- Интерференционные поля криволинейных дифракционных решеток сложной формы оказывают структурирующее воздействие на процессы синтеза наноразмерных пленок при ионном магнетронном и термическом вакуумном напылении, инициируя процессы самоорганизации в напыляемых структурах и стимулируя образование упорядоченных фрактальных структур.
- Наноразмерные пленки с фрактальной структурой, полученные под воздействием интерференционных полей обладают нехарактерными оптическими, электрофизическими и механическими особенностями, определяемыми их структурой и коррелирующими со свойствами криволинейных дифракционных решеток, используемых для получения наноразмерных фрактальных пленок.
- Метод вторичной ионно-электронной эмиссии позволяет осуществлять в условиях высоковольтного тлеющего разряда перенос рисунка с катода маски на подложку в процессах групповой прецизионной литографии.
- Оптимальные длины волн рентгеновского излучения, перспективные в процессах рентгеновской литографии при использовании синхротронного излучения, лежат в диапазоне 0,8 - 1,4 нм.
- Технологические режимы обработки тонких пленок, нанесенных на внутреннюю поверхность прозрачных для лазерного излучения изделий, позволяют проводить безрезистную лазерную литографию этих пленок со стороны подложки изделия любого размера. Оптимальные условия обработки достигаются при токе накачки 33-36 А, плотности мощности излучения более 2,9·106 Вт/см2 и частоте импульсов менее 8 кГц.
2. Марголин В.И., Тупик В.А. Исследование ионной и плазменной стойкости резистов для микролитографии // Известия ВУЗов России. Сер. Радиоэлектроника. 2000. № 1, С. 61-64.
3. Марголин В.И., Тупик В.А. Процессы прецизионной литогpафии в электронике.- С. Петербург. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ". СПб, 2001, 211 с., ил. Библ 203. Рус. Деп. в ВИНИТИ 12.07.2001, № 1640 – В 2001.
4. Марголин В.И., Поликарпов Н.С., Тупик В.А. Исследование особенностей процесса низковольтной электронной литографии // Тезисы докладов ХII Российского симпозиума РЭМ  2001, Черноголовка, 2001, С. 104.
6. Серов И.Н., Лукьянов Г.Н., Марголин В.И., Потсар Н.А., Солтовская И.А., Тупик В.А., Фантиков В.С.Получение и исследование наноразмерных пленок меди с фрактальной структурой // Микросистемная техника, 2004, № 1, С. 31-37.
7. Серов И.Н., Марголин В.И., Жабрев В.А., Потсар Н.А., Солтовская И.А., Тупик В.А., Фантиков В.С. Резонансные явления в наноразмерных структурах // Инженерная физика. - 2004. - № 1, С. 18-32.
8. Серов И.Н., Марголин В.И., Потсар Н.А., Солтовская И.А., Тупик В.А., Фантиков В.С. Исследование наноразмерных пленок с фрактальной топологией // Микроэлектроника. - 2004. - Т. 33, № 5, С. 263-271.
9. Serov I.N. Study of characteristic of the nano-dimensional fraktal films / I.N. Serov, V.I. Margolin, I.A. Soltovskaya, V.A. Tupik, V.S. Fantikov // Book of Abstracts of Topical meeting of the European Ceramic Society Nanoparticles, Nanostructures & Nanocomposites. – 5 – 7 July 2004. – Saint – Petersburg, C. 170–171.
10. Серов И.Н., Марголин В.И., Потсар Н.А., Солтовская И.А., Тупик В.А., Фантиков В.С. Исследование наноструктурированных пленок меди методами растровой и атомно-силовой микроскопии // Поверхность. - 2004. - № 7, С. 31-35.
11. Серов И.Н., Марголин В.И., Жабрев В.А., Солтовская И.А., Тупик В.А., Фантиков В.С. Исследование воздействия фрактальных топологий на некоторые процессы нанотехнологии // Сборник научных трудов и инженерных разработок 5-й Российской выставки "Изделия и технологии двойного назначения. Конверсия ОПК" под ред. академика РАН Фролова К.В. М.:- Т. II. 2004, С. 348-363.
12. Серов И.Н., Марголин В.И., Жабрев В.А., Солтовская И.А., Тупик В.А., Фантиков В.С. Получение и исследование наноразмерных фрактальных пленок // Материалы научно-практической конф. материаловедческих обществ России "Создание материалов с заданными свойствами: методология и моделирование. М.: МИФИ. – 2004, С. 41-42.
13. Серов И.Н., Марголин В.И., Жабрев В.А., Тупик В.А., Фантиков В.С. Эффекты дальнодействия в микро- и наноразмерных структурах // Инженерная физика. – 2005. - № 1, С. 51–67.
14. Жабрев В.А., Лукьянов Г.Н., Марголин В.И., Потехин М.С., Тупик В.А., Серов И.Н., Солтовская И.А. Исследование фрактальных структур Cu, полученных методом ионного магнетронного распыления // Конструкции из композиционных материалов.- 2005, Вып. 4, С. 53–62.
15. Барченко В.Т., Потехин М.С., Солтовская И.А., Тупик В.А. Применение ионного магнетронного распыления для получения фрактальных наноразмерных пленок // Вакуумная техника и технология. – 2005.- Том 15 №2, С. 205-208.
16. Потехин М.С., Солтовская И.А., Тупик В.А., Фантиков В.С. Исследование фрактальных свойств тонких наноразмерных пленок // Вакуумная техника и технология. – 2005.- Том 15 №2, С. 209-214.
17. V.A. Zhabrev, G.N. Lukyanov, V.I. Margolin, M.S. Potekhin, I.N. Serov, I.A. Soltovscaya, V.A.Tupik Research on mechanism of DOE influence on fractal nano-dimensional films production // Proc. of SPIE, 2005 - vol.6251, C. 338–346.
18. Серов И.Н., Марголин В.И., Солтовская И.А., Лукьянов Г.Н., Потсар Н.А., Фантиков В.С., Тупик В.А. Получение и исследование наноразмерных пленок меди с фрактальной структурой // Монография. Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам. Сборник статей под ред. д.т.н., проф. П.П. Мальцева. М.: Техносфера, 2005, С. 230-241.
19. Серов И.Н., Марголин В.И., Жабрев В.А., Лукьянов Г.Н., Солтовская И.А., Тупик В.А., Потехин М.С. Исследование воздействия фрактальных структур на процессы образования наноразмерных пленок // Тяжелое машиностроение. - 2005, № 11, С. 19-21.
20. Жабрев В.А., Лукьянов Г.Н., Марголин В.И., Серов И.Н., Тупик В.А. Экспериментальное исследование фрактальных структур Cu и Ti, полученных методом магнетронного ионного распыления // Нанотехника. - 2005. - № 3, С. 60–77.
21. Жабрев В.А., Лукьянов Г.Н., Марголин В.И., Потехин М.С., Серов И.Н., Солтовская И.А., Тупик В.А. Получение и исследование фрактальных наноразмерных пленок // Тезисы докладов Международной конференции "Современное материаловедение: достижение и проблемы" MMS-2005, 26-30 сентября 2005, Киев, С. 658–659.
23. Тупик В.А., Марголин В.И. Разработка методов создания малогабаритных антенных устройств на основе фрактальных структур // Белая книга. Исследования в области наночастиц, наноструктур и нанокомпозитов в Российской Федерации. Под ред. Шевченко В.Я. М.: Издательство ЛКИ. 2006, С. 227.
24. Анисимов А.В., Барченко В.Т., Марголин В.И., Мирошниченко С.К., Потехин М.С., Сошников И.П., Тупик В.А., Фантиков В.С. Отражательные свойства наноразмерных фрактальных пленок // Харьковская нанотехнологическая ассамблея. Том 2. Тонкие пленки в оптике и наноэлектронике. Сборник докладов 18-го Международного симпозиума "Тонкие пленки в оптике и наноэлектронике".- Харьков: ННЦ "ХФТИ", ИПП "Контраст".- 2006, С. 240-243.
25. Жабрев В.А., Лукьянов Г.Н., Марголин В.И., Немов С.А., Серов И.Н., Сошников И.П., Тупик В.А., Фантиков В.С. Структурные особенности и свойства фрактальных наноразмерных пленок // Сборник научных трудов 4-й Международной специализированной выставки "Лаборатория Экспо 06".- М.: Эксподизайн, 2006, С. 37-41.
26. Анисимов А.В., Барченко В.Т., Мирошниченко С.К., Потехин М.С., Сошников И.П., Тупик В.А., Фантиков В.С. Наноструктурные наноразмерные покрытия и перспективы их применения // Харьковская нанотехнологическая ассамблея. Том 2. Тонкие пленки в оптике и наноэлектронике. Сборник докладов 18-го Международного симпозиума "Тонкие пленки в оптике и наноэлектронике".- Харьков: ННЦ "ХФТИ", ИПП "Контраст". 2006, С. 244-247.
28. Жабрев В.А., Марголин В.И., Лукьянов Г.Н., Тупик В.А. Эффекты дальнодействия и резонансные явления в наноразмерных структурах // Харьковская нанотехнологическая Ассамблея-2007, 23-27 апреля 2007, Харьков.- Сборник докладов 19-го Международного симпозиума "Тонкие пленки в оптике, нанофотонике и наноэлектронике" и 2-го Международного научно-технического семинара "Вакуумно-дуговой разряд с холодным катодом: физика, технология и устройства".- Харьков: ННЦ "ХФТИ", ИПП "Контраст", Т.2 Тонкие пленки. 2007, С. 48–61.
29. Жабрев В.А., Мамыкин А.И., Марголин В.И., Потехин М.С., Тупик В.А. Исследование процессов образования фрактальных наноразмерных пленок методами РЭМ и СТМ // Тез. докл. XV Российского симпозиума по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел. 4 июня - 7 июня 2007.- Черноголовка, Изд-во ИПТМ РАН, 2007, С. 87-88.
30. Жабрев В.А., Мамыкин А.И., Марголин В.И., Потехин М.С., Тупик В.А., Аммон Л.Ю. Моделирование процессов роста фрактальных наноразмерных пленок // Высокие технологии, фундаментальные и прикладные исследования, образование, Т. 9.- Сборник трудов третьей международной научно-практической конференции "Исследование, разработка и применение высоких технологий в промышленности", 14-17.03.2007, СПб.: Издательство Политехнического университета, С. 145-146.
31. Жабрев В.А., Мамыкин А.И., Марголин В.И., Потехин М.С., Тупик В.А. Исследование процессов ионно-электронной эмиссии для целей микро- и нанотехнологии // Сборник трудов 5-ой Международной специализированной выставки "Лаборатория Экспо"07, 2-5 окт. 2007. ВВЦ - ВДНХ, Изд-во "Эксподизайн", 2007, С. 112-116.
32. Жабрев В.А., Мамыкин А.И., Марголин В.И., Потехин М.С., Тупик В.А. Возможность применения процессов ионно-электронной эмиссии в микро- и нанолитографии // Сборник научных трудов и инженерных разработок. Ориентированные фундаментальные исследования - федеральные целевые программы, наукоемкое производство / под ред. академика РАН К.В. Фролова.- М.: "Эксподизайн", 2007, С. 156–159.
33. Жабрев В.А., Мамыкин А.И., Марголин В.И., Потехин М.С., Тупик В.А. Исследование процессов в газоразрядном промежутке установки ионно-электронной эмиссии для микро- и нанолитографии // Сборник научных трудов и инженерных разработок. Ориентированные фундаментальные исследования - федеральные целевые программы, наукоемкое производство / под ред. академика РАН К.В. Фролова.- М.: "Эксподизайн", 2007, С. 160–161.
34. Жабрев В.А., Мамыкин А.И., Марголин В.И., Потехин М.С., Тупик В.А. Исследование характеристик рентгеновских резистов // "Нанотехнология - производству - 2007".- Тез. докл. конференции, 28 - 30 ноября 2007.- Фрязино.- М.: "Янус-К", 2007, С. 100-101.
35. Мамыкин А.И., Потехин М.С., Тупик В.А. Применение рентгеновского излучения для исследования свойств рентгенорезистов // Тез. докл. Второго Всероссийского совещания ученых, инженеров и производителей в области нанотехнологий, М., 15 мая 2008, С. 53.
36. Жабрев В.А., Марголин В.И., Мамыкин А.И., Тупик В.А. Фронтальные аспекты наномира // Сборник научных трудов и инженерных разработок. Ориентированные фундаментальные исследования - новые модели сотрудничества в инновационных процессах.- М.: "Эксподизайн-Холдинг", 2008.- С. 117-121.
37. Жабрев В.А., Марголин В.И., Тупик В.А. Проблемы синтеза наноразмерных пленок с фрактальной структурой // Сб. тез. докл. научно-технических секций I-го Международного форума по нанотехнологиям Роснанофорум, 3-5 дек. 2008.- М.: Роснанотех.- секция 4.5 Химия и химическая технология наноматериалов, С. 141.
38. Малышев В.Н., Мамыкин А.И., Марголин В.И., Тупик В.А. Исследование поверхностных аквакомплексов в пористых кристаллах методом ядерного магнитного резонанса // Нанотехника.- 2009.- № 1(17), С. 99-103.
39. Жабрев В.А., Мамыкин А.И., Марголин В.И., Потехин М.С., Тупик В.А. Разработка технологии производства элементов нанорадиоэлектроники на основе тлеющего разряда // Известия СПбГЭТУ "ЛЭТИ".- 2009.- № 5, С. 3-8.
40. Бабичев Д.А., Тупик В.А. Моделирование формы фрактальной антенны на основе электромагнитного расчета характеристик микрополосковой прямоугольной антенны // Известия СПбГЭТУ "ЛЭТИ".- 2009.- № 10, С. 3-7.
41. Аммон Л.Ю., Жабрев В.А., Марголин В.И., Тупик В.А. Компьютерное моделирование процессов синтеза пленочных наноструктур // Физико-математическое моделирование систем: материалы VI Междунар. семинара. Воронеж: ГОУВПО "Воронежский государственный технический университет", 2009. Ч. 1, С. 188-192.
42. Тупик В.А., Фантиков В.А. Моделирование процессов эволюции в высокотемпературных покрытиях с фрактальной структурой // Сб. тез. докладов XXI Всероссийского совещания по температуроустойчивым функциональным покрытиям, 26-28 апреля 2010г., Санкт-Петербург, С. 66-67.
43. Бабичев Д.А., Тупик В.А. Влияние протяженности границы излучения фрактальной микрополосковой антенны на ее характеристики. Часть 1. // Известия СПбГЭТУ "ЛЭТИ".- 2010.- № 8, С. 7-11.
44. Бабичев Д.А., Тупик В.А. Влияние протяженности границы излучения фрактальной микрополосковой антенны на ее характеристики. Часть 2. // Известия СПбГЭТУ "ЛЭТИ".- 2010.- № 9, С. 18-21.