Сулима Михаил Валентинович Автоматические измерительные системы Левинзон Сулейман Владимирович Рейтинги и критерии сравнительной оценки объектов Соколов Леонид Владимирович Полупроводниковые МЭМС-КНИМТ сенсоры и датчики давления на основе авторской концепции «изолированная кремниевая 3D тензорамка на кремнии»