- Строгий интегральный метод и компьютерные алгоритмы, позволяющие получать точные значения ДЭ сплошных решеток в рентгеновском диапазоне при λ / d до 10-7 с точностью не хуже 0.1% на обычном ПК и за короткое время.
- Строгий и приближенный, не зависящий от угла падения и числа границ, интегральные методы и алгоритмы расчета интенсивности рентгеновского рассеяния на многослойных дифракционных элементах с сотнями границ произвольного профиля, в т.ч. измеренных каким-либо способом, при небольших затратах ресурсов ПК.
- Строгий интегральный метод и алгоритмы расчета ДЭ сплошных и многослойных рентгеновских решетках с произвольным профилем штрихов, работающих в конической дифракции при любой поляризацией падающего излучения.
- Обобщение разработанных строгого интегрального метода и алгоритмов для рентгеновского анализа непериодических и недетерминистических поверхностей, например, случайно-шероховатых зеркал и ансамблей квазипериодических КТ.
- Новые дифракционные свойства, присущие высокочастотным рентгеновским решеткам и шероховатым зеркалам.
- Рентгеновские исследования ДЭ изготовленных элементов (решеток, зонных пластинок), выполненные с учетом реальных форм границ и методика определения структуры МАКТ с помощью ВСРР.
[А2] Горай Л.И. Аберрации вогнутых деформированных дифракционных решеток с первоначально криволинейными неэквидистантными штрихами // Опт. и спектр. Т. 65, вып. 1. 1988. С. 184–187.
[А3] Горай Л.И. Способ изготовления вогнутой сферической поверхности // АС СССР № 1453251, 15.09.88. МКИ4 G 02 B 5/18.
[А4] Горай Л.И. Способ изготовления вогнутой дифракционной решетки // АС СССР № 1510562, 22.05.89. МКИ4 G 02 B 5/18.
[А5] Способ изготовления вогнутой дифракционной решетки / Л.И. Горай, Б.А. Матвеев, Н.М. Стусь [и др.] // АС СССР № 1514120, 08.06.89. МКИ4 G 02 B 5/18.
[А6] Investigation of the arsenic sulphide films for relief-phase holograms / I.Y. Yusupov, M.D. Mikhailov, R.R. Herke [et al.] // Proc. SPIE. Vol. 1238. 1989. P. 240–247.
[А7] Горай Л.И., Матвеев Б.А., Ястребов С.Г. Способ изготовления вогнутой дифракционной решетки // АС СССР № 1568774, 01.02.90. МКИ4 G 02 B 5/18.
[А8] Goray L.I. Numerical analysis for relief gratings working in the soft X-ray and XUV region by the integral equation method // Proc. SPIE. Vol. 2278. 1994. P. 168–172.
[А9] Goray L.I. Non-scalar properties of high groove frequency gratings for soft X-ray and XUV regions: the integral equation method // Proc. SPIE. Vol. 2278. 1994. P. 173–177.
[А10] Goray L.I., Chernov B.C. Comparison of rigorous methods for X-ray and XUV grating diffraction analysis // Proc. SPIE. Vol. 2515. 1995. P. 240–245.
[А11] Goray L.I. Rigorous integral method in application to computing diffraction on relief gratings working in wavelength range from microwaves to X-ray // Proc. SPIE Vol. 2532. 1995. P. 427–433.
[А12] Comparison of the calculated and the measured efficiencies of a normal-incidence grating in the 125–225-Е wavelength range / M.P. Kowalski, J.F. Seely, L.I. Goray [et al.] // Appl. Opt. Vol. 36. 1997. P. 8939–8943.
[А13] Thin-film interference effects of a normal-incidence grating in the 100–350-Е wavelength region / J.F. Seely, L.I. Goray, W.R. Hunter [et al.] // Appl. Opt. Vol. 38. 1999. P. 1251–1258.
[А14] Seely J.F., Goray L.I. Normal incidence multilayer gratings for the extreme ultraviolet region: experimental measurements and computational modeling // Proc.SPIE Vol. 3766. 1999. P. 364–370.
[А15] Goray L.I. Modified integral method for weak convergence problems of light scattering on relief grating // Proc. SPIE. Vol. 4291. 2001. P. 1–12.
[А16] Goray L.I. The modified integral method and real electromagnetic properties of echelles // Proc. SPIE. Vol. 4291. 2001. P. 13–24.
[А17] Goray L.I., Seely J.F. Efficiencies of master, replica, and multilayer gratings for the soft x-ray–EUV range: modeling based on the modified integral method and comparisons to measurements // Appl. Opt. Vol. 41. 2002. P. 1434–1445.
[А18] Goray L.I., Sadov S.Yu. Numerical modelling of coated gratings in sensitive cases // OSA Trends in Optics and Photonic Series. Vol. 75. 2002. P. 365–379.
[А19] Goray L.I. Rigorous efficiency calculations for blazed gratings working in in- and off-plane mountings in the 5–50-Е wavelengths range // Proc. SPIE. Vol. 5168. 2003. P. 260–270.
[А20] Горай Л.И. Численный анализ свойств отражательных дифракционных решеток для рентгеновского излучения: автореф. дис. канд. физ.-мат. наук. СПб.: Институт аналитического приборостроения РАН, 2004. 16 с.
[А21] Extreme ultraviolet optical constants for the design and fabrication of multilayer gratings / J.F. Seely, L.I. Goray, D.L. Windt [et al.] // Proc. SPIE. Vol. 5538. 2004. P. 43–53.
[А22] High fidelity grating replication using nanoimprint litography / C.-H. Chang, J.C. Montoya, M. Akilian [et al.] // J. Vac. Sci. Technol. B. Vol. 22. 2004. P. 3260–3264.
[А23] Goray L.I. Numerical analysis of the efficiency of multilayer-coated gratings using integral method // Nucl. Instrum. Meth. A, Vol. 536. 2005. P. 211–221.
[А24] Горай Л.И. Скалярные и электромагнитные свойства дифракционных решеток для рентгеновского излучения // Известия РАН. Серия физическая. Т. 69, № 2. 2005. С. 211-215.
[А25] Off-plane grazing-incidence Constellation-X grating calibrations using polarized synchrotron radiation and PCGRATE code calculations // J.F. Seely, L.I. Goray, M. Laming [et al.] // Proc. SPIE. Vol. 5900. 2005. P. 59000B-1–8.
[А26] Goray L.I., Seely J.F. Wavelength separation of plus and minus orders of soft-x-ray– EUV multilayer-coated gratings at near-normal incidence // Proc. SPIE. Vol. 5900. 2005. P. 59000C-1–11.
[А27] Multilayer resonant subwavelength gratings: effects of waveguide modes and real groove profiles / L.I. Goray, I.G. Kuznetsov, S.Yu. Sadov [et al.] // J. Opt. Soc. Am. A. Vol. 23. 2006. P. 155–165.
[А28] Efficiency of a grazing incidence off-plane grating in the soft x-ray region / J.F. Seely, L.I. Goray, B. Kjornrattanawanich [et al.] // Appl. Opt. Vol. 45. 2006. P. 1680–1687.
[А29] Goray L.I., Seely J.F., Sadov S.Yu. Spectral separation of the efficiencies of the inside and outside orders of soft-x-ray-extreme-ultraviolet gratings at near normal incidence // J. Appl. Phys. Vol. 100. 2006. P. 094901-1–13.
[А30] Goray L.I. Off-plane grazing-incidence fan-groove blazed grating to serve as a high-efficiency spectral purity filter for EUV lithography // SPIE Proc. Vol. 6317. 2006. P. 63170O-1–9.
[А31] Measurement of zone plate efficiencies in the extreme ultraviolet and applications to radiation monitors for absolute spectral emission / J.F. Seely, G.E. Holland, J.C. Bremer [et al.] // SPIE Proc. Vol. 6317. 2006. P. 63170N-1–9.
[А32] Горай Л.И. Внеплоскостная скользящего падения решетка с блеском и радиальными штрихами как эффективный спектральный фильтр для КУФ литографии // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтр. исслед. № 6. 2007. С. 73–78.
[А33] Goray L.I. A rigorous solution for electromagnetic scattering from multilayer structures having asperities of any kind in X-ray–EUV ranges // Proc. SPIE. Vol. 6617. 2007. P. 661719-1–12.
[А34] Горай Л.И. Внеплоскостная скользящего падения ламельная решетка в качестве делителя пучка 1-Е лазера на свободных электронах. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтр. исслед. № 10. 2008. С. 38–42.
[А35] Goray L.I. A boundary integral equation method in short-wavelength-to-period diffraction on multilayer 1D gratings and rough mirrors // Days on Diffraction: Proc. of the 40¬th Inter. Conf. (St. Petersburg, 2008). P. 60–65.
[А36] Горай Л.И., Чхало Н.И., Цырлин Г.Э. Определение углов наклона и высот граней квантовых точек из анализа диффузного и зеркального рентгеновского рассеяния // ЖТФ. Т. 79, вып. 4. 2009. С. 117–124.
[А37] Goray L.I. Specular and diffuse scattering from random asperities of any profile using the rigorous method for x-rays and neutrons // Proc. SPIE. Vol. 7390. 2009. P. 73900V-1–11.
[А38] Goray L.I., Schmidt G. Solving conical diffraction with integral equations // WIAS preprints (Berlin, Germany, 2009). No. 1469. P. 1–20.
[А39] Goray L.I., Schmidt G. An integral equation conical solver: some formulas and numerical experiments // Days on Diffraction: Proc. of the 41th Internat. Conf. (St. Petersburg, 2009). P. 92–97.
[А40] Goray L.I., Schmidt G. Solving conical diffraction grating problems with integral equations // J. Opt. Soc. Am. A. Vol. 27. 2010. P. 585–597.
[А41] Горай Л.И., Чхало Н.И., Вайнер Ю.А. Обнаружение квазипериодических граней {11n}, n = 7...11 в образцах с Ge/Si квантовыми точками с помощью рентгеновской рефлектометрии скользящего падения // Письма в ЖТФ. Т. 36, вып. 3. 2010. С. 31–38.
[А42] Goray L.I. Application of the rigorous method to x-ray and neutron beam scattering on
rough surfaces // J. Appl. Phys. Vol. 108. 2010. P. 033516-1–10.
[А43] High efficiency multilayer blazed gratings for EUV and soft X-rays: Recent developments / D.L. Voronov, M. Ahn, E.H. Anderson [et al.] // Proc. SPIE. Vol. 7802. 2010. P. 7
[А44] Goray L.I. Application of the boundary integral equation method to very small wavelength-to-period diffraction problems // Waves Random Media. Vol. 20. 2010. P. 569– 586.