Научная тема: «ПРОЦЕССЫ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ ПОРИСТЫХ АНОДНЫХ ОКСИДОВ МЕТАЛЛОВ»
Специальность: 05.27.06
Год: 2012
Отрасль науки: Технические науки
Основные научные положения, сформулированные автором на основании проведенных исследований:
  • физико-химическая модель процесса самоорганизации пористого оксида при анодном окислении металла, учитывающая соотношение скоростей окисления металла и травления оксида, описывающая характер зарождения пор и начальных стадий роста, а также эволюцию во времени геометрических размеров пор в анодных оксидах металлов;
  • метод формирования оксида алюминия с повышенной степенью упорядоченности наноструктуры, основанный на согласованном управлении температурой протекания электрохимического процесса в зависимости от изменения электрофизических параметров анодного окисления;
  • метод электрохимического осаждения металлов в поры оксида алюминия в режиме переменного тока, основанный на установленных закономерностях переходных процессов в системе электролит - пористый анодный оксид алюминия - алюминий;
  • установленная зависимость температуры плавления от латеральных размеров металлических нанокристаллов, осажденных в матрицу пористого анодного оксида алюминия;
  • метод формирования нанонитей халькогенидов металлов обработкой парами халькогена при температуре выше точки плавления металлических нанокристаллов в порах анодного оксида алюминия;
  • метод формирования периодических наноструктур на поверхности полупроводников локальным плазменным травлением через маску пористого анодного оксида алюминия, учитывающий установленные закономерности процесса анодирования трехслойных структур: алюминий - тугоплавкий металл - кремний;
  • установленные закономерности влияния технологических параметров анодного окисления тугоплавких металлов на строение формируемых пористых анодных оксидов;
  • метод формирования высокоупорядоченного пористого оксида титана на основе многостадийного электрохимического окисления.
Список опубликованных работ
1.А.Н. Белов, Д.А. Кравченко, С.А. Гаврилов, Д.Г. Громов, А.С. Малкова, А.А. Тихомиров Исследование плавления нитевидных нанокристаллов индия в порах анодного оксида алюминия. Известия вузов. Электроника. 2004. №4. С. 3-8.

2.Гаврилов С.А., Белов А.Н., Кравченко Д.А., Железнякова А.В., Хлынов А.В. Синтез металлических нанонитей электрохимическим осаждением в режиме переменного тока. Сб. трудов 9-й международной технической конф. Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники. Таганрог 2004. С. 102-105.

3.А.Н. Белов, С.А. Гаврилов, Д.А. Кравченко Особенности создания оптических элементов на основе композитов АIIBVI – Al2O3. Cб. материалов XVI научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Датчик – 2004» М. МГИЭМ. 2004. С. 204.

4.Белов А.Н., Гаврилов С.А., Железнякова А.В. Кравченко Д.А., Пак А.С., Хлынов А.В. Синтез полупроводниковых на-нокристаллов в порах анодного оксида алюминия. Сб. трудов 6-й международной конф. Опто-,наноэлектроника, нанотех-нологии и микросистемы. Ульяновск 2004. С. 141.

5.Белов А.Н., Гаврилов С.А., Тихомиров А.А., Шевяков В.И. АСМ диагностика структуры пористого анодного оксида алюминия. Cб. материалов симпозиума «Нанофизика и нано-электроника», Нижний Новгород 2005г. С. 450-451.

6.S.A.Gavrilov, A.N.Belov, A.V.Zheleznyakova, D.Yu.Barabanov, V.I.Shevyakov, E.V. Vishnikin Technology and equipment for production of porous anodic alumina based nanostructures. Proceeding of III Russian-Japan seminar «Eqvipment and technologies for production of components of solid state electronics and nanomaterials» Moscow, MSIU, 2005. Р. 295-300.

7.A.N. Belov Gavrilov, A.V. Zheleznyakova, D.A. Kravtchenko, V.I. Shevyakov, E.N. Redichev, A.I. Belogorokhov, Th. Dittrich Nanocrystal synthesys within porous anodic alumina template. Reviews and Short Notes to Nanomeeting – 2005 «Phisycs, chemistry and application of nanostructures» Minsk, Belarus, 2005. Р. 505-508

8.А.Н. Белов, С.А. Гаврилов, А.В. Кравченко, А.В. Железняко-ва Е.Н. Редичев Синтез нитевидных нанокристаллов ZnSe импульсным электрохимическим осаждением с дальнейшей селенизацией Сб. материалов конф. «Научная сессия МИФИ – 2005» М. МИФИ, 2005, том 9. С. 204-205

9.С.А.Гаврилов, А.Н.Белов А.В.Железнякова, Е.В.Вишникин, Д.А.Кравченко Электрохимические процессы формирования твердотельных наноструктур. Известия вузов. Электроника. 2005. №4-5. С. 94-97

10.А.Н.Белов, В.М.Рощин, В.И.Шевяков Элементы микро- и на-носистем в сканирующей зондовой микроскопии Известия вузов. Электроника. 2005. №4-5. С. 120-124.

11.A.N. Belov, S.A.Gavrilov Synthesis of nanowires by pulsed current electrodeposition Abstracts of International conference “IC Micro- and nanoelectronics” Moscow-Zvenigorod. 2005. Р. O3-03.

12.A.N. Belov, S.A.Gavrilov, D.A. Kravtchenko D.G. Gromov, A.S. Malkova, A.A. Tikhomirov Melting behavior of metals in matrix of porous anodic alumina Abstracts of International conference “IC Micro- and nanoelectronics” Moscow-Zvenigorod. 2005. Р. O3-08.

13.S.A.Gavrilov, A.N. Belov, A.V.Zheleznyakova, D.Yu.Barabanov, V.I.Shevyakov, E.V. Vishnikin Factors effected on nanoporous anodic alumina Abstracts of International conference “IC Micro-and nanoelectronics” Moscow-Zvenigorod. 2005. Р. P2-03.

14.Гаврилов С.А., Белов А.Н., Железнякова А.В., Вишникин Е.В., Кравченко Д.А., Набокин А.М. Электрохимические процессы формирования твердотельных наноструктур Сб. тез. докл. 5-й международной научно-технической конф. «Микроэлектроника и информатика – 2005» М. МИЭТ. 2005. С. 109-110.

15.А.Н.Белов, С.А.Гаврилов Синтез полупроводниковых нитевидных нанокристаллов методом импульсного электрохимического осаждения с дальнейшей сульфидизацией Известия вузов. Электроника. 2006. №1. С. 31-35.

16.A.N. Belov, S.A.Gavrilov Synthesis of nanowires by pulsed current electrodeposition Proceedings of SPIE, 2006, vol. 6260. Р. 62600Y-1 – 62600Y-8.

17.S.A.Gavrilov, A.N. Belov, A.V.Zheleznyakova, D.Yu.Barabanov, V.I.Shevyakov, E.V. Vishnikin A.V. Khlynov Factors effected on nanoporous anodic alumina Proceedings of SPIE, 2006, vol. 6260. Р. 626011-1 – 626011-8.

18.А.Н. Белов, С.А. Гаврилов, М.Г. Путря, В.И. Шевяков Нано-технологии на основе анодных оксидных материалов Известия вузов. Электроника. 2006. №5. С. 93-98.

19.А.Н. Белов, С.А.Гаврилов, Ю.А. Демидов, И.Ю. Орлов, В.И. Шевяков. Формирование периодических наноразмерных структур в кремнии с использованием твердой маски пористого анодного оксида алюминия. Тезисы доклада Третьей Всероссийской конференции с международным участием «Химия поверхности и нанотехнология», Санкт – Петербург, 2006. С. 79-80.

20.Белов А.Н. Факторы, определяющие степень упорядоченности пористого анодного оксида алюминия // Материалы международной научно-технической конференции ПЭМ-2006, Таганрог, 2006. С. 197-200.

21.А.Н. Белов, С.А. Гаврилов, В.И. Шевяков Особенности получения наноструктурированного анодного оксида алюминия Российские нанотехнологии, т.1, № 1-2, 2006. С. 223-227.

22.А.Н. Белов, С.А. Гаврилов, Ю.А. Демидов, В.И. Шевяков Нелитографический метод формирования нанорельефных упорядоченных структур в полупроводниках II Всероссийская конференция по наноматериалам «НАНО-2007». Новосибирск. 2007 г. С.353.

23.A. N. Belov, S. A. Gavrilov, V. I. Shevyakov Formation of metal nanowires arrays by pulsed electrodeposition Reviews and Short Notes to Nanomeeting – 2007 «Phisycs, chemistry and application of nanostructures» Minsk, Belarus, 2007. Р. 447-450.

24.Ю.А. Демидов, И.Ю. Орлов, А.В. Хлынов, С.А. Гаврилов, А.Н. Белов Формирование пористых слоев анодного оксида титана для солнечных элементов Сборник научных трудов «Нанотехнологии в электронике» М. МИЭТ. 2007. С. 52-57.

25.С.А. Гаврилов, А.Н. Белов, А.В. Железнякова, Е.Н. Вишни-кин, В.К. Тузовский Пути повышения эффективности фотоэлектрического преобразования солнечной энергии солнечными элементами с экстремально тонкими поглощающими слоями Сборник научных трудов «Нанотехнологии в электронике» М. МИЭТ. 2007. С. 58-68.

26.A. Belov, S. Gavrilov, A. Tikhomirov, Yu. Chaplygin, and V. Shevyakov The investigation and development of the test structures for scanning probe microscopy Abstracts of International conference “IC Micro- and nanoelectronics” Moscow-Zvenigorod. 2007. Р. P2-41.

27.A. Belov, A. Dronov, and M. Nazarkin Features of porous anodic titania formation Abstracts of International conference “IC Micro-and nanoelectronics” Moscow-Zvenigorod. 2007. Р. P2-53

28.А.Н. Белов, С.А. Гаврилов, В.И. Шевяков Формирование пористых наноструктур в полупроводниках Сб. трудов 9-й международной конф. Опто-,наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы. Ульяновск 2007. С. 132.

29.А.А. Дронов, Белов А.Н. Аммосов Р.М. Исследование процесса формирования наноструктурированного анодного оксида титана в безводных фторосодержащих растворах. Сб. тезисов 10-й международной конф. Опто-,наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы. Ульяновск. 2008. С. 118.

30.A. N. Belov Local etching of silicon using a solid mask from porous aluminum oxide // Semiconductors.– 2008.– Vol. 42.– No. 13.–P.1519-1521

31.Лимонов А.Г., Гаврилов С.А., Альшина Е.А., Альшин А.Н., Белов А.Н. Численное моделирование процесса образования нанопор на поверхности оксида алюминия Сб. тез. докл. международной научно-технической конф. «Микроэлектроника и наноинженерия – 2008» М. МИЭТ. 2008. С. 10.

32.А.Н. Белов, С.А. Гаврилов Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники, М. Высшее образование.– 2009. – 257с.

33.А.Н. Белов, А.А. Дронов, И.Ю. Орлов Особенности электрохимического формирования слоев оксида титана с заданными геометрическими параметрами структуры. Известия вузов. Электроника. 2009. №1. С. 16-21.

34.С.А.Гаврилов, А.А.Дронов, В.И.Шевяков, А.Н.Белов, Э.А.Полторацкий. Пути повышения эффективности солнечных элементов с экстремально тонкими поглощающими слоями. Российские нанотехнологии. 2009.–Т.4.–№ 3-4. С. 103–109.

35.A. N. Belov, Yu. A. Demidov, V. I. Shevyakov, E. N. Redichev Features of non-lithographic formation of periodical nanostruc-tures on silicon Reviews and Short Notes to Nanomeeting – 2009 «Phisycs, chemistry and application of nanostructures» Minsk, Belarus, 2009. Р. 83-87.

36.A. N. Belov, S. A. Gavrilov, V. I. Shevyakov, A. A. Tihomirov Test structure for spm tip shape deconvolution Reviews and Short Notes to Nanomeeting – 2009 «Phisycs, chemistry and application of nanostructures» Minsk, Belarus, 2009. Р. 102-106.

37.A. N. Belov, Yu. A. Demidov, M. G. Putrya, A. A. Golishnikov, and A. A. Vasilyev Silicon nanoprofiling with the use of a solid aluminum oxide mask and combined “dry” etching // Semicon-ductors.–V. 43.–N. 13.– 2009.–P.1660-1662.

38.Белов А.Н. Физико-технологические основы процессов формирования наноструктур на основе анодных оксидов металлов // Сб. трудов Всероссийской научно-технической конференции . Нанотехнологии и наноматериалы: современное состояние и перспективы развития».– Волгоград. ВолГУ.– 2009. – С. 81-94.

39.А.Н.Белов, С.А.Гаврилов, И.В. Сагунова, А.А. Тихомиров, Ю.А. Чаплыгин В.И.Шевяков Тестовая структура для определения радиуса кривизны микромеханических зондов сканирующей силовой микроскопии. // Российские нанотехно-логии.– 2010.–Т. 5.–№5-6.–С. 95-98.

40.А.Н. Белов Формирование наноструктурированного оксида титана методом анодного окисления двухслойных структур алюминий–титан // Нанотехника.–2010.– Т. 21.– № 1.– С. 78-81.

41.Белов А.Н. Методы создания периодических наноструктур на основе пористых анодных оксидов металлов // Сб. тез. Докладов 2-й международной школы-семинара «Наноструктури-рованные оксидные пленки и покрытия».–Петрозаводск, КГПА.–2010.–С.52-53.

42.I. V. Sagunova, V. I. Shevyakov, S. A. Gavrilov, and A. N. Be-lov. Kinetics of Local Probe Oxidation of Ultrathin V, Nb, Ta, Ti, TiN, and W Metal Films // Semiconductors.– 2010.– V.44.– N.13.– Р. 1709–1713.

43.Белов А.Н., Гаврилин И.М., Дронов А.А. Исследование особенностей получения нанопрофилированных слоев оксида титана методом вытягивания из раствора // материалы международной конференции «Опто-, наноэлектроника, нанотех-нологии и микросистемы».–УлГУ.–2010.– С. 14.

44.Белов А.Н., Гаврилов С.А., Демидов Ю.А.,Шевяков В.И. Особенности формирования наноразмерной периодической маски для локальной модификации поверхности полупроводников // Международная научно-техническая конференция и молодежная школа-семинар «Нанотехнологии-2010».– Таганрог. -ТТИ-ЮФУ.–2010.–С.180-182.

45.A.N. Belov • S.A. Gavrilov • V.I. Shevyakov • E.N. Redichev Pulsed electrodeposition of metals into porous anodic alumina // Appl. Phys. A.– 2011.–V. 102.–N. 1.–P. 219-223

46.Белов А.Н., Гаврилин И.М., Гаврилов С.А., Дронов А.А., Шулятьев А.С. Высокоупорядоченные массивы нанотрубок TiO2 в фотоэлектрических преобразователях на гибком носителе// Известия вузов. Электроника.– 2011.–№2.–С. 38-42

47.Белов А.Н., Гаврилов С.А., Назаркин М.Ю., Шевяков В.И., Лемешко С.В. Исследование функциональных возможностей сканирующей электропроводящей микроскопии// Известия вузов. Электроника.– 2011.– № 3.– С. 75- 81

48.А.Н. Белов, Ю.В. Волосова С.А. Гаврилов, А.В. Железнякова М.Ю.Назаркин, В.И. Шевяков Низкотемпературные методы создания наноструктурированных оксидов титана и цинка с заданной морфологией // Известия вузов. Электроника.– 2011.– № 5.– С. 62- 68.

49.А.Н. Белов, С.А. Гаврилов, Ю.А. Демидов, В.И. Шевяков Особенности формирования маски пористого анодного оксида алюминия для плазменного локального травления кремния // Российские нанотехнологии.–2011.–Т. 6.–.№1 1-12.–С. 6-10.

50.А.Н.Белов, М.И.Воробьев, С.А.Гаврилов Моделирование процесса образования пористых анодных оксидов металлов // Сб. трудов 13-й международной конф. Опто-,наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы. Ульяновск 2011. С. 9-10.

51.Гаврилов С.А., Белов А.Н., Железнякова А.В. Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наноси-стем. М.: МИЭТ. - 2011. - 172 с.

52.A. N. Belov, I. M. Gavrilin, S. A. Gavrilov, and A. A. Dronov Specific Features of the Morphology of Titanium Oxide Films Prepared by Pulling Silicon Substrates from a Solution // Semi-conductors.– 2011.– V.45.– N.13.– Р. 33–35.

53.Белов А.Н., Волосова Ю.В., Гаврилов С.А., Редичев Е.Н., Шевяков В.И. Электрохимический реактор для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников // Нанотехника. – 2011. - № 4. – С. 42 – 49.

54.Белов А.Н. Волосова Ю.В., Гаврилов С.А. Влияние геометрических параметров пористых слоев оксида алюминия на характеристики влагочувствительной структуры на его основе// Известия вузов. Электроника.– 2012.– № 1.– С. 11- 15.

55.Патент РФ № 2324015. Белов А.Н., Гаврилов С.А., Железня-кова А.В., Тихомиров А.А., Тузовский В.К Шевяков В.И. Способ получения пористого анодного оксида алюминия,. 2008.

56.Патент РФ № 2332528. Белов А.Н., Гаврилов С.А., Демидов Ю.А., Железнякова А.В., Шевяков В.И. Электрохимическая ячейка для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников. 2008.

57.Патент РФ № 2335735 Белов А.Н., Гаврилов С.А., Орлов И.Ю., Тихомиров А.А., Шевяков В.И. Тестовая структура для оценки радиуса кривизны острия иглы кантилевера сканирующей зондовой микроскопии. 2008.

58.Патент РФ № 2404486 Белов А.Н., Гаврилов С.А., Дронов А.А., Назаркин М.Ю., Шевяков В.И. Твердотельный солнечный элемент на гибком носителе 2011.

59.Патент РФ № 2425182 Белов А.Н., Гаврилов С.А., Шевяков В.И. Электрохимическая ячейка для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников 2011.