Научная тема: «ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ЕМКОСТНЫХ ВЫСОКОЧАСТОТНЫХ И БАРЬЕРНОМ РАЗРЯДАХ И ИХ ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ»
Специальность: 01.04.08
Год: 2012
Отрасль науки: Физико-математические науки
Основные научные положения, сформулированные автором на основании проведенных исследований:
  1. Результаты измерений и расчетов внутренних параметров ВЧЕ разрядов в аргоне и CF3Br. Модель плазмохимических процессов и результаты расчета состава плазмы ВЧЕ разряда в CF3Br.
  2. Методы и результаты исследований концентраций атомарного и молекулярного водорода, колебательных и вращательных температур молекул Н2 и радикалов СН*; представления о механизмах формирования атомов H, молекул H2 и радикалов СН* и их распределений по энергетическим уровням в ВЧЕ разряде в магнитном поле в метане и смесях метана с аргоном.
  3. Закономерности влияния магнитного поля на электрические и оптические характеристики и внутренние параметры плазмы ВЧЕ разрядов.
  4. Одномерная гидродинамическая модель БР в ксеноне; результаты численного исследования влияния параметров БР в ксеноне на его оптические характеристики. Анализ физико-химических процессов в БР разряде в ксеноне при формировании коротких импульсов тока.
  5. Одномерная гидродинамическая модель БР в смеси Ne/Xe; результаты численного исследования параметров БР в смеси 0.95Ne/0.05Xe. Масштабирование БР, законы преобразования для концентрации эксимерных молекул и эффективности излучения при масштабировании БР в смеси Ne/Xe .
Список опубликованных работ
1. Автаева С. Барьерный разряд. Исследование и применение. LAP Lambert Academic Publishing GmbH & Co. KG, Saarbrьcken, Germany, 2011. 193 c.

2.Avtaeva S.V. and Otorbaev D.K. The magnetically enhanced capacitive RF discharges: Diagnostics and application (Capter 6). In book: Gas Discharges – Fundamentals & Applications, 2007. Edited by Jayr de Amorim Filho. Transworld Research Network. Kerala, India, P. 149–173.

3.Автаева С.В., Барышев Ю.П., Валиев К.А., Исаев К.Ш., Никифоров И.Е., Оторбаев Д.К., Орликовский А.А., Соколов А.Б. Исследование низкотемпературной плазмы CF3Br и процессы глубинного анизотропного травления кремния в диодном реакторе. Проблемы субмикронной технологии. Под ред. К.А. Валиева. Труды ФТИ РАН. Москва: Наука. 1993. С. 3-16.

4.Автаева С.В., Барышев Ю.П., Ишикаев Р.М., Оторбаев Д.К., Орликовский А.А. Характеристики неравновесной плазмы высокочастотного разряда низкого давления в CF3Br применяемого для травления полупроводников. Микроэлектроника. 1993. Т. 22. № 4. С.206-214.

5.Avtaeva S.V., Otorbaev D.K. Diagnostics of plasma parameters in RF discharge in CF3Br during etching of semiconductors. Journal of Physics D: Applied Physics. 1993. V. 26. No.12. P. 2148-2153.

6.Avtaeva S.V., Mamytbekov M.Z., Otorbaev D.K. Diagnostics of magnetically enhanced RF discharges in methane, argon and methane-argon mixtures. Journal of Physics D: Applied Physics. 1997. V.30. No.21. P.3000-3007.

7.Автаева С.В., Мамытбеков М.З., Оторбаев Д.К. Магнетронный высокочастотный разряд в метане, аргоне и смеси метана с аргоном. Теплофизика высоких температур. 1998. Т.36. № 2. С.194-200.

8.Автаева С.В., Лапочкина Т.М., Оторбаев Д.К. Расчет характеристик ВЧ разряда. Вестник КРСУ. 2003. Том 3. № 5. С.3-11.

9.Автаева С.В. К вопросу о механизме образования атомарного водорода в высокочастотном разряде магнетронного типа в смеси Ar-C H4. Вестник КРСУ. 2004. Том 4. № 6. С. 33–41.

10.Автаева С.В., Лапочкина Т.М., Оторбаев Д.К. Исследование влияния межэлектродного расстояния на пространственную структуру и характеристики ВЧЕ разряда диодной конфигурации в аргоне. Вестник КРСУ. 2004. Том 4. № 6. С. 28–32.

11.Автаева С.В., Лапочкина Т.М., Оторбаев Д.К. Моделирование характеристик ВЧЕ разряда в аргоне: влияние межэлектродного расстояния. Известия вузов (Бишкек). 2004. № 8. с.11–14.

12.Автаева С.В., Лапочкина Т.М., Оторбаев Д.К. Спектроскопические измерения характеристик ВЧЕ-разряда в метане. Вестник КРСУ. 2005. Том 5. № 1. С.23–28.

13.Автаева С.В., Лапочкина Т.М., Скорняков А.В. Осаждение аморфных углеродсодержащих пленок в ВЧЕ разряде в метане. Горение и плазмохимия. 2005. Т.3. № 2. С. 132–140.

14.Автаева С.В., Кулумбаев Э.Б., Кайрыев Н.Ж., Лелевкин В.М., Скорняков А.В. Функция распределения электронов по энергиям в газоразрядной плазме в ксеноне. Вестник КРСУ. 2006. Т. 6. № 5. С.82–91.

15.Автаева С.В., Лапочкина Т.М. Характеристики молекулярного водорода и СН-радикала в плазме метана в высокочастотном емкостном разряде магнетронного типа. Физика плазмы. 2007. № 9. Т. 33. С. 846–858.

16.Волкова Г.А., Зверева Г.Н., Автаева С.В., Кулумбаев Э.Б., Кайрыев Н.Ж., Скорняков А.В. Исследование и моделирование барьерных разрядов с целью оптимизации эксимерных ламп. Научно-технический вестник Санкт-Петербургского государственного университета информационных технологий, механики и оптики. 2007. № 43, сс.161 -169.

17.Avtaeva S.V., Kulumbaev E.B. Modeling of effect of voltage frequency and amplitude on Xe DBD characteristics. Известия вузов. Физика. 2007. №9. Приложение. С. 122–126.

18.Автаева С.В. Исследование влияния частоты синусоидального напряжения на характеристики барьерного разряда в ксеноне. Вестник КРСУ. 2007. Т. 7. № 8. С. 75–83.

19.Автаева С.В., Кулумбаев Э.Б., Скорняков А.В. Численное исследование влияния давления газа на характеристики плазмы ксенона в барьерном разряде. Вестник КРСУ. 2007. Т. 7. № 8. С. 89–97.

20.Автаева С.В., Кулумбаев Э.Б. Влияние схемы плазмохимических процессов на характеристики барьерного разряда в ксеноне. Физика плазмы. 2008. Т.34. № 6. C. 497-516.

21.Автаева С.В., Календарев В.С., Скорняков А.В. Моделирование характеристик барьерного разряда в рамках электротехнической модели. Вестник КРСУ. 2008. Т. 8. Т. 8. № 10. С.98–105.

22.Автаева С.В. Функция распределения электронов в ВЧЕ разряде в аргоне. Известия Вузов (Бишкек). 2008. № 7–8. С.10–17.

23.Автаева С.В., Кулумбаев Э.Б. Численный анализ подобия барьерных разрядов в смеси 0.95 Ne/0.05 Xe. Физика плазмы. 2009. Т.35. № 4. С. 366–380.

24.Автаева С.В. Модель химических реакций в CBrF3 плазме ВЧЕ разряда. Известия Вузов (Бишкек). 2009. № 1. С.3–10.

25.Автаева С.В., Скорняков А.В. Влияние нелокальной кинетики электронов на характеристики барьерного разряда в ксеноне. Физика плазмы. 2009. Т.35. №.7. С. 647-656.

26.Авта ев а С. В. Влияние магнитного поля на электрические и оптические характеристики ВЧЕ разряда в аргоне. Наука и Новые Технологии. 2009. № 4. С. 34–40.

27.Автаева С.В. Моделирование характеристик барьерного разряда в смеси 0.05 Xe /0.95 Ne. Вестник КРСУ. 2009. T. 9. № 11. С. 24–30.

28.Автаева С.В. Параметры электронов в смесях Xe-Ne. Теплофизика высоких температур. 2010. T. 48. № 3. С. 340–347.

29. Автаева С.В., Скорняков А.В. Расчет характеристик ксеноновых эксиламп в рамках одномерной гидродинамической модели. Известия Вузов. Физика. 2010. Т.53, № 3. С. 43–47.

30.Avtaeva S.V., Mamytbekov M.Z., Otorbaev D.K. On the electron magnetic confinement effect in the plasma used for carbon thin films deposition. XIII ISPC. Beijing, China. 1997. V. 2. P.582-587

31.Автаева С.В., Оторбаев Д.К. Функция распределения электронов в высокочастотном разряде в аргоне. Материалы 9 школы по плазмохимии для молодых ученых России и стран СНГ. ИГХТУ. Иваново. Россия. 1999. С. 136-139.

32.Автаева С.В., Оторбаев Д.К. Характеристики высокочастотного разряда магнетронного типа в аргоне. ФНТП-2001. Петрозаводск. ПГУ. 2001. Т.1. С.271-275.

33.Avtaeva S.V., Otorbaev D.K. Spectroscopy and langmuir probe diagnostics of magnetically enhanced capacitive RF discharge in argon. ISPC-15. Orleans, France. 2001. V.IV. P.1267-1272.

34.Автаева С.В. К вопросу о механизме образования атомарного водорода в высокочастотном разряде магнетронного типа в смеси Ar-CH4. ISTAPC-2002. Иваново. ИГХТУ. 2002. С.88-91.

35.Avtaeva S.V., Otorbaev D.K. and Lapochkina T.M. Numerical simulation of RF discharge characteristics in argon and methane. PPPT-4. Minsk, Belarus, 2003. V.1, P. 70-73.

36.Автаева С.В. Модель химических реакций в CBrF3 плазме ВЧЕ разряда. IV Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии (ISTAPC-2005). Иваново, Россия. 2005. Т.1. С.201-203.

37.Автаева С.В., Лапочкина Т.М., Оторбаев Д.К. Спектральная диагностика характеристик ВЧЕ разряда в метане. Часть 1. Распределение атомов водорода по энергетическим уровням. ISTAPC-2005. Иваново, Россия. 2005. Т.2. С.467-471.

38.Автаева С.В., Лапочкина Т.М., Оторбаев Д.К. Спектральная диагностика характеристик ВЧЕ разряда в метане. Часть 2. Молекулярный водород. ISTAPC-2005. Иваново, Россия. 2005. Т.2. С. 471-475.

39.Автаева С.В., Кайрыев Н.Ж., Кулумбаев Э.Б., Скорняков А.В. Кинети ка электронов в газоразрядной плазме в ксеноне. Тезисы докладов XXXIII Звенигородской конференции по физике плазмы и УТС. Звенигород. М.: ЗАО НТЦ «ПЛАЗМАИОФАН», 2006. С. 197.

40.Автаева С.В., Кайрыев Н.Ж., Кулумбаев Э.Б., Скорняков А.В. Расчет функции распределения электронов по энергиям в ксеноне в двучленном приближении. Демидовские чтения. Москва-Екатеринбург-Томск. «Фундаментальные и прикладные проблемы современной физики». М.: ФИАН. 2006. С. 35-36.

41.Avtaeva S.V., Lapochkina T.M. Diagnostics of CH4 plasma of the magnetically enhanced capacitive RF discharge with optical emission spectroscopy methods. XVI International Conference on Gas Discharges and their Applications (GD 2006), Xi’an, China, 2006.V.1, P. 429-432.

42.Avtaeva S.V., Kayryev N.Z., Kulumbaev E.B., Skornyakov A.V. Electron kinetics in discharge plasma in xenon and helium, neon and xenon mixtures. XVI International Conference on Gas Discharges and their Applications (GD 2006), Xi’an, China, 2006. V.2, P. 801-804.

43.Avtaeva S. Influence of Хе percentage in Ne/Xe, He/Xe and He/Ne/Xe plasma on electron kinetics. XVIII ESCAMPIG . Lecce, Italy, 2006. P. 171-172.

44.Avtaeva S, Kayryev N, Kulumbaev E, Skornyakov А. EEDF, electron transport coefficients and rate constants in xenon discharge. XVII ESCAMPIGI. Lecce, Italy, 2006. P. 169-170.

45.Avtaeva S.V., Kulumbaev E.B., Skornyakov A.V. Zero-dimensional model of xenon plasma as a powerful tool for kinetic analysis. V International Conference Plasma Physics and Plasma Technology (PPPT-5), Minsk, Belarus, 2006. V.1, P.82-85.

46.Avtaeva S.V., Kulumbaev E.B., Lelevkin V.M. One-dimensional fluid simulations of 50 KHz high-pressure xenon barrier discharge. PPPT-5, Minsk, Belarus, 2006. V.1, P.86-89.

47.Avtaeva S.V., Lelevkin V.M., Kulumbaev E.B. and Skornyakov A.V. One-dimensional modeling of high pressure xenon barrier discharge. 18th International Symposium on Plasma Chemistry. Abstr. and Full-Papers CD. Kyoto, Japan. 2007, P. 129.

48.Avtaeva S.V. and Kulumbaev E.B. One-dimensional fluid simulations of high-pressure Xe barrier discharges: effect of frequency. 18th International Symposium on Plasma Chemistry. Abstr. and Full-Papers CD. Kyoto, Japan. 2007, P.130.

49.Автаева С.В., Кулумбаев Э.Б. О влиянии физико-химических процессов на характеристики барьерного разряда в ксеноне. IV международный симпозиум «Горение и плазмохимия», Алматы, Казахстан, 2007. С. 72-74.

50.Avtaeva S.V. and Kulumbaev E.B. Effect of the AC Voltage Amplitude and Frequency on the Xe DBD characteristics. 11th International Symposium on High Pressure Low Temperature Plasma Chemistry (HAKONE XI), Oleron Island, France, 2008. V. 1. P. 193-197.

51.Avtaeva S.V. and Kulumbaev E.B. Characteristics of the Similar DBDs in Ne/Xe Mixture. HAKONE XI, Oleron Island, France, 2008. V. 1. P. 188-192.

52.Avtaeva S.V. and Kulumbaev E.B. Characteristics of the DBD in 0.95Ne/0.05Xe Mixture. 15th International Symposium on High Current Electronics. Tomsk: Publishing house of the IAO SB RAS, 2008. P.252-255.

53.Avtaeva S.V. and Skornyakov A.V. Simulation of the xenon excilamps characteristics within the 1D fluid model. The 9-th Intern. Conf. Atomic and Molecular Pulsed Lasers: Abstracts. Tomsk: IAO SB RAS, 2009. P.85.