
Ученое звание: академик ран
Научное направление: Физико-математические науки
Регион: Московская область
Рейтинг: 20 (по количеству просмотров анкеты за последний месяц)
СЕРТИФИКАТ участника энциклопедии "Известные Ученые"
Руководит фундаментальными исследованиями в области технологии микро- и наноэлектроники на основе электронно-лучевой, лазерной, рентгеновской литографии, ионно-плазменного микроструктурирования кристаллов и других перспективных процессов. В последние годы выполнил цикл работ в области элементной базы и принципов построения квантовых компьютеров.