007. — Vol.6732. — 67320X.
59.Полещук А.Г., Корольков В.П. Методы изготовления и контроля дифракционных оптических элементов// Сборник трудов 4-го международного форума “Голография ЭКСПО -2007”. — Москва,2007. — С. 11-14.
60.Корольков В.П., Остапенко С.В., Шиманский Р.В., Денк Д.Э. Оптические микропрофилометры для контроля дифракционного микрорельефа// Сборник трудов 4-го международного форума “Голография ЭКСПО-2007”. — Москва, 2007. — С. 89-92.
61.Корольков В.П., Остапенко С.В., Шиманский Р.В. Методы обработки профилограмм и интерферограмм кусочно-непрерывного дифракционного микрорельефа// Сборник трудов 4-го международного форума “Голография ЭКСПО -2007”. — Москва, 2007. —С. 93-95.
62.Коронкевич В. П., Ленкова Г. А., Корольков В. П., Искаков И. А. Бифокальные дифракционно-рефракционные интраокулярные линзы// Сборник трудов 7-й Международной конференции "Прикладная оптика-2006" – Москва, 2006. – Т. 1.—С. 278–282.
63.Корольков В.П., Коронкевич В.П., Полещук А.Г. Лазерные технологии в дифракционной оптике// Второй международный форум Голография–экспо-2005. — Москва, 2005. — C. 64.
64.Korolkov V. P., Pruss C., Reichelt S., Osten W., Tiziani H. J.. Performance improvement of CGHs for optical testing// Proc. SPIE. — 2003. — Vol. 5144. — P. 460-471.
65.Korolkov V.P., Poleshchuk A.G., Koronkevich V.P., Sedukhin A.G. Application of diffractive optical elements in laser metrology// Proc. SPIE.— 2002.— Vol.4900.— P. 841-852.
66.Korolkov V.P., Pruss C., Reichelt S., Tiziani H. J. Metrological features of diffractive high-efficiency objectives for laser interferometry// Proc. SPIE.— 2002.— Vol.4900.— P. 873-884.
67.Korolkov V. P., Shimansky R., Poleshchuk A.G., Cherkashin V.V., Kharissov A.A., Denk D.E. Requirements and approaches to adapting laser writers for fabrication of grayscale masks// Proc. SPIE.— 2001.— Vol.4440.— P. 256-267.
68.Korolkov V. P., Poleshchuk A.G., Cherkashin V.V., Reichelt S., Burge J.H. Polar-coordinate laser writing systems: error analysis of fabricated DOEs// Proc. SPIE.— 2001.— Vol.4440.— P.161-172.
69.Korolkov V. P., Malyshev A.I., Poleshchuk A.G., Cherkashin V.V., Tiziani, H.J., Pruss C., Schoder T., Westhauser J., Wu C. Fabrication of gray-scale masks and diffractive optical elements with LDW-glass// Proc. SPIE.— 2001.— Vol.4440.— P.73-84.
70.Korolkov V.P., Malyshev A.I., Nikitin V.G., Cherkashin V.V., Poleshchuk A.G., Kharissov A.A. Application of gray-scale LDW-glass masks for fabrication of high-efficiency DOEs// Proc. SPIE.—1999.—Vol.3633.— P.129-138.
71.Koronkevich V.P., Korolkov V.P., Malyshev A.I., Nikitin V.G. New fabrication method for diffractive optical elements with deep phase relief// Proc. SPIE. — 1997.— Vol.3010. — P.180-191.
72.Cherkashin V.V., Churin E.G., Korolkov V.P., Koronkevich V.P., Kharissov А.А., Poleshchuk A.G. Processing parameters optimization for thermochemical writing of DOEs on chromium films// Proc. SPIE. — 1997. — Vol. 3010. — P. 168-179.
73.Koronkevich V.P., Kiryanov V.P., Korol´kov V.P., Poleshchuk A.G., Cherkashin V.V., Kharisov A.A. Fabrication of diffractive optical elements by laser writing with circular scanning // Proc. SPIE.—1995. — Vol.2363. — P.290-297.
74.Korolkov V.P., Sokolov A.P., Semakov V.S. Optical recording materials for producing diffraction elements// Proc. SPIE. —1989.—Vol.1183. — Р.672-674.
75.Gotchiyaev V.Z., Korolkov V.P., Sokolov A.P. Optical recording on amorphous silicon films: optical and structural changes, spatial resolution// Proc. III Intern. Symp. on Modern Optics. — Budapest, 1988. — Vol. II. — P.446-449.