- Выполнено комплексное, систематическое исследование поглощения ВЧ мощности плазмой пространственно ограниченного индуктивного ВЧ разряда низкого давления без магнитного поля. Выполнены экспериментальные исследования и численное моделирование эффективности поглощения ВЧ мощности плазмой (эквивалентного сопротивления плазмы) при изменении плотности плазмы, давления и рода нейтрального газа, геометрических размеров источников плазмы. Показано, что эффективность поглощения ВЧ мощности (эквивалентное сопротивление плазмы) немонотонно зависит от концентрации электронов вследствие конкуренции двух факторов - роста количества участвующих в поглощении электронов за счет повышения их концентрации и уменьшения количества поглощающих электронов за счет уменьшения ширины скин-слоя. При давлении меньшем, чем 1мТор, механизм поглощения мощности носит черенковский характер, при давлениях более 100мТор - столкновительный. Росту эффективности поглощения ВЧ мощности способствует увеличение давления нейтрального газа, радиуса источника плазмы и выбор рабочей частоты в соответствии с требуемой плотностью плазмы.
- Выполнено комплексное, систематическое исследование эффективности и механизмов поглощения ВЧ мощности плазмой пространственно ограниченных индуктивных источников плазмы низкого давления при наличии внешнего магнитного поля. Показано, что в ограниченных источниках плазмы возможно возбуждение объемных, связанных друг с другом геликоноподобной и квазипродольной косой ленгмюровской волн. Область существования объемных волн сужается при уменьшении длины источника плазмы и с ростом давления рабочего газа. При условиях, соответствующих области возбуждения объемных волн, зависимость эффективности поглощения ВЧ мощности плазмой (эквивалентного сопротивления плазмы) от величины магнитного поля носит существенно немонотонный характер. Локальные максимумы эквивалентного сопротивления соответствуют областям резонансного возбуждения геликоноподобной и квазипродольной косой ленгмюровской волн. Поглощение ВЧ мощности плазмой при давлениях менее 10мТор определяется главным образом поглощением квазипродольной волны, доминирующим механизмом диссипации является бесстолкновительное черенковское поглощение. Рост давления выше 10мТор приводит понижению роли черенковского механизма поглощения, к сглаживанию зависимости эквивалентного сопротивления от величины магнитного поля и к понижению абсолютных значений эквивалентного сопротивления.
- Выполнены систематические экспериментальные исследования параметров плазмы индуктивного ВЧ разряда низкого давления. Параметры разряда сопоставлены с величиной мощности, поглощаемой плазмой, при этом выявлен самосогласованный характер режимов разряда, при которых существенны потери во внешней цепи. Показано, что самосогласованный характер разряда проявляется в немонотонном изменении плотности плазмы при изменении величины внешнего магнитного поля, срывах разряда, гистерезисе параметров плазмы при увеличении и уменьшении величин внешнего магнитного поля и мощности ВЧ генератора, насыщении плотности плазмы при увеличении мощности ВЧ генератора.
- Построена самосогласованная модель индуктивного ВЧ разряда низкого давления, учитывающая затраты ВЧ мощности на нагрев и поддержание плазмы, а также потери во внешней цепи. На основании модели объяснены наблюдавшиеся особенности разряда в источниках плазмы.
- Выполнено экспериментальное исследование влияния емкостной составляющей разряда на ввод ВЧ мощности через индуктивный канал и параметры плазмы. Показано, что наличие емкостной составляющей разряда приводит к изменению доли мощности, поступающей в разряд через индуктивный канал. Это приводит к уменьшению пороговой мощности, при которой происходит переход из моды разряда с низкой плотностью плазмы в моду с высокой плотностью, более плавному изменению параметров плазмы в области перехода и исчезновению гистерезиса.
- Построена самосогласованная модель индуктивного ВЧ разряда с независимым емкостным каналом ввода мощности. На основании модели объяснены наблюдавшиеся экспериментальные особенности поведения разряда. Показано, что наличие емкостного канала приводит к увеличению доли мощности, поступающей в плазму через индуктивный канал при условии, что плотность плазмы соответствует области возрастания эквивалентного сопротивления с увеличением концентрации электронов и уменьшению доли мощности, поступающей в плазму через индуктивный канал при условии, что плотность плазмы соответствует области убывания эквивалентного сопротивления.
- Сформулированы рекомендации по выбору оптимальной схемы рабочего процесса в источниках плазмы в зависимости от назначения и необходимых условий его работы.
- Разработаны перспективные модели источников ионов для космических и наземных технологий. квазистационарного приэлектродного скачка потенциала, геометрических размеров источника плазмы, давления и величины внешнего магнитного поля.
- Разработаны рекомендации, позволяющие оптимизировать работу индуктивных источников плазмы низкого давления. Показано, что при давлениях выше 10мТор наилучший способ организации разряда - это индуктивный разряд без магнитного поля, где превалирует столкновительный механизм поглощения ВЧ мощности. Понижение давления и роли столкновительных механизмов поглощения ВЧ мощности приводят к необходимости усиления бесстолкновительного поглощения ВЧ мощности, что в области низких концентраций электронов возможно при условии ЭЦР, а в области более высоких концентраций - при возбуждении объемных геликоноподобной и квазипродольной косой ленгмюровской волн. В области низких давлений ВЧ мощность лучше вкладывается в источники большого радиуса. Повысить эффективность ввода ВЧ мощности в источники малого радиуса возможно при увеличении длины источника или при увеличении рабочей частоты.
- Разработаны прототипы источников ионов для космических и наземных технологий.
2.Т.Б. Антонова, Г.Э. Бугров, Е.А. Кралькина, В.А. Обухов. Влияние быстрых электронов на свойства разряда в источниках ионов инертных газов низкого давления. Рук. деп. в ВИНИТИ N 7414-В88.
3.Л.А. Гончаров, Е.А. Кралькина, В.А. Обухов. Исследование параметров плазмы в ксеноновом разряде с расходящимся магнитным полем. В тр.1 Bс. н.-т.конф. "Методы диагностики двухфазных и peaгирующих потоков". Алушта, 1988, с. 191
4.Г.Э. Бугров, Л.А. Гончаров, Е.А. Кралькина, В.А. Обухов. Study of non-monotonous EEDF in Xe low pressure dischargе. Proc.of XIX ICPIG, Belgrade, 1989, Cont. Pap.,p1,P.212
5.Г.Э. Бугров, Е.А. Кралькина, В.А. Обухов, Е.С. Ситин. Экспериментальное исследование и численное моделирование процесссв в плазменном эмиттере ионов ксенона с периферийным магнитным полем. Радиотехника и электроника, XXXIV,9.1989, стр 1952.
6.T.B.Antonova, G.T.Bugrov, E.A. Kralkina, V.A.Obukhov, J.Krempel-Heesse, J.Krumeich. Experimental Study of FEDF in inductively conpled Xe RF-discharge. Proc.of XI ESCAMPIG St.-Peterburg 1992 Contrib. Paperes, p.113 - 114.
7.А.Ф.Александров, Н.Ф. Воробьев, Е.А. Кралькина, В.А.Обухов, А.А.Рухадзе. Теория квазистатических плазменных источников. ЖТФ, 64, N11, стр.53 - 58
8.А.Ф.Александров, Н.Ф. Воробьев, Е.А. Кралькина, Г.Э.Бугров, С.Г.Кондранин, В.А.Обухов, А.А.Рухадзе. Высокочастотные источники плазмы низкой мощности. Прикладная физика, 1995, No1, стр. 3 – 22.
9.А.Ф.Александров, Т.Б.Антонова, Г.Э.Бугров, Н.Ф. Воробьев, Е.А. Кралькина, А.В. Калинин, С.Г.Кондранин, В.А.Обухов, А.А.Рухадзе. Экспериментальное исследование свойств ВЧ разряда, помещенного в магнитное поле. ФНТП-95 Материалы конференции том.2, стр 224 – 225.
10.А.Ф.Александров, Т.Б.Антонова, Г.Э.Бугров, Н.Ф. Воробьев, Е.А. Кралькина, С.Г.Кондранин, В.А.Обухов, А.А.Рухадзе. The low power HF ion source. Procceed.of XXI ICPIG, 1995, Hoboken USA v.4.
11.А.Ф.Александров, Т.Б.Антонова, Г.Э.Бугров, Н.Ф. Воробьев, Е.А. Кралькина, С.Г.Кондранин, В.А.Обухов, А.А.Рухадзе. Study of the properties of low Pressure low power HF-discharge located in an external magnetic field. Procceed.of XXI ICPIG, 1995, Hoboken USA v.4.
12.A.F. Alexandrov, T.B. Antonova, G.E. Bugrov, N.Vorobliev, A.F. Kalinin, S.Kondranin, E.A. Kralkina, V.Obukhov, A.Rukhadze. The revealing of optimal regimes of HF low power input in limited magnetoactive plasma for development of HF ion thruster of the new type. 24-th International electric propulsion conference. Moscow, Russia, 1995.
13.A.F. Alexandrov, T.B. Antonova, G.E. Bugrov, N.Vorobliev, G.Noci, N.Kutufa, S.Kondranin, E.A. Kralkina, V.Obukhov, A. Rukhadze. The low power HF ion thruster. 24-th International electric propulsion conference. Moscow, Russia,1995, p. 1 - 15.
14.А.Ф.Александров, Т.Б.Антонова, Н.Ф.Воробьев, Г.Э.Бугров, С.Г.Кондранин, Е.А.Кралькина, В.А.Обухов, Г.А.Попов, А.А.Рухадзе. Способ получения ионов и источник ионов для его осуществления. Патент РФ 2095877.
15.E.A. Kralkina, S.G. Kondranin, S.K Koh, H.G. Jang, W.K. Choi, H.-J. Jung, T.B. Antonova, G.E. Bougrov, V.B. Pavlov, A.A. Rukhadze, A.F. Alexandrov. Characteristics of Low Power HF 10-cm Technological Ion Source. Proceedings of XXIII Internation Conference on Phenomena in Ionized Gases, 17-22 July 1997, Toulouse – France, pp III-88.
16.K.P. Shamrai, A.F. Alexandrov, G.E. Bougrov, V.F. Virko, V.P. Katiukha, S.K Koh, G.S. Kirichenko, E.A. Kralkina, A.A. Rukhadze. Quasistatic Plasma Sources: Physical Principles, Modelling Experiments, Application Aspects. Proceedings of XXIII Internation Conference on Phenomena in Ionized Gases, 17-22 July 1997, Toulouse – France.
17.S.K . Koh, H.G. Jang, W.K. Choi, H.-J.Jung, .G. Kondranine, E.A. Kralkina. Design and test of the new partially ionized beam source. Review of Scientific Instruments. Vol. 67, No. 12, December 1996, pp 4114-4116.
18.T. Antonova, G. Bougrov, А. Bougrova, Won-Kook Choi, L. Goncharov, Hyung Jin Jung, Seoh-Keun Koh, S. Kondranin, E.A. Kralkina, E. Sitin, V. Obukhov. Study of Electron Energy Distribution Functions (EEDFs) in Three DC Low-Pressure Plasma Sourse. Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 37 (1998) pp 6906 – 6915.
19.Won-Kook Choi, Hyung Jin Jung, Seoh-Keun Koh, S. Kondranin, E.A. Kralkina, L.M.Volkova, A.M.Devyatov, T.B.Antonova, G.E.Bougrov, N.F.Vorobjev. Determination of the neutral particles spatial distribution from intensity of plasma radiation. J. of Korean Physical Society v.32, N2, 1998, pp.280-285.
20.Won-Kook Choi, Hyung Jin Jung, Seoh-Keun Koh, S. Kondranin, E.A. Kralkina, T.B.Antonova, G.E.Bougrov, N.F.Vorobjev. The мathematical simulation of excitation processes in xenon low-pressure plasmas J. of Korean Physical Society v.32, N2, 1998, pp.195-199
21.Г.Э.Бугров, К.В. Вавилин, С.Г.Кондранин, Е.А. Кралькина, В.Б.Павлов. Экспериментальное исследование параметров плазмы в источнике ионов с холодным катодом. Х Конференция по физике газового разряда. Рязань, 2000 стр. 121.
22.Г.Э.Бугров, К.В. Вавилин, Е.А. Кралькина. Разработка плазменного реактора малой мощности. Х Конференция по физике газового разряда. Рязань, 2000 стр. 123
23.А.Ф.Александров, Г.Э.Бугров, К.В. Вавилин, Е.А. Кралькина, В.Ю. Сергиенко, И.Б. Тимофеев, Б.И. Тимофеев. Исследование возможности модификации поверхности полимеров при их обработке в разряде при атмосферном давлении. Х Конференция по физике газового разряда. Рязань, 2000. стр. 193.
24.G.E. Bugrov, S.K. Kondranin, E.A. Kralkina, V.B . Pavlov, K.V. Vavilin. Study of plasma parameters in the “cold cathode” ion source. Proc.of XI ESCAMPIG, August 2000 Hungary.
25.A.F.Alexandrov, G.E.Bougrov, E.A.Kralkina, A.A.Rukhadze, K.V.Vavilin. Development of RF low power plasma reactor prototypes. Proc.of XV ESCAMPIG, August 2000 Hungary.
26.A.F. Alexandrov, G.E. Bougrov, S.K. Kondranin, E.A. Kralkina, V.B. Pavlov, A.A. Rukhadze, K.V. Vavilin. Development of Low Power 13.56MHz Ion Source Family. Proceedings of XXV International Conference on Phenomena in Ionized Gases, 17-22 July 2001 Nagoya, Japan vol. 1 pp.33-34.
27.А.Ф.Александров, Т.Б.Антонова, Г.Э.Бугров, С.Г.Кондранин, Е.А.Кралькина, А.А.Рухадзе. Газоразрядное устройство. Патент РФ 2121729.
28.A.F. Alexandrov, G.E. Bougrov, S.K. Kondranin, E.A. Kralkina, V.B. Pavlov, A.A. Rukhadze, V.Yu. Sergeenko, I.B. Timofeev, K.V. Vavilin. 13.56MHz discharge at atmospheric pressure & its possibilities for material surface modification. Proceedings of XXV International Conference on Phenomena in Ionized Gases, 17-22 July 2001 Nagoya, Japan vol. 1 pp.35-36.
29.G.E.Bugrov, S.K.Kondranin, E.A.Kralkina, V.B.Pavlov, and K.V.Vavilin. Development of “cold cathode” ion source family. Proceedings of XXV International Conference on Phenomena in Ionized Gases, 17-22 July 2001 Nagoya, Japan vol. 4, pp.97-98.
30.G.E.Bugrov, S.K.Kondranin, E.A.Kralkina, V.B.Pavlov, K.V.Vavilin, Heon-Ju Lee. Development and test of ion source with small orifice cold cathode. J. of Korean Vacuum Science & Technolojy, 5, pp.19-24 (2001).
31.A.F.Alexandrov, G.E.Bougrov ,I.K. Kerimova, S.K. Kondranin, E.A.Kralkina, V.B. Pavlov, V.J. Plaksin, A.A. Rukhadze, K.V. Vavilin. The Inductive Discharge Plasma Parameters Calculation in Conditions of External Magnetic Field. Proceedings of the 30-th International (Zvenigorod) Conference of Plasma Physics and Controlled Fusion. Zvenigorod, Russia, February 24-28, 2003. Contributed papers, T3.
32.A.F.Alexandrov, G.E.Bougrov ,I.K. Kerimova, S.K. Kondranin, E.A.Kralkina, V.B. Pavlov, V.J. Plaksin, A.A. Rukhadze, K.V. Vavilin. An Absorption of RF Power by Inductive Discharge Plasma Placed in External Magnetic Field Experimental Study. Proceedings of the 30-th International (Zvenigorod)Conference of Plasma Physics and Controlled Fusion. Zvenigorod, Russia, February 24-28, 2003. Contributed papers, T4.
33.A.F.Alexandrov, G.E.Bougrov ,I.K. Kerimova, S.K. Kondranin, E.A.Kralkina, V.B. Pavlov, V.J. Plaksin, A.A. Rukhadze, K.V. Vavilin. Self-consistent model of RF inductive plasma source located in the external magnetic field. Lomonosov Readings, MSU, Physical Faculty, April 18–25, 2003, Annotation, pp. 90–92.
34.A.F.Alexandrov, G.E.Bougrov ,I.K. Kerimova, S.K. Kondranin, E.A.Kralkina, V.B. Pavlov, V.J. Plaksin, A.A. Rukhadze, K.V. Vavilin. RF discharge at medium and high pressure and its possibilities for material surface modification. III International Symposium Thermo Chemical Processes in Plasma Aerodynamics. St. Petersburg, Russia, July 2003.
35.A.F.Alexandrov, V.B. Pavlov, E.A.Kralkina, V.P. Savinov, V.Yu. Sergeenko, I.B. Timofeev, G.E. Bugrov, K.V. Vavilin, V.Yu. Plaksin, Yong Son Mok Heon-Ju Lee. RF Discharge at Atmospheric Pressure and the Effects on Material Surface Property. The 5-th International Symposium on pulsed Power and Plasma Applications (ISPP-2004). October, 18-20, 2004. KERI, Chang-Won, Korea.
36.А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин И.К. Керимова, С.Г. Кондранин, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе. The Self-Consistent Model of “Helicon” Plasma Source. IV International Conference Plasma Physics and Plasma Technology. Minsk, Belarus, September 15-19, 2003. Contributed papers 1.33.
37.А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин И.К. Керимова, С.Г. Кондранин, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе. Comparative Analysis of Different Surface Modifications Methods. IV International Conference Plasma Physics and Plasma Technology Minsk, Belarus, September 15-19, 2003. Contributed papers 4.24.
38.А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин И.К. Керимова, С.Г. Кондранин, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе. The efficiency of RF power lead in low pressure discharge. Russian conference of Physical Electronics Mahachkala, Russia, September 23-26, 2003. Contributed papers, 95-98.
39.G.E. Bugrov, S.G. Kondranin, E.A.Kralkina, V.B. Pavlov, D.V. Savinov, K.V.Vavilin, Heon-Ju Lee. Optimisation of cold cathode ion source model. Current Applied Physics, 3(2003), 485-489.
40.A.F. Aleksandrov, G.E. Bugrov, I.F. Kerimova, S.G. Kondranin, V.B. Pavlov, V.Yu. Plaksin, A.A.Rukhadze, K.V.Vavilin. Self-consistent model of RF inductive plasma/ion source located in the external magnetic field. Journal of Russian Laser Research, 2003, v.24, No 4, pp. 301-321.
41.А.Ф.Александров, Г.Э.Бугров, К.В.Вавилин И.К.Керимова, С.Г.Кондранин, Е.А. Кралькина, В.Б.Павлов, В.Ю.Плаксин, А.А.Рухадзе. Самосогласованная модель ВЧ индуктивного источника плазмы, помещенного во внешнее магнитное поле. Физика плазмы, 2004, том 30, №5, стр 434-449.
42.Г.Э. Бугров, С.Г. Кондранин,Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов. Плазменный источник ионов с ленточным пучком (варианты). Патент РФ 2151438.
43.А.Ф.Александров, Г.Э.Бугров, К.В. Вавилин, С.Г. Кондранин, Е.А. Кралькина,В.Ю. Плаксин, В.Ю. Сергиенко, И.Б. Тимофеев, Б.И. Тимофеев. Способ плазменной обработки материалов, способ генерации плазмы и устройство для плазменной обработки материалов. Патент РФ 2196394.
44.К.В.Ваваилин, Е.А.Кралькина, А.А.Рухадзе. К обоснованию несамосогласованной теории радиочастотного источника плазмы. Краткие сообщения по физике, N8, с. 44, (2004).
45.Александров А.Ф., Бугров Г.Э., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Павлов В.Б., Плаксин В.Ю., Рухадзе А.А. Физические принципы разработки ВЧ-индуктивных источников плазмы низкого давления. Наукоемкие технологии, No 1, 2005, т.6, стр. 5.
46.А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин, И.Ф. Керимова, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе. Исследование индуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы. I. Особенности, наблюдавшиеся при экспериментальном исследовании индуктивного ВЧ разряда, помещенного во внешнее магнитное поле. Прикладная физика, 2005, №4, стр. 70 – 74.
47.А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин, И.Ф. Керимова, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе. Исследование индуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы. II. Исследование параметров плазмы и эффективности поглощения ВЧ мощности плазмой индуктивного ВЧ разряда низкого давления. Прикладная физика, 2005, № 5, стр. 72 – 78.
48.A.F.Alexandrov, E.A.Kralkina, V.B.Pavlov, A.A.Rukhadze, A.I.Bugrova, G.E.Bugrov, K.V.Vavilin. On the possibilities of RF ion thrusters optimization. Proceedings of XXIX IEPC, Princeton 2005, p.1-17.
49.А.Ф.Александров, Г.Э.Бугров, К.В.Вавилин, И.Ф.Керимова, Е.А. Кралькина, В.Б.Павлов, В.Ю.Плаксин, А.А.Рухадзе, В.П.Савинов. Исследование индуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы. III. Исследование влияния емкостной составляющей на параметры плазмы индуктивного ВЧ разряда низкого давления. Прикладная физика, 2006, № 1 стр. 36 – 42.
50.А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин, И.Ф. Керимова, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе. Исследование индуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы. IV. Результаты исследования эквивалентного сопротивления индуктивного ВЧ разряда низкого давления без магнитного поля. Прикладная физика, 2006, № 2 стр. 41 – 46.
51.А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин, И.Ф. Керимова, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе. Исследование индуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы. V. Результаты исследования эквивалентного сопротивления индуктивного ВЧ разряда низкого давления при наличии внешнего магнитного поля. Прикладная физика, 2006, № 4 стр. 54 – 59.
52.А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин, И.Ф. Керимова, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе. Исследование индуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы. VI. Математическое моделирование индуктивного ВЧ разряда (самосгласованная модель). Прикладная физика, 2006, № 5 стр. 33 – 38.
53.А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин, И.Ф. Керимова, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе, В.П. Савинов. Исследование индуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы. VII. Математическое моделирование индуктивного ВЧ разряда с емкостной компонентой (самосогласованная модель). Прикладная физика, 2006, № 5 стр. 39 – 46.
54.A.F. Aleksandrov, I.F. Kerimova, E.A. Kralkina, V.B. Pavlov, A.A. Rukhadze, and V.P. Savinov. Influence of the capacitive component on the parameters of the low pressure RF inductive discarge. V International Conference Plasma Physics and Plasma Technology. Minsk, Belarus, September 18-22, 2006. Contributed papers v.1 pp.7 – 10
55.A.F. Aleksandrov, I.F. Kerimova, E.A. Kralkina, V.B. Pavlov, A.A. Rukhadze, and V.P. Savinov. Study of the histeresis of the RF inductive discharge plasma density dependence on the RF generator power. V International Conference Plasma Physics and Plasma Technology. Minsk, Belarus, September 18-22, 2006. Contributed papers v.1 pp.70 – 73.
56.A.F. Alexandrov, E.A. Kralkina, V.B. Pavlov, V.P. Savinov, V.Yu. Sergeenko, I.B. Timofeev, G.E. Bugrov, K.V. Vavilin, V.Yu. Plaksin, Young Son Mok and Heon-Ju Lee. The frequency effect on atmospheric pressure RF discharge surface modification. Journal of Ceramic Processing Research. Vol. 8, No. 1, pp. 64~69 (2007).
57.А.Ф. Александров, К.В. Вавилин, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, А.А. Рухадзе. Особенности индуктивного ВЧ разряда низкого давления. I (эксперимент). Физика плазмы, 2007, том 33, №9, стр 802–815.
58.А.Ф. Александров, К.В. Вавилин, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, А.А. Рухадзе. Особенности индуктивного ВЧ разряда низкого давления. II (математическое моделирование). Физика плазмы, 2007, том 37, №9, стр 816 – 827.
59.A.F. Alexandrov, K.V. Vavilin, I.F. Kerimova, E.A. Kralkina, V.B. Pavlov, A.A. Rukhadze, V.P. Savinov. The role of the capacitive component in the low pressure RF inductive discharge. XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases July 15 -20 2007, Prague, Czech Republic, 5P09-10.
60.A.F. Alexandrov, K.V. Vavilin, I.F. Kerimova, E.A. Kralkina, V.B. Pavlov, A.A. Rukhadze, V.P. Savinov. One more mechanism leading to the hysteresis of the RF inductive discharge transition from low to high density mode. XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases July 15 - 20 2007, Prague, Czech Republic, 5P09-11.
61.А.Ф.Александров, К.В.Вавилин, И.Ф.Керимова, Е.А.Кралькина, В.Б.Павлов, Н.Н.Плахотный, А.А.Рухадзе, В.П.Савинов. Влияние сопротивления антенны на переход индуктивного ВЧ разряда из моды с низкой концентрацией электронов в моду с высокой концентрацией. Тезисы докладов ХХХY Международной (Звенигородской) конференции по физике плазмы и УТС, с.331, 2008.
62.А.Ф.Александров, К.В.Вавилин, ,Е.А.Кралькина, И.С.Максимов, В.Б.Павлов, А.А.Рухадзе, В.П.Савинов. Изучение гибридного ВЧ разряда. Тезисы докладов ХХХY Международной (Звенигородской) конференции по физике плазмы и УТС, с.333, 2008.
62. А.Ф.Александров, К.В.Вавилин, Е.А.Кралькина, В.Б.Павлов, В.П.Савинов П.А.Юрьев. Изучение параметров «полого катода», работающего на высокочастотном газовом разряде. Тезисы докладов ХХХY Международной (Звенигородской) конференции по физике плазмы и УТС, с.332, 2008.