- Эффект фотонной активации твердофазного синтеза излучением ксеноновых ламп проявляется в значительном ускорении процессов синтеза по сравнению с термической активацией, в снижении пороговой температуры образования кристаллических фаз, в образовании метастабильных структур.
- Многоориентационный характер эпитаксии в гетероструктурах с большим структурным и размерным несоответствием (TiSi2(C49)-Si, Ir3Si5-Si, (Pt-Ni)Si -Si, TiO2-Ti, ZrO2-Zr, SiC-Si) предопределяет высокую дисперсность формирующихся пленок силицидов, SiC и оксидов.
- Ориентационные соотношения между кристаллическими решетками кремния и силицида, металла и оксида металла отвечают кристаллогеометрическим критериям: согласование плотноупакованных плоскостей, выходящих к межфазной границе (основной при хемоэпитаксии); высокая плотность решетки совпадающих узлов.
- Хемоэпитаксия силицидов, карбида кремния на моно-кремнии, термических оксидов на ориентированных пленках металла обусловливает особенности субструктуры формирующихся пленок. Образование границ зерен специального типа ((Pt-Ni)-Si, TiO2-Ti, ZrO2-Zr, SiC-Si) обеспечивает устойчивость нанок-ристаллической структуры пленок.
- Образование одновременно трех полиморфных модификаций диоксида титана в пленках, формирующихся в процессе реактивного магнетрон-ного распыления Ti на фторфлогопит, есть результат эпитаксиальной стабилизации метастабильных фаз. Ориентационные соотношения определяются согласованием кислородных октаэдров диоксидов и фторфлогопита.
- Образование гетероструктуры (010)Pt1-yNiySi/(010)Ni1-xPtxSi/(111)Si при фотонной и термической активации силицидообразования в системе Pt-Ni-Si обусловлено эпитаксиальной связью с подложкой.
1.Кущев С.Б. Образование силицида TiSi2 при вакуумной конденсации металла на кремнии [Текст] / С.Б.Кущев, В.Ю.Балашова, Е.К.Белоногов, С.А.Солдатенко // Вестник Воронеж. гос. тех. ун-та. Сер. Материаловедение. – 1996. - Вып. 1.1.- С.155-157.
2.Кущев С.Б.Образование силицидов молибдена при вакуумной конденсации металла на кремнии [Текст] / С.Б.Кущев, И.Г.Руднева, Е.К. Белоно-гов, С.А.Солдатенко // Вестник Воронеж. гос. тех. ун-та. Сер. Материаловедение. – 1997. - Вып. 1.2.- С.33-35.
3.Иевлев В.М. Состав и структура силицидов образующихся при импульсной фотонной обработке пленок титана на монокристаллическом и аморфном кремнии [Текст] / В.М.Иевлев, В.И.Рубцов, С.Б.Кущев, В.Н.Сарыкалин, С.А.Солдатенко // ФХОМ.- 1997.- N4.- С.62-67.
4.Ievlev V.M. Orientation and substructure of TiSi2 films on Si(111) [text] / V.M.Ievlev, S.B.Kushev, S.A.Soldatenko // Functional materials.- 1999.- V.6.-N5.- P.920-925.
5.Иевлев В.М. Синтез сложных силицидов в системе пленка Pt-Ni на Si термическим отжигом и методом импульсной фотонной обработки [Текст] / В.М.Иевлев, С.Б.Кущев, Д.М.Боднарь, Б.Н. Маркушев, Г.В.Меркулов, С.А.Солдатенко // Вестник Воронеж. гос. тех. ун-та. Сер. Материаловедение.
- 2001 - Вып. 1.9.- С.42-44.
6. Иевлев В.М. Фазовый состав, ориентация и субструктура пленоксилицидов Ir, синтезированных в процессе вакуумной конденсации металлана Si [Текст] / В.М.Иевлев, С.Б.Кущев, И.Г. Руднева, А.В. Бугаков,С.А.Солдатенко // Вестник Воронеж. гос. тех. ун-та. Сер. Материаловедение.
- 2001 - Вып. 1.9.- С.54-59.
7. Иевлев В.М. Структура и закономерности сопряжения на межфазнойгранице пленок TiSi2 на (111)Si [Текст] / В.М.Иевлев, С.Б.Кущев, А.Ю.Исаев,
В.И.Рубцов, С.А.Солдатенко // Неорганические материалы. - 2001.- Т.37.-№12.- С.1471-1479.
8.Иевлев В.М. Cинтез силицидов иридия при импульсной фотонной обработке пленок металла на кремнии [Текст] / В.М. Иевлев, С.Б.Кущев, И.Г.Руднева, О.В. Сербин, С.А.Солдатенко // Вестник ВГТУ, сер.”Материаловедение”.- 2002.- Вып. 1.11.- С.23-29.
9.Иевлев В.М. Фазовый состав, ориентация и субструктура пленок силицидов иридия [Текст] / Иевлев В.М., Руднева И.Г., Кущев С.Б., С.А.Солдатенко // Неорганические материалы. 2003.-Т.39.-№5.-С. 569-575.
10.Горожанкин Ю.В. Зависимость структуры силицида от соотношения толщин пленок металлов в исходной гетероструктуре (111)Si - Ni – Pt [Текст] / Ю.В.Горожанкин, В.М.Иевлев, С.Б.Кущев, С.А.Солдатенко, Ю.Л.Фоменко // Вестник ВГТУ, сер.”Материаловедение”.- 2005.- №1.17.- С.18-22.
11.Иевлев В.М. Твердофазный синтез пленок карбида кремния при фотонной активации процесса [Текст] / В.М.Иевлев, С.А.Солдатенко, Е.Н. Федорова, С.А.Показаньева // Вестник ВГТУ, сер.”Материаловедение”.- 2005.-№1.17.- С.41-44.
12.Иевлев В.М. Образование силицидов при отжиге тонких пленок твердых растворов систем Ni-Pt, Ni-Pd и двухслойных гетероструктур Pt/Ni на (111)Si [Текст] / В.М.Иевлев, Е.В.Шведов, С.Б.Кущев, Ю.В. Горожанкин, С.А.Солдатенко // Неорганические материалыю- 2006.-42.-№2.-с.187-195.
13.Иевлев В.М. Эффект фотонной активации синтеза пленок силицидов в гетеросистеме (111)Si-Ni-Pt [Текст] / В.М.Иевлев, С.Б.Кущев, С.А.Солдатенко, Ю.В.Горожанкин, В.М.Вахтель // Конденсированные среды и межфазные границы.- 2007.- Т9.- №3.- С.216-227.
14.Иевлев В.М. Влияние фотонной активации на твердофазное взаимодействие в гетероструктуре (111) Si-Ni-Pt [Текст] / В. М. Иевлев, С. Б. Ку-щев, Ю. В. Горожанкин, С.А.Солдатенко // Неорганические материалы.-2008.- Т. 44.- № 7.- С.808 – 815.
15.Иевлев В.М. Синтез наноструктурированных пленок SiC при импульсной фотонной обработке Si в углеродсодержащей среде [Текст] / В.М.Иевлев, В.С.Ильин, С.Б.Кущев, А.Н.Лукин, Е.К.Белоногов, // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.- 2009. - №10.- С.48-53.
16.Иевлев В.М. Синтез пленок TiSi в процессе вакуумной конденсации и методом импульсной фотонной обработки [Текст] / В.М.Иевлев , С.Б. Ку-щев, Ю.В. Горожанкин, С.В.Канныкин, С.А.Солдатенко, М.И. Маркевич, А.М. Чапланов // Конденсированные среды и межфазные границы.- 2009.- Т.11.-№3.- С.216-220.
17.Иевлев В.М. ИК-Фурье спектроскопия пленок SiC, полученных при импульсной фотонной обработке кремния в углеродосодержащей среде [Текст] / В.М.Иевлев, В.С Ильин., С.Б.Кущев, А.Н.Лукин, П.В. Середин, С.А.Солдатенко // Известия вузов. Физика.- 2009.- №12/3.- С.77-80.
18.Иевлев В.М. Ориентация и субструктура хемоэпитаксиальных пленок рутила [Текст] / Иевлев В. М., Солнцев К. А., Синельников А. А., С.А.Солдатенко // Материаловедениею.- 2010.- №7.- С.2-8.
19.Кущев С.Б. Синтез пленок SiC на Si при импульсной фотонной обработке и быстром термическом отжиге в углеродсодержащей среде [Текст] / С.Б.Кущев, С.А.Солдатенко // Альтернативная энергетика и экология.- 2011.-№7.- С.18-22.
20.Иевлев В.М. Синтез пленок рутила, активируемый фотонной обработкой [Текст] / В.М.Иевлев, С.В.Канныкин, С.Б.Кущев, А.А.Синельников, С.А.Солдатенко // Физика и xимия обработки материалов..- 2011.- №4.- C.18-25.
21.Иевлев В.М. Субструктура и оптические свойства тонких ориентированных пленок рутила [Текст] / В.М.Иевлев, К.А.Солнцев, Л.Ю.Леонова, П.В.Новиков, А.А.Синельников, С.А.Солдатенко, А.М.Возгорьков // Материаловедение. - 2011.- №11.- С.8-13.
22.Ievlev V.M. Synthesis of rutile films activated by photon treatment [text] /V.M. Ievlev, S.V. Kannykin, S.B. Kushchev, A.A. Sinel’nikov, S.A. Soldatenko // Inorganic Materials: Applied Research.- 2012.- V.3.- No.3.- P.189-192.
23.Ievlev V.M. Orientation, substructure, and optical properties of rutile films [text] / V.M.Ievlev, K.A.Solntsev, S.A.Soldatenko, L.Yu.Leonova, P.V.Novikov, E.V.Golosov, A.A.Sinel’nikov, A. M. Vozgor’kov // Inorganic Materials: Applied Research.- 2012.- V.3.- No.4.- P.282-287.
24.Иевлев В.М. Эпитаксиальная стабилизация брукита в островковых пленках TiO2 на фторфлогопите [Текст] / В.М.Иевлев, А.В.Костюченко, С.Б.Кущев, А.А.Синельников, С.А.Солдатенко // Известия Санкт-Петербургского государственного технологического института.- 2012.-№16(42).- С.81-83.
25.Иевлев В.М. Ориентация и субструктура хемоэпитаксиальных пленок ZrO2 [Текст] / В. М. Иевлев, К. А. Солнцев, А. А. Синельников, С. А. Солдатенко, А. М. Возгорьков // Неорганические материалы.- 2011.- Т.47.-№4.- С.458-463.
Патенты на изобретения.
26.Пат. 2341847 Российская Федерация, Способ синтеза пленок карбида кремния на кремниевой подложке [Текст] / Иевлев В.М., Канныкин С.В., Кущев С.Б., С.А.Солдатенко Федорова Е.Н., Черников Н.В.; заявитель и патентообладатель Воронежский государственный технический университет.-№2007115381; заявл.23.04.2007; обубл. 20.12.2008, Бюл. №35.- 7 с.
27.Пат. 2436727 Российская Федерация, Способ получения нанокристалли-ческих пленок рутила [Текст] / Иевлев В.М., Канныкин С.В., Кущев С.Б., Синельников А.А., Солдатенко С.А., Солнцев К.А., заявитель и патентообладатель Воронежский государственный технический университет.- №2010102831; заявл. 29.01.2010; обубл. 10.08.2011, Бюл. №28.- 8 с.
Статьи и материалы конференций.
28.Солдатенко С.А. Влияние ИФО на кинетику полиморфного превращения в тонких пленках [Текст] / Солдатенко С.А. // Тонкие пленки и нитевидные кристаллы, сб. научн. тр. Воронеж. ВПИ.- 1993.- С.45-48.
29.Иевлев В.М. Синтез пленочных наноструктур с использованием фотонной активации твердофазных процессов [Текст] / В.М.Иевлев, С.Б.Кущев, С.В.Канныкин, С.А.Солдатенко, Е.Н.Федорова // Белая книга по нанотехно-логиям: Исследования в области наночастиц, наноструктур и нанокомпозитов в Российской Федерации. – М. : Эдиториал УРСС, 2008 . – 344 с.
30.Иевлев В.М. Формирование контактно-металлизационных систем СБИС на основе силицидов титана методом импульсной фотонной обработки [Текст] / В.М.Иевлев, В.И.Рубцов, С.Б.Кущев, В.Н.Сарыкалин, С.А.Солдатенко // Реализация региональных научно-технических программ центрально-черноземного региона. Материал. конф. Воронеж: ВГТУ, 1996.- Т.2.- С.36-43.
31.Иевлев В.М. Образование дисилицида рения при вакуумной конденсации металла на кремний [Текст] / В.М.Иевлев, А.В.Бугаков, С.Б.Кущев, И.Г.Руднева, С.А.Солдатенко, Е.К.Белоногов // Пленки и покрытия, труды V Междун. конф. СПб., 1998.- С.451-453.
32.Иевлев В.М. Закономерности сопряжения и субструктура межфазных границ в системах Si-Силицид Ме (Ме: Pt, Pd, Ni, Re, Ir, Mo, Ti) [Текст] / В. М. Иевлев, А. В. Бугаков, С.Б.Кущев, Б. Н. Маркушев, И.Г..Руднева, С.А.Солдатенко // Тонкие пленки в микроэлектронике. Сб. докл. XII Международного симпозиума. МСТПЭ-12. Харьков, 2001.- C.201-206.
33.Ievlev V.M. Conjugation regularities and substructure of interphase boundaries in the systems Si – Final phase of Pt-, Pd-, Ni-, Re-, Ir-, Mo-, Ti- sili-cides [text] / V.M.Ievlev, A.V.Bugakov, S.B.Kushev , B.N.Markushev, I.G.Rudneva, S.A.Soldatenko Proceedings Fourth International Conference “Single crystal Growth and heat & mass transfer” ICSC, Obninsk.-2001.-V.2. -P.496-503.
34.Иевлев В.М. Фотонная активация твердофазных процессов в пленочных системах [Текст] / В.М.Иевлев, Т.Л.Тураева, С.Б.Кущев, А.А.Синельников, С.А.Солдатенко // "Нелинейная динамика металлургических процессов и систем", Сб. науч. тр. Междунар. науч.-практ. конф.. Липецк.-2003.-С.86-91.
35.Иевлев В.М. Латеральное развитие силицидообразования пленок металла на кремнии при импульсной фотонной обработке [Текст] / В.М. Иевлев, С.Б.Кущев, И.Г.Руднева, О.В. Сербин, С.А.Солдатенко // Нелинейные процессы и проблемы самоорганизации в современном материаловедении». Материалы докладов V межднар. конф. – Воронеж, 2004. – Т.1.- С.81-83.
36.Иевлев В.М. Эффект фотонной активации образования силицидов в системе (111)Si – Ni – Pt [Текст] / В.М.Иевлев, С.Б.Кущев, С.А.Солдатенко, Ю.В.Горожанкин // «Взаимодействие излучений с твердым телом» (ВИТТ -2005): труды VI Междунар. Конф. – Минск, 2005.- С.232-234.
37.Иевлев В.М. Структура пленок силицидов, образующихся при отжиге гетероструктур (111)Si-Ni-Pt [Текст] / В.М.Иевлев, С.Б.Кущев, С.А.Солдатенко, Ю.В.Горожанкин // «Фракталы и прикладная синергетика «ФиПС-2005»: труды IV Междунар. междисциплинарного симпозиума.- М: Интерконтакт Наука, 2005. – С.50-51.
38.Домашевская Э.П. Фазовый состав силицидных гетероструктур Pt – Ni – Si (111) по данным ултромягкой рентгеновской спектроскопии [Текст] / Э.П.Домашевская, С.А.Сторожилов, Ю.А.Юраков, В.М.Иевлев, С.Б.Кущев, С.А.Солдатенко, Ю.В.Горожанкин // «Физико-химические процессы в конденсированном состоянии и на межфазных границах»: материалы. III Всерос. конф. «ФАГРАН-2006».- Воронеж, 2006.- T.1.- С.318-320.
39.Иевлев В.М. Структурные и фазовые превращения при импульсной фотонной обработке в системе Pt-Ni-Si [Текст] / В.М.Иевлев, С.Б.Кущев, С.А.Солдатенко, Ю.В.Горожанкин // «Физико-хими-ческие процессы в конденсированном состоянии и на межфазных границах» «ФАГРАН-2006»: материалы III Всерос. конф. - Воронеж, 2006.- Т.1.- С.333-335.
40.Домашевская Э.П. Синтез пленок SiC при импульсной фотонной обработке кремния в углеродосодержащей среде [Текст] / Э.П.Домашевская , В.М.Иевлев, К.Н.Панков, В.А.Терехов, В.С.Ильин, С.Б.Кущев, С.А.Солдатенко, Е.Н.Федорова // Взаимодействие излучений с твердым телом «ВИТТ 2007»: материалы VII Междунар. конф.- Минск, 2007.- C.32-34.
41.Иевлев В.М. Синтез наноструктурированных пленок SiC при ИФО пластин Si в углеродосодержащей среде [Текст] / В.М.Иевлев, В.С.Ильин, С.Б.Кущев, С.А.Солдатенко // Взаимодействие излучений с твердым телом «ВИТТ 2007»: материалы VII Междунар. конф.- Минск, 2007.- C.94-97.
42.Иевлев В.М.Эффект фотонной активации твердофазных процессов в гетероструктуре (111)Si-Ni-Pt [Текст] / В.М.Иевлев, С.Б.Кущев, С.А.Солдатенко, Ю.В.Горожанкин // Взаимодействие излучений с твердым телом «ВИТТ 2007»: материалы VII Междунар. конф.- Минск, 2007.- C.97-103.
43.Иевлев В.М. Синтез пленок TiSi2 при конденсации титана в сверхвысоком вакууме на подогреваемые подложки Si [Текст] / В.М.Иевлев, С.Б.Кущев, С.А.Солдатенко, М.И.Маркевич, Чапланов А.М. // Физико-химические процессы в конденсированных средах и на межфазных границах (ФАГРАН-2008): материалы IV Всерос. конф. – Воронеж, 2008.- Т.1.-С.388-391.
44.Иевлев В.М. Синтез наноструктурированных пленок SiC активированный фотонной обработкой Si в углеродсодержащей среде [Текст] / В.М.Иевлев, В.С.Ильин, С.Б.Кущев, С.А.Солдатенко // Физико-химические процессы в конденсированных средах и на межфазных границах (ФАГРАН-2008): материалы IV Всерос. конф. – Воронеж, 2008.- Т.1.- С.267-272.
45.Ильин В.С. Фазовый состав структура и свойства пленок SiC, полученных при импульсной фотонной обработке гетероструктуры ПОЛИ-Si/SiO2/Si [Текст] / В.С.Ильин, С.Б.Кущев, С.А.Солдатенко // Нелинейные процессы и проблемы самоорганизации в современном материаловедении (индустрия наносистем и материалы): материалы конф.- Воронеж, 2009.- C.161-163.
46.Кущев С.Б. Эффект импульсной фотонной обработки при синтезе пленок SiC в углеродсодержащей газовой среде [Текст] / С.Б.Кущев, А.А.Чеботарев, С.А.Солдатенко // Современные методы и технологии создания и обработки материалов: материалы VI МНТК.- 2011.- С.163-167.
47.Иевлев В.М. Синтез пленок SiC, активированный фотонной обработкой [Текст] / В.М.Иевлев, В.С.Ильин, С.В.Канныкин, С.Б.Кущев, С.А.Солдатенко // “Научные основы химии и технологии переработки комплексного сырья и синтеза на его основе функциональных материалов”: cб. докладов Всерос. научн. конф. с междунар. участием.- Апатиты, 2008.- Ч.2.-С.41-43.