2. Способы разделения ИС по надежности с использованием среднеквадратичного значения напряжения НЧ шума, измеренного:
- в цепи ,,вход - общая точка" при двух значениях тока между этими выводами;
- в цепи ,,вход - общая точка" с использованием одного тока и разных температур;
- в цепи ,,питание - общая точка" при двух напряжениях питания при нормальной температуре.
3. Два новых способа разделения ИС по надежности на основе измерений показателя формы спектра низкочастотного шума γ:
- на выводах ,,питание - общая точка" на двух частотах;
- на выводах ,,питание - общая точка" на двух частотах при трех температурах (0 °С, 25 °С и 100 °С).
4. Способы разделения ППИ по надежности с использованием внешних воздействий: термоциклирования, ЭСР с последующим отжигом и рентгеновского облучения:
- путем контроля среднеквадратичного напряжения НЧ шума по выводам ,,питание - общая точка" до и после десяти термоциклов диапазоне 0 ÷ 100 °С;
- на основе измерения среднеквадратичного напряжения НЧ шума по выводам ,,питание - общая точка" до и после воздействия ЭСР на вход ИС и последующего отжига;
- по измерению среднеквадратичного напряжения НЧ шума по выводам ,,питание - общая точка" до и после воздействия ЭСР на выводы ,,питание - общая точка" и последующего отжига;
- с помощью измерения среднеквадратичного напряжения НЧ шума по выводам ,,вход - общая точка" до и после воздействия ЭСР на выводы ,,вход - общая точка" и последующего отжига;
- путем контроля основных параметров ППИ по ТУ и параметра НЧ шума γ до и после рентгеновского облучения.
5. Модель прогнозирования уровня низкочастотного шума с помощью разложения в ряд Ньютона функции изменения НЧ шума от частоты на основе эмпирических данных.
6. Сравнение достоверности разработанных способов диагностирования на примере партии ИС типа КР142ЕН5А с результатами испытаний на надежность.1.Диагностика твердотельных полупроводниковых структур по параметрам низкочастотного шума / М.И. Горлов, Л.П. Ануфриев, А.П. Достанко, Д.Ю. Смирнов. Минск: ,,Интегралполиграф‖, 2006. – 110 c.
2.Горлов М.И. Диагностика в современной микроэлектронике / М.И. Горлов, В.А. Емельянов, Д.Ю. Смирнов. Минск: ,,Бел наука‖, 2011. – 367 с.
Публикации в изданиях, рекомендованных ВАК РФ
3.Методы диагностики полупроводниковых изделий с использованием электростатических разрядов / М.И. Горлов, В.А. Емельянов, И.И. Рубцевич, Д.Ю. Смирнов // Микроэлектроника. 2005. Т. 34. № 3. С. 27 – 36.
4.Использование уровня шумов для контроля полупроводниковых изделий при термоциклировании / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Ю.Е. Сегал, А.В. Емельянов // Известия вузов. Электроника. 2005. № 6. С. 89 – 92.
5.Горлов М.И. Разделение интегральных схем по надежности с использованием 1/f – шума / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Д.Л. Ануфриев // Известия вузов. Электроника. 2006. № 1. С. 84 – 89.
6.Горлов М.И. Прогнозирование деградации транзисторов с использованием методов теории и анализа временных рядов / М.И. Горлов, А.В. Строгонов, Д.Ю. Смирнов // Микроэлектроника. 2006. Т. 35. № 3. С. 259 – 267.
7.Горлов М.И. Классификация надежности интегральных схем с использованием показателя формы спектра γ / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Д.Л. Ануфриев // Известия вузов. Электроника. 2006. № 5. С. 78 – 82.
8.Горлов М.И. Измерение шумовых параметров полупроводниковых изделий / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Д.Л. Ануфриев // Измерительная техника. 2006. №12. С.46 - 49.
9.Горлов М.И. Диагностика надежности ИС по НЧ-шуму с использованием термоциклирования / М.И. Горлов, Н.Н. Козьяков, Д.Ю. Смирнов // Известия вузов. Электроника. 2007. № 4. С. 89 – 91.
10.Горлов М.И. Достоверность диагностических методов исследования на основе анализа низкочастотных шумов / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Н.Н. Козьяков // Известия вузов. Электроника. 2009. № 1. С. 79 – 86.
11.Горлов М.И. Оценка надежности аналоговых интегральных схем с использованием измерений электрических параметров при внешних воздействиях / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов // Известия вузов. Электроника. 2009. № 5. С. 21 – 27.
12.Горлов М.И. Сравнение технологии герметизации интегральных схем на различных заводах / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Р.М. Тихонов // Приборы. 2010. №3. С. 53-55.
13.Горлов М.И. Диагностический контроль интегральных схем с использованием шумов и воздействия электростатических разрядов / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Р.М. Тихонов // Микроэлектроника. 2010. Т.39. №1. С. 21 – 27.
14.Горлов М.И. Влияние рентгеновского излучения на низкочастотный шум ИС / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Е.А. Золотарева // Известия вузов. Электроника. 2010. № 4. С. 8 – 13.
15.Горлов М.И. Способ разделения тиристоров по надежности с использованием низкочастотного шума и рентгеновского облучения / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Е.А. Золотарева // Дефектоскопия. 2010. №12. С. 23 – 25.
16.Горлов М.И. Способы разделения полупроводниковых приборов по надежности с использованием низкочастотного шума и рентгеновского облучения / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Е.А. Золотарева // Микроэлектроника. 2011. Т.40. №1. С. 52 – 56.
Патенты на изобретения
17. Пат. 2234104 Российская Федерация, МПК7 7G01R 31/26, H01R 21/66. Способ определения потенциально нестабильных полупроводниковых приборов / М.И. Горлов, А.П. Жарких, А.В. Емельянов, Д.Ю. Смирнов; № 2003105569/28; заявл. 26.02.2003; опубл. 10.08.2004; бюл. № 22. 4 с.
18.Пат. 2242018 Российская Федерация, МПК7 7G01R 31/26. Способ разделения биполярных транзисторов по стабильности обратных токов / М.И. Горлов, А.В. Андреев, А.В. Емельянов, Д.А. Литвиненко, Д.Ю. Смирнов; № 2003111056/28; заявл. 17.04.2003; опубл. 10.12.2004; бюл. № 34. 3 с.
19.Пат. 2258234 Российская Федерация, МПК7 G01R 31/26. Способ разделения полупроводниковых приборов по надежности / М.И. Горлов, А.П. Жарких, И.А. Шишкин, Д.Ю. Смирнов; № 2004120025/28; заявл. 30.06.2004; опубл. 10.08.2005; бюл. № 22. 3 с.
20.Пат. 2263326 Российская Федерация, МПК7 G01R 31/26. Устройство для разбраковки полупроводниковых изделий по ампер-шумовым характеристикам / М.И. Горлов, А.П. Жарких, Д.Ю. Смирнов; № 2004105669/28; заявл. 25.02.2004; опубл. 27.10.2005; бюл. № 30. 6 с.
21.Пат. 2278392 Российская Федерация, МПК7 7G01R 31/26. Способ разделения интегральных схем / М.И. Горлов, И.И. Рубцевич, Д.Ю. Смирнов; № 2005105366/28; заявл. 24.02.2005; опубл. 21.02.2006; бюл. № 17. 3 с.
22.Пат. 2284539 Российская Федерация, МПК7 7G01R 31/26 Способ разделения интегральных схем по надежности / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Д.Л. Ануфриев; № 2005106707/28; заявл. 09.03.2005; опубл. 27.09.2006; бюл. № 27. 3 с.
23.Пат. 2285270 Российская Федерация, МПК7 7G01R 31/26. Способ разделения интегральных схем по надежности / М.И. Горлов, В.И. Плебанович, Д.Ю. Смирнов; № 2005105368/28; заявл. 24.02.2005; опубл. 10.10.2006; бюл. № 28. 3 с.
24.Пат. 2309418 Российская Федерация, МПК7 7G01R 31/26 Способ разделения полупроводниковых изделий по надежности / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Д.Л. Ануфриев; № 2005116810/28; заявл. 01.06.2005; опубл. 27.10.2006; бюл. № 30. 3 с.
25.Пат. 2289144 Российская Федерация, МПК7 7G01R 31/26 Способ разбраковки полупроводниковых изделий / М.И. Горлов, А.В. Емельянов, Д.Ю. Смирнов, Ю.Е. Сегал; № 2005101028/28; заявл. 18.01.2005; опубл. 10.12.2006; бюл. № 34. 3 с.
26.Пат. 2292052 Российская Федерация, МПК7 7G01R 31/26 Способ разделения полупроводниковых изделий по надежности / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Д.Л. Ануфриев; № 2005116809/28; заявл. 01.06.2005; опубл. 20.01.2007; бюл. № 2. 3 с.
27.Пат. 2294545 Российская Федерация, МПК7 7G01R 31/26. Устройство для измерения параметра низкочастотного шума γ / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Н.Н. Козьяков; № 2005133743/28; заявл. 01.11.2005; опубл. 27.02.2007; бюл. № 6. 3 с.
28.Пат. 2307368 Российская Федерация, МПК7 7G01R 31/26. Способ неразрушающего контроля устойчивости к вторичному пробою мощных МДП-транзисторов / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Д.Л. Ануфриев; № 2005135366/28; заявл. 14.11.2005; опубл. 27.09.2007; бюл. № 27. 3 с.
29.Пат. 2311653 Российская Федерация, МПК7 7G01R 31/26 Способ разделения аналоговых интегральных схем по надежности / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Д.Л. Ануфриев; № 2006107247/28; заявл. 09.03.2006; опубл. 27.11.2007; бюл. № 33. 3 с.
30.Пат. 2324194 Российская Федерация, МПК7 7G01R 31/26 Способ разделения интегральных схем по надежности / М.И. Горлов, Д.Л. Ануфриев Д.Ю. Смирнов; № 2006132770/28; заявл. 12.09.2006; опубл. 10.05.2008; бюл. № 13. 3 с.
31.Пат. 90218 Российская Федерация, МПК7 7G01R 31/26 Устройство измерения параметра низкочастотного шума γ / М.И. Горлов, Б.К. Петров, Д.Ю. Смирнов; № 2009114133/28; заявл. 14.04.2009; опубл. 27.12.2009; бюл. № 36. 3 с.
32.Пат. 2386975 Российская Федерация, МПК7 7G01R 31/26 Способ сравнительной оценки надежности партий интегральных схем / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Р.М. Тихонов; № 2008144594/28; заявл. 11.11.2008; опубл. 20.04.2010; бюл. № 11. 3 с.
33.Пат. 2465612 Российская Федерация, МПК7 7G01R 31/26 Способ сравнительной оценки партий транзисторов по надежности / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Е.А. Золотарева; № 2009142349/28; заявл. 17.11.2009; опубл. 27.10.2012; бюл. № 30. 3 с.
34.Пат. 2472171 Российская Федерация, МПК7 7G01R 31/26 Способ разбраковки полупроводниковых изделий / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Е.А. Золотарева; № 2009144815/28; заявл. 02.12.2009; опубл. 10.01.2013; бюл. № 1. 3 с.
35.Пат. 2475767 Российская Федерация, МПК7 7G01R 31/26 Устройство для измерения параметра низкочастотного шума γ / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Р.М. Тихонов; № 2009142339/28; заявл. 17.11.2009; опубл. 20.02.2013; бюл. № 5. 3 с.
36.Пат. 2484489 Российская Федерация, МПК7 7G01R 31/26 Способ отбраковки полупроводниковых изделий пониженного уровня надежности / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Е.А. Золотарева; № 2010113195/28; заявл. 05.04.2010; опубл. 10.06.2013; бюл. № 16. 2 с.
37.Пат. 2490655 Российская Федерация, МПК7 7G01R 31/26 Способ сравнительной оценки надежности полупроводниковых изделий / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Р.М. Тихонов, Д.М. Жуков; № 2010130604/28; заявл. 20.07.2010; опубл. 20.08.2013; бюл. № 23. 2 с.
Статьи и материалы конференций
38.Горлов М.И. Влияние электростатических разрядов на электрические параметры ИС типа КА1034НР3 / М.И. Горлов, Е.П. Николаева, Д.Ю. Смирнов // Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах: материалы докл. науч.–техн. семинара. М., 2003. С. 160 – 161.
39.Горлов М.И. Использование шумовых параметров и воздействия электростатических разрядов для разделения полупроводниковых приборов по надежности / М.И. Горлов, А.П. Жарких, И.А. Шишкин, Д.Ю. Смирнов // Шумовые и деграда-ционные процессы в полупроводниковых приборах: материалы докл. науч.–техн. семинара. М., 2004. С. 14 – 15.
40.Петров Б.К. Расчет термических эффектов при воздействии ЭСР на биполярные транзисторы / Б.К. Петров, М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов // Радиолокация, навигация, связь: материалы докл. науч.– техн. конф. Воронеж, 2004. С. 665-672.
41.Смирнов Д.Ю. Влияние электростатических воздействий на интегральные схемы типа КА1034НР3 / Д.Ю. Смирнов, М.И. Горлов // Радиоэлектроника, электротехника и энергетика: материалы докл. науч.–техн. конф. М., 2004. С. 243.
42.Горлов М.И. Использование шумовых параметров и воздействия электростатических разрядов для разделения полупроводниковых приборов по надежности / М.И. Горлов, А.П. Жарких, И.А. Шишкин, Д.Ю. Смирнов // Шумовые и дегра-дационные процессы в полупроводниковых приборах: материалы докл. научн. – техн. семинара. М., 2005. С. 14 – 16.
43.Горлов М.И. Разделение интегральных схем по надежности с использованием шумовых параметров / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Д.Л. Ануфриев // Техника машиностроения. 2006. № 1. С. 17 – 22.
44.Горлов М.И. Возможность отбраковки полупроводниковых приборов по уровню низкочастотного шума / М.И. Горлов, В.А. Емельянов, Д.Ю. Смирнов // Компоненты и технологии. 2005. № 8. С. 198 – 201.
45.Смирнов Д.Ю. Разделение интегральных схем по надежности с использованием низкочастотного шума / Д.Ю. Смирнов // Микроэлектроника и информатика – 2006: материалы докл. науч.– техн. конф. М., 2006. С. 110.
46. Горлов М.И. Устройство для измерения параметра низкочастотного шума γ / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Н.Н. Козья- ков // Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах: материалы докл. науч.–техн. семинара. М., 2006. С. 65 – 67.
47.Горлов М.И. Неразрушающий метод контроля устойчивости к вторичному пробою / М.И. Горлов, Д.Л. Ануфриев, Д.Ю. Смирнов, Е.П. Николаева // Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах: материалы докл. науч.–техн. семинара. М., 2006. С. 68 – 71.
48.Горлов М.И. Диагностический контроль надежности интегральных схем с использованием шумов и воздействия электростатических разрядов / М.И. Горлов, Д.Л. Ануфриев, Д.Ю. Смирнов // Твердотельная электроника и микроэлектроника: Межвуз. сб. науч. тр. Воронеж: ВГТУ, 2006. С. 173 – 177.
49.Горлов М.И. Методы выборочной сравнительной оценки партий полупроводниковых приборов по качеству и надежности / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Р.М. Тихонов // Твердотельная электроника и микроэлектроника: Межвуз. сб. науч. тр. Воронеж: ВГТУ, 2006. С. 36 – 43.
50.Горлов М.И. Способы разделения аналоговых интегральных схем по надежности с использованием параметров низкочастотного шума / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов // Микроэлектроника: материалы докл. научн. – техн. конф. преподавателей и студентов ВГТУ Воронеж: ВГТУ, 2009. С. 10.
51.Горлов М.И. Способы разделения полупроводниковых изделий по надежности / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов // Твердотельная электроника и микроэлектроника: Межвуз. сб. науч. тр. Воронеж: ВГТУ, 2009. С. 43 – 48.
52.Горлов М.И. Способы сравнительной оценки надежности партий полупроводниковых изделий / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Р.М. Тихонов // Твердотельная электроника и микроэлектроника: Межвуз. сб. науч. тр. Воронеж: ВГТУ, 2010. С. 194 – 198.
53.Горлов М.И. Модель прогнозирования низкочастотного шума / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Е.А. Золотарева // Радиолокация, навигация и связь: материалы докл. научн. – техн. конф. Воронеж, 2010. С. 524 – 527.
54.Горлов М.И. Способы разделения полупроводниковых изделий по надежности / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов // Производство электроники. 2010. № 7. С. 1 – 3.
55.Горлов М.И. Способы разделения полупроводниковых приборов по надежности с использованием шумовых параметров / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Е.А. Золотарева // Шумовые и дегра-дационные процессы в полупроводниковых приборах: материалы докл. научн. – техн. семинара. М., 2010. С. 65 – 69.
56.Gorlov M.I. Reliability of Diagnostic Methods Based on Low Frequency Noise Analysis / M.I. Gorlov, D.Yu. Smirnov, N.N. Koz’yakov // Semiconductors. 2009. Vol. 43. No. 13. pp. 1737–1741.
57.Горлов М.И. Способы разделения полупроводниковых изделий по надежности / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Е.А. Антонова // Радиолокация, навигация, связь: материалы докл. науч.– техн. конф. Воронеж, 2011. С. 522-527.
58.Горлов М.И. Способ разделения тиристоров по надежности с использованием шумовых параметров и рентгеновского облучения / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Е.А. Золотарева // Шумовые и дегра-дационные процессы в полупроводниковых приборах: материалы докл. науч.–техн. семинара. М., 2011. С. 61 – 65.
59.Горлов М.И. Влияние рентгеновского излучения на электрические параметры транзисторов КТ602 / М.И. Горлов, Д.Ю. Смирнов, Е.А. Антонова // Вестник Воронежского государственного технического университета. 2011. Т 7. № 1. С. 8 – 13.
Диссертации
60. Смирнов Д.Ю. Диагностические методы оценки надежности интегральных схем с использованием шумовых параметров: дис. канд. тех. наук: 12.11.06: защищена 12.12.06: утв. 13.04.07 / Смирнов Дмитрий Юрьевич. — Воронеж, ВГТУ. - 113 с.