Научная тема: «ПРОГРАММНО-АППАРАТНЫЕ СРЕДСТВА И АЛГОРИТМИЧЕСКАЯ КОРРЕКЦИЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ ИЗМЕРЕНИЙ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ НАНОЧАСТИЦ СКАНИРУЮЩИМ ТУННЕЛЬНЫМ МИКРОСКОПОМ»
Специальность: 05.11.16
Год: 2008
Отрасль науки: Технические науки
Основные научные положения, сформулированные автором на основании проведенных исследований:
  1. методы повышения информативности и достоверности СТМ-изображений, основанные на исследовании влияния различных конструктивных параметров СТМ и зондирующего острия на величину туннельного тока и пространственное разре­шение СТМ;
  2. технология изготовления высокожестких атомарно острых зондирующих игл; технология подразумевает сочетание электрохимического и химического пере-травливания заготовок игл в специально созданном химическом растворе;
  3. метод исследования непроводящих и проводящих образцов туннельным микроскопом, основанный на использовании реплики поверхности с последующим восстановлением реконструкцией реального микрорельефа поверхности на основе совмещения прямого и инвертированного СТМ-изображений;
  4. принципы построения интеллектуального цифрового СТМ, предназначен­ного для исследования и контроля параметров УДЧ;
  5. методы и алгоритмы исследования УДЧ, включающие построение теоре­тических изображений различных нанообъектов, методы адаптивного сканирования, фильтрации и обработки СТМ-изображений.
Список опубликованных работ
I. Монографии

1.Шелковников Е.Ю. Теория и практика измерений геометрических парамет¬

ров ультрадисперсных частиц кластерных материалов сканирующим туннельным

микроскопом. Ижевск: ИПМ УрО РАН, 2008.– 250с.

II. Научные статьи в центральных изданиях, рекомендованных ВАК РФ

2.Патент № 2205474, РФ, 7 Н01L41/09. Устройство для микроперемещений объекта/ А.М. Липанов, П.В. Гуляев, Е.Ю. Шелковников и др. (RU).– №2001133190, Заявл. 06.12.2001; Опуб.– Бюл. 27.05.2003, №15.

3.Патент №2218629, РФ, Н01J37/285. Сканирующий туннельный микроскоп / А.М. Липанов, С.Р. Кизнерцев, А.В. Тюриков и др. (RU).– №2002102571, Заявл. 28.01.2002; Опуб.– Бюл. 10.12.2003, №34.

4.Патент на полезную модель № 35489, РФ, 7 Н02N2/00, Н01L41/09. Пьезо-манипулятор / П.В. Гуляев, Е.Ю. Шелковников, С.Р. Кизнерцев (RU).– №2003116732, Заявл. 05.06.2003; Опуб.– Бюл. 10.01.2004, №1.

5.Патент на полезную модель №42695, РФ, H 01 J 1/30, H 01 J 35/06. Устрой¬ство для изготовления зондирующих эмиттеров сканирующего туннельного микро¬скопа / А.М. Липанов, С.Р. Кизнерцев, А.В. Тюриков и др. (RU).– №2004123439, За-явл. 02.08.2004; Опуб.– Бюл. 10.12.2004, №34.

6.Патент №2269803, РФ, G02B 21/20, G01N 13/10, H01J 37/26. Устройство управления скоростью сканирования туннельного микроскопа / П.В. Гуляев, Е.Ю. Шелковников, А.Е. Панич (RU).– №2004123740, Заявл. 02.08.2004; Опуб.– Бюл. 10.02.2006, №4.

7.Патент №2284642, РФ, H02N 2/02, G12B 21/20. Устройство для микропере¬мещений объекта / А.М. Липанов, Е.Ю. Шелковников, А.Е. Панич (RU).– №2005114035, Заявл. 06.05.2005; Опуб.– Бюл. 27.09.2006, №27.

8.Патент №2272350, РФ, H02N 2/02, H01L 41/02. Устройство микропереме¬щений / Е.Ю. Шелковников, Д.В. Гудцов, А.Е. Панич (RU).– №2004123741, Заявл. 02.08.2004; Опуб.– Бюл. 20.03.2006, №8.

9.Патент №2296387, РФ, Н01J37/285. Сканирующий туннельный микроскоп / А.М. Липанов, Е.Ю. Шелковников, Д.В. Гудцов и др. (RU).– №2005134631, Заявл. 08.11.2005; Опуб.– Бюл. 27.03.2007, №9.

10.Свидетельство об официальной регистрации программы для ЭВМ №2007610678, РФ. Программа управления цифровым сканирующим туннельным микроскопом / А.М. Липанов, Д.В. Гудцов, Е.Ю. Шелковников и др. (RU).– №2006613686, Заявл. 31.10.2006; Зарег. в Реестре прогр. 13.02.2007.

11.Патент на полезную модель №70373, РФ, G01N 23/00, G01N 27/00. Устрой¬ство для исследования поверхности твердого тела туннельным микроскопом / Е.Ю. Шелковников (RU).– №2007137245, Заявл. 08.10.2007; Опуб.– Бюл. 20.01.2008, №2.

12.Липанов А.М., Гуляев П.В., Шелковников Е.Ю. Адаптивная система раз-вертки изображения и формирования измерительной информации в сканирующем туннельном микроскопе // Датчики и системы.– 2004.– №7.– С.14-17.

13.Липанов А.М., Гуляев П.В., Шелковников Е.Ю. Прецизионный пьезодвига-тель наноперемещений для сканирующего туннельного микроскопа // Датчики и системы.– 2004.– №9.– С.30-33.

14.Липанов А.М., Шелковников Е.Ю. Построение СТМ-изображения поверх¬ности графита с использованием метода линейных комбинаций атомных орбита-лей.// Химическая физика и мезоскопия.– 2002.– т.4.– №1, С. 5-13.

15.Шелковников Е.Ю., Тюриков А.В. Программный пакет SТМ-W туннельно¬го микроскопа для применения в исследованиях кластерных материалов // Химиче¬ская физика и мезоскопия.– 2002.– т.4.– №1.– С. 13-28.

16.Липанов А.М., Шелковников Е.Ю. Система активной виброзащиты скани¬рующего туннельного микроскопа // Химическая физика и мезоскопия.- 2003.-Т.5.-№2.- С.260-267.

17.Шелковников Е.Ю., Кизнерцев С.Р. Адаптивная дискретизация растровых изображений в туннельном микроскопе // Химическая физика и мезоскопия.- 2003.¬Т.5.-№2.- С.268-275.

18.Липанов А.М., Шелковников Е.Ю., Тюриков А.В. Исследование области разрыва «шейки» заготовки зондирующей иглы СТМ при ее изготовлении методом электрохимического травления // Химическая физика и мезоскопия. – 2005г.– т.7.– №2.– С.162-168.

19.Липанов А.М., Тюриков А.В., Шелковников Е.Ю. Метод исследования хи¬мического травления заготовок измерительных игл туннельного микроскопа // Хи¬мическая физика и мезоскопия. – 2007г.– т.9.– №2.– С.172-182.

20.Шелковников Е.Ю., Гудцов Д.В., Тюриков А.В. Подсистема получения из¬мерительной информации программного пакета «CTM-W5» // Химическая физика и мезоскопия. – 2007г.– т.9.– № 2.– С.183-194.

21.Шелковников Е.Ю. Компьютерное формирование изображений поверхно¬сти объектов в туннельном микроскопе // Химическая физика и мезоскопия. – 2007г.– Т.9.– №3.– С.297-309.

22.Шелковников Е.Ю. Восстановление СТМ-изображений структуры поверхности нанообъектов // Химическая физика и мезоскопия. – 2007г.– Т.9.– №4 – С.437-445.

23.Шелковников Е.Ю. Моделирование СТМ-изображений поверхности ульт¬радисперсных частиц кластерных материалов // Химическая физика и мезоскопия. – 2008г.– Т.10.– №1.– С.106-111.

24.Липанов А.М., Шелковников Е.Ю., Гудцов Д.В., Горохов М.М. Моделиро¬вание процесса химического травления зондирующих игл сканирующего туннель¬ного микроскопа // Вестник ИжГТУ.– 2006.– №2.– С.3-8.

III. Статьи в региональных журналах, сборниках научных трудов, а так¬же материалы конференций

25.Шелковников Е.Ю. Анализ пьезоэлектрических преобразователей туннель¬ного микроскопа // Датчики электрических и неэлектрических величин. - Барнаул, 1993. - Ч.1 - С.76-77.

26.Шелковников Е.Ю. Повышение точности отображения поверхности в ска¬нирующем туннельном микроскопе // Датчики электрических и неэлектрических ве¬личин. - Барнаул, 1995. - С.151.

27.Гуляев П.В., Шелковников Е.Ю. Исследование спектров туннельной про-водимости для полупроводниковых образцов сканирующим туннельным микроско¬пом // Датчики электрических и неэлектрических величин. - Барнаул, 1995. - С.152.

28.Липанов А.М., Шелковников Е.Ю. Программно-аппаратурное и технологи¬ческое обеспечение сканирующего туннельного микроскопа // Современные про¬блемы внутренней баллистики РДТТ (Сб. статей). - Ижевск, 1996. - Изд-во ИПМ УрО РАН. - С.276-285.

29.Шелковников Е.Ю. Визуализация измерительной информации в скани-рующем туннельном микроскопе // Информационно-измерительные системы на базе наукоёмких технологий. - Ижевск, - С.33-39.

30.Шелковников Е.Ю. Измерение параметров микрорельефа поверхности кла¬стерных материалов с помощью туннельного микроскопа // Информационно-измерительные системы на базе наукоёмких технологий. - Ижевск, - С.40-48.

31.Липанов А.М., Кизнерцев С.Р., Шелковников Е.Ю. Адаптивное сканирова¬ние образцов в методах сканирующей туннельной микроскопии // Сб. докл. Второй Международной конф. по внутрикамерным процессам и горению (ICOC-96). -Ижевск, 1997. - Изд-во ИПМ УрО РАН. - С.537-543.

32.Шелковников Е.Ю. Исследование параметров туннельного микроскопа с применением метода Монте-Карло // Информационно-измерительные системы на базе наукоёмких технологий. - Ижевск, 1998. - С.95-102.

33.Шелковников Е.Ю. Численные исследования параметров сканирующего туннельного микроскопа // Деп. в ВИНИТИ, №2092-В00.– 36с.

34.Шелковников Е.Ю. Анализ расчётных моделей для плотности тока тун-нельных переходов металл-изолятор-металл // Деп. в ВИНИТИ, №706-В00. – 51с.

35.Шелковников Е.Ю. Определение погрешностей измерений размеров микронеровностей поверхности туннельным микроскопом // Деп. в ВИНИТИ, №2091-В00.– 36с.

36.Шелковников Е.Ю., Тюриков А.В. Структура и возможности программного пакета STM-W2 сканирующего туннельного микроскопа // Моделирование техниче¬ских систем. Инновационные технологии в машиностроении и приборостроении. Материалы международной научно-технической конференции посвященной 50-летию ИжГТУ: Ижевск: изд-во ИжГТУ.- 2002.– С. 153-161.

37.Липанов А.М., Шелковников Е.Ю. Модельный расчёт электронной плотно¬сти графитовой подложки с кластером железа // Моделирование процессов в синер-гетических системах: сб. статей. – Улан-Удэ – Томск: изд-во ТГУ, 2002.– С. 225-228.

38.Tyurikov A.V., Shelkovnikov E.Yu. Application of ab initio calculations for modeling STM images // Scanning Probe Microscopy – 2003, International Workshop, Nizhny Novgorod, IPM RAS, p.243-245.

39.Lipanov A.M., Shelkovnikov E.Yu. The specialized piezoelectric micromanipu-lators in STM for studing nonosize objects in cluster materials // Scanning Probe Micros¬copy – 2003.- International Workshop: Nizhny Novgorod, IPM RAS.- p.246-248.

40.Tyurikov A.V., Shelkovnikov E.Yu., Gulyaev P.V. Method of obtaining the throretical STM-spectra of ultradispersed particles // Scanning Probe Microscopy – 2004.-International Workshop: Nizhny Novgorod, IPM RAS.-p.168-170.

41.Lipanov A.M., Gulyaev P.V., Shelkovnikov E.Yu. The software, hardware and trechnology peculiarities of STM for the nonosize particles dispersity control // Scanning Probe Microscopy – 2004.- International Workshop: Nizhny Novgorod, IPM RAS.- p.165-167.

42.Тюриков А.В., Шелковников Е.Ю. Построение СТМ изображений атомов переходных металлов // Материалы докладов научно-технической конференции «Приборостроение в XXI веке. Интеграция науки, образование и производства»: Ижевск, 2004.– С.151-156.

43.Шелковников Е.Ю., Кизнерцев С.Р. Аппаратурные и конструктивно-технологические особенности многоцелевого СТМ на основе сигнального процессо¬ра // Материалы НТК «Приборостроение в XXI веке. Интеграция науки, образования и производства».– Ижевск: Изд-во ИжГТУ, 2004г.– С.161-164.

44.Шелковников Е.Ю. Методика моделирования профилограмм сканирующе¬го туннельного микроскопа // Сб. тр. науч.-техн. форума с междунар. участием: В 4 ч.– Ч. 2.– Ижевск: Изд-во ИжГТУ, 2004.– С. 81-85.

45.Шелковников Е.Ю., Гудцов Д.В. Специализированный сканирующий тун¬нельный микроскоп для изучения кластерных материалов на базе сигнального про¬цессора // Проблемы термогазодинамики и прочности механических систем. – Ижевск: Изд-во ИМП УрО РАН, 2005.– С.187-199.

46.Гудцов Д.В., Шелковников Е.Ю. Программное обеспечение цифрового СТМ // Материалы докладов НТК «Приборостроение в XXI веке. Интеграция науки, образование и производства»: Ижевск, 2006.– С.145-149.

47.Шелковников Е.Ю., Кизнерцев С.Р. Цифровой многоцелевой сканирующий туннельный микроскоп // Материалы докладов НТК «Приборостроение в XXI веке. Интеграция науки, образование и производства»: Ижевск, 2006.– С.140-144.

48.Гуляев П.В., Шелковников Е.Ю. Контрольно-испытательный стенд для по¬верки и аттестации СТМ // Материалы шестой международной НТК «Измерения, контроль, информатизация».– Барнаул: АлтГТУ, 2006.– С.80-83.

49.Шелковников Е.Ю. Улучшение качества СТМ-изображений исследуемой поверхности // Материалы международной НТК «Измерения, контроль, информати¬зация».– Барнаул: АлтГТУ, 2007.– С. 212-215.

50.Шелковников Е.Ю. Модель поверхности острия игл СТМ при их изготов¬лении электрохимическим методом // Материалы докладов НТК «Приборострое¬ние в XXI веке. Интеграция науки, образование и производства»: Ижевск, 2007.– С. 106-111.

51.Шелковников Е.Ю., Гуляев П.В. Программный комплекс «STM-W5» для изучения кластерных материалов // Материалы докладов НТК «Приборостроение в XXI веке. Интеграция науки, образование и производства»: Ижевск, 2007.– С. 154-159.