- Метод решения задачи отражения поляризованного света от неодно-родных анизотропных слоев с произвольным законом изменения главных зна-чений тензора диэлектрической проницаемости и угла ориентации оптической оси по глубине поверхностного слоя одноосного кристалла, основанный на применении теории возмущений к рекуррентным соотношениям Абеле для многослойных однородных систем, позволяет обобщить существующие теоре-тические рассмотрения задачи отражения поляризованного света от неодноро-дного анизотропного слоя при описании его оптических свойств макроско-пическими характеристиками в приближении теорий Друде-Борна.
- Метод последовательного эллипсометрического анализа неоднородных отражающих систем, основанный на физико-математическом моделировании вида оптического профиля неоднородного слоя и корреляционной функции шероховатой поверхности, позволяет определять оптимальные условия экспе-римента, при которых можно сравнивать различные по своему физическому содержанию модели поверхностного слоя при наименьшей вероятности ошиб-ки в оценки их адекватности объекту исследования и проводить высокоточные измерения их оптических параметров при экспериментальных условиях, когда наилучшим образом обеспечиваются метрологические возможности использу-емой аппаратуры.
- Метод эллипсометрического контроля параметров шероховатой повер-хности неоднородной подложки, основанный на обобщении теорий отражения поляризованного света Друде-Борна и Релея-Райса, позволяет при многоугло-вых измерениях поляризационных характеристик Δ(φ) и Ψ(φ) определять сред-неквадратическую высоту σ и среднеквадратическую длину пространственной корреляции γ шероховатости при наличии на поверхности элемента неоднород-ного слоя.
- o 4. Метод аттестации потерь оптического излучения в элементах лазерной техники, при совместном использовании эллипсометрической и спектрофото-метрической аппаратуры, позволяет по поляризационно-оптическим парамет-рам шероховатой поверхности неоднородной подложки определять потери оптического излучения в поверхностном слое внутрирезонаторных элементов ионных и эксимерных лазеров, а также показатель ослабления излучения в ма-териале оптической детали в УФ области спектра с погрешностью Sμ ≤0,02%.
- Двухстадийное ионно-плазменное распыление поверхностного слоя полированного кварцевого стекла низкоэнергетическими пучками ионов Ar+ с последующей низкотемпературной тепловой обработки, позволяет уменьшить потери оптического излучения в ВУФ области спектра на внутрирезонаторных элементах ионных и эксимерных лазеров.
- Одновременное использование методов эллипсометрии и волноводной спектроскопии в измерительной системе технологического контроля элементов оптотехники позволяет при совместном решении обратной задачи ВКБ и эллип-сометрии реконструировать оптический профиль маломодовых волноводов не-разрушающим способом. Образование волноводных слоев на фторсодержащих силикатных стеклах при их полировании и хранении во влажной атмосфере связано с гидролитической деструкцией поверхностного слоя стекла.
- Метод многоугловой эллипсометрии, основанный на обобщенном ура-внении эллипсометрии Друде-Борна для отражающей системы «неоднородный слой - неоднородная подложка», позволяет определять распределение пока-зателя преломления n(r) по аксиальному сечению градана при наличии на по-верхности элемента неоднородного слоя, а в методе ″секционирования″ много-слойной неоднородной отражающей системы ее оптические характеристики.
2. Пшеницын В.И., Храмцовский И.А. Исследование потерь излучения на оп-тических элементах в зависимости от физических параметров поверхнос-тного слоя // ОМП. 1983. № 12. С.5–7.
3. Храмцовский И.А., Пшеницын В.И. Роль удельного давления в формирова-нии оптических свойств поверхностного слоя при полировании кварцевого стекла // ОМП. 1986. №12. С.26–28.
4. Храмцовский И.А., Пшеницын В.И., Мишин А.В., Каданер Г.И., Кислов А.В.
Определение фотометрических характеристик калиброванных ослабителей излучения оптико–поляризационными методами // Тезисы VI Всесоюзной конференции «Фотометрия и ее метрологическое обеспечение» М.: ВНИИ ОФИМ. 1986. С.186.
5. Храмцовский И.А. , Пшеницын В.И., Мишин А.В., Холдаров Н.Х. Исследо-вание оптических свойств и состава поверхности стекол методами эллипсо-метрии и Оже-спектроскопии // Тезисы VIII Всесоюзного совещания «Сте-клообразное состояние» . Л.: «Наука» ЛО. 1986. С.399–400.
6. Мишин А.В., Холдаров Н.Х., Пшеницын В.И., Храмцовский И.А. Приме-нение эллипсометрии и Оже–спектроскопии для исследования оптических и спектральных свойств поверхности стекол // Тезисы VI Всесоюзного симпозиума «Оптические и спектральные свойства стекол». Рига: ЛГУ им. П.Стукчи, СССР. 1986. С.144.
7. Храмцовский И.А., Пшеницын В.И. Влияние полирующего абразива на оп-тические характеристики поверхностного слоя // ОМП. 1987. №o7. С.29–31.
8. Храмцовский И.А., Мишин А.В., Пшеницын В.И. Использование методов эл-липсометрии и ВКБ для определения оптического профиля волноводных слоев // Письма в ЖТФ. 1987. вып.13. С.1230–1235.
9. Пшеницын В.И., Холдаров Н.Х., Храмцовский И.А., Калинина М.А., Тихо- мирова Н.И. Изменение оптических характеристик поверхностного слоя сте-кла при полировании // ОМП. 1987. №8. С.28–31.
10. Игнатьева З.С., Салыганов В.И., Травкин С.П., Храмцовский И.А. Исследо-вание свойств окисных пленок на ферритах методом эллипсометрии // Сб.: Эллипсометрия в науке и технике / Под ред. К.К. Свиташева и А.С.Мар-дежева . Новосибирск: ИФП СО АН СССР. 1987. С.158–160.
11. Пшеницын В.И., Мишин А.В., Храмцовский И.А., Банщиков А.Г., Холда-ров Н.Х., Толмачев В.А., Калинина М.А. Применение эллипсометрии и Оже–спектроскопии для исследования поверхности стекол // Сб.: Эллип-сометрия в науке и технике / Под ред. К.К. Свиташева и А.С.Мардежева. Новосибирск: ИФП СО АН СССР. 1987. С.142–150.
12. Храмцовский И.А., Пшеницын В.И., Каданер Г.И., Кислов А.В. Учет опти- ческих характеристик поверхностного слоя при определении коэффици-ентов отражения и пропускания прозрачных диэлектриков // ЖПС. 1987. Т.46. №2. С.272–279.
13. Антонов В.А., Пшеницын В.И., Храмцовский И.А. Уравнение эллипсомет-рии для неоднородных и анизотропных поверхностных слоев в приближе-нии Друде–Борна // Опт. и спектр. 1987. Т.62. вып.4. С.828–831.
14. Храмцовский И.А., Пшеницын В.И., Мишин А.В., Толмачев В.А., Холдаров Н.Х. Исследование поверхностных слоев свинцовосиликатного стекла ме-тодом эллипсометрии // Физика и химия стекла. 1987. Т.13. №1. С.104–111.
15. Пшеницын В.И., Храмцовский И.А. Новый подход к эллипсометрии реаль-ной поверхности оптических материалов // Сб: Эллипсометрия: теория, ме-тоды, приложение / Под ред. А.В.Ржанова и Л.А. Ильина. Новосибирск: «Наука». 1987. С.8–14.
16. Храмцовский И.А., Вощенко Т.К., Черезова Л.А., Пшеницын В.И., Апинов А.А. Изменение оптических свойств поверхностного слоя при ионно–плаз-менном распылении кварцевого стекла // Опт. и спектр. 1988. Т.65. вып.1. С.141–145.
17. Храмцовский И.А., Пшеницын В.И., Степанов В.А., Мошкаров Ю.Г., Цым-бал В.А. Исследование оптических характеристик и состава поверхностно-го слоя микропористого стекла // Физика и химия стекла. 1988. Т.14. №2. С.240 –245.
18. Черезова Л.А., Вощенко Т.К., Храмцовский И.А., Пшеницын В.И. Измене-ние оптических и спектральных свойств стекол при ионной и ионно−хими-ческой обработке // Тезисы VII Всесоюзного симпозиума «Оптические и спектральные свойства стекол». Л.: ИХС ЛО АН СССР. 1989. С.197.
19. Пшеницын В.И., Храмцовский И.А. Методы эллипсометрического анализа неоднородных поверхностных слоев и шероховатых поверхностей // Сб.: Эллипсометрия: теория, методы, приложение / Под ред. К.К.Свиташева. Новосибирск: «Наука», 1991. С.20–33.
20. Алексеев С.А., Колосов А.М., Пшеницын В.И., Храмцовский И.А. Опреде-ление глубины трещиноватого слоя полированной поверхности кварцевого стекла методом ИК эллипсометрии // Стекло и керамика. 1992. №8. С.6–8.
21. Горляк А.Н., Крылова Н.А., Подсекаев А.В.,Туркбоев А., Храмцовский И.А. Эллипсометрия градиентных оптических элементов// Труды Междуна-родной конференции "Прикладная оптика – 98". CПб. 1998. С.12.
22. Аммас М.М., Лисицын Ю.В., Подсекаев А.В., Туркбоев А., Храмцовский И.А. Исследование поверхностных слоев фторсодержащих материалов // Вопросы материаловедения. 2000. №1 (21). С.58–63.
23. Алексеев С.А., Крылова Н.А., Миронов А.О., Туркбоев А., Храмцовский И.А. Применение метода секционирования при контроле окисных пок-рытий на ферритах // Вопросы материаловедения. 2000. №1(21). С.63–65.
24. Акользин П.Г, Колосов С.В, Голоднов Д.В., Туркбоев А., Храмцовский И.А Особенности измерения параметров шероховатой поверхности диэлект-риков и полупроводниковых материалов // Вопросы материаловедения. 2000. №1(21). С.66–69.
25. Аммас М.М., Горляк А.Н., Подсекаев А.В., Прокопенко В.Т., Храмцовский И.А. Измерение локальных значений показателя преломления неодно-родных сред методом эллипсометрии // Труды VIII Международной кон-ференции «Оптические, радиоволновые и тепловые методы и средства контроля качества материалов, промышленных изделий и окружающей среды»: Ульяновск. 2000. С.48–50.
26. Демидов И.В., Прокопенко В.Т., Храмцовский И.А., Фан Ли Шуан Приме- нение эллипсометрии в контроле оптических характеристик неоднородных поверхностных слоев // Межвузов. Сб: Неразрушающий контроль и диаг-ностика окружающей среды, материалов и промышленных изделий / Под ред. А.И.Потапова. СПб: СЗТУ. 2001. вып.1. С.3–10.
27. Демидов И.В., Лисицын Ю.В., Храмцовский И.А., Шеломова О.А. Особен-ности применения метода Фурье спектроэллипсометрии в технологическом в контроле клеевых соединений оптических элементов автоклавируемых трубок // Научно-технический вестник СПб ГУ ИТМО: Оптические при-боры, системы и технологии / Гл. ред. В.Н.Васильев. СПб: ГИТМО (ТУ). 2002. вып. 5. С.148–152.
28. Новиков А.А., Леонов С.А., Прокопенко В.Т., Храмцовский И.А. Анализ технологических особенностей изготовления и контроля микроканальных пластин для электронно–оптических преобразователей излучения // Научно – технический вестник СПб ГУ ИТМО: Оптические приборы, системы и технологии / Гл. ред. В.Н.Васильев. CПб: СПб ГИТМО (ТУ), 2002. вып. 5. С.164–167.
29. Плотников В.В., Прокопенко В.Т., Тимошенко А.М., Храмцовский И.А. Диагностика шероховатой поверхности элементов оптоэлектроники методом эллипсометрии // Труды V Международной конференции «Прик-ладная оптика – 2002»: Оптическое приборостроение. СПб. 2002. Т.1. С.136.
30. Демидов И.В., Лисицин Ю.В., Михайлов Ю.В., Храмцовский И.А. Опреде-ление пространственной частоты передачи изображений градиентными оп-тическими элементами методами эллипсометрии // Труды V Международ-ной конференции «Прикладная оптика-2002»: Оптическое приборос-троение. СПб. 2002. Т.1. С.156.
31. Плотников В.В., Заморянская М.В., Храмцовский И.А. Анализ дефектов структуры Si–SiO2 методами эллипсометрии и катодолюминисценции // Оптические методы исследования дефектов и дефектообразования микро-электроники и микросенсорной техники / Под ред. Гатчина Ю.А. и Ткалич В.Л.. СПб: ГИТМО (ТУ). 2002. С.784–786.
32. Новиков А.А., Прокопенко В.Т., Храмцовский И.А. Оптические свойства шероховатой поверхности элементов оптоэлектроники // Научно–техниче-ский вестник СПб ГУ ИТМО: Теория и практика современных технологий / Гл. ред. В.Н.Васильев, СПб: CПб ГУ ИТМО. 2004. С. 73–80.
33. Прокопенко В.Т., Пшеницын В.И., Храмцовский И.А. Диагностика состоя-ния поверхности элементов оптоэлектроники методами эллипсометрии и ядерно–физической спектроскопии // Труды VI Международной конферен-ции «Прикладная оптика»: «Оптические материалы и технологии», СПб, 2004. Т.2. С.184.
34. Гарин П.Л., Лисицын Ю.В., Новиков А.А., Трухин М.М., Храмцовский И.А. Определение обобщенного показателя качества соединений деталей мето-дом эллипсометрии // Труды VI Международной конференции «Приклад-ная оптика»: Оптические материалы и технологии, СПб. 2004. Т.2. С.156.
35. Землянский В.С., Новиков А.А., Степанчук А.А., Храмцовский И.А. Поля-
ризационно-оптические методы контроля физико-химического состояния поверхности элементов в оптических соединениях деталей // Труды VII Международной конференции «Прикладная оптика – 2006»: Компью-терные технологии в оптики. С–Пб. 2006. Т.3. С.248.
36. Прокопенко В.Т., Пшеницын В.И., Храмцовский И.А. Теоретические ас-пекты метода эллипсометрии шероховатых поверхностей и неоднородных анизотропных слоев элементов оптоэлектроники // Труды VII Междуна-родной конференции «Прикладная оптика – 2006»: Компьютерные техно-логии в оптики. С–Пб. 2006. Т.3. С.247.
37. Землянский В.С., Новиков А.А., Степанчук А.А., Храмцовский И.А. Крите-рии качества оптических элементов ионных и эксимерных лазеров вы-пол-енных из кристаллического и плавленного кварца // Труды VII Меж-дународной конференции «Прикладная оптика – 2006»: Оптические ма-териалы и технологии. С–Пб. 2006. Т.2. С.55.
38. Горляк А.Н., Новиков А.А., Храмцовский И.А. Диагностика состояния по-верхности оптоэлектроники модифицированных ионными и электронными пучками// Труды VII Международной конференции «Прикладная оптика –2006»: Оптические материалы и технологии. С–Пб. 2006. Т.2. С.56.
39. Новиков А.А., Прокопенко В.Т., Храмцовский И.А Определение потерь из-лучения на оптических элементах методами эллипсометрии и спектрофото-метрии // Приборостроение. Изв.ВУЗОВ. 2007. Т.50. №3. С.62.
40. Гарин П.Л., Новиков А.А., Прокопенко В.Т., Храмцовский И.А. Исследова-ние оптических свойств поверхностных слоев в процессе стационарного и нестационарного выщелачивания силикатных стекол // Приборостроение. Изв. ВУЗОВ. 2007. Т.50. №7, С.23–30.
41. Новиков А.А., Прокопенко В.Т., Храмцовский И.А Оптические свойства поверхностных слоев силикатных стекол при ионной и электронно-лучевой обработки // Приборостроение. Изв.ВУЗОВ, 2007. Т.50. №8. С.54–60.
42. Храмцовский И.А., Пасяда А.В. Отражение поляризованного света от неод-нородного анизотропного поверхностного слоя// Приборостроение. Изв. ВУЗОВ. 2007. Т.50. №12, С.40–46.
43. Golyak A.N., Cramtsovsky I.A.The ellipcometry of the roug suface on an inho-mogeneous substrate // 4th International Conference on Spectroscopic Ellip-sometry «ICSE 4», Program & Abstracts, June 11–15. 2007. Stockholm. Swe-den. 1st Poster Session. MoP.42, Р.74.
44. Землянский В.С., Прокопенко В.Т., Храмцовский И.А., Степанчук А.А. Пшеницын В.И, Влияние окружающей среды на физико–химическую структуру фторсодержащего силикатного стекла // «Неразрушающий кон-троль и диагностика окружающей среды, материалов и промышленных изделий», 2007. вып 14. С.194–206.
45. Степанчук А. А., Сычев М. М., Прокопенко В.Т., Храмцовский И.А. Иссле-
дование оптической неоднородности физико-химической структуры паро- фазного стекла // «Неразрушающий контроль и диагностика окружающей среды, материалов и промышленных изделий» / Под ред. А.И.Потапова, СПб: СЗТУ. 2007. вып.14. С.184–193.
46. Землянский В.С., Новиков А.А., Храмцовский И.А., Степанчук А.А. Ос-обенности физико–математического моделирования структуры неоднород-ных поверхностных слоев элементов оптоэлектроники // «Неразрушающий контроль и диагностика окружающей среды, материалов и промышленных изделий» / Под ред. А.И.Потапова. СПб:СЗТУ. 2007. вып.14. C.207– 216.
47. Землянский В.С., Степанчук А.А., Храмцовский И.А.,Горляк А.Н. Эллипсо-метрический метод технологического контроля элементов лазерной техни-ки и градиентной оптики // Научно–технический вестник СПб ГУ ИТМО : Современные технологии, 2007. вып 43. С. 81–87.
48. Степанчук А.А., Сычев М,М, Землянский В.С., Пшеницын В.И., Храм-цовский И.А., Туркбоев А., Гидролизный механизм формирования волно-водных слоев в фторсодержацих системах// Научно–технический вестник СПб ГУ ИТМО : Современные технологии, 2007. вып 43. С. 97–104.
49. Землянский В.С., Пшеницын В.И., Степанчук А.А., Храмцовский И.А. Ис-
следование кинетики и физико-химического механизма формирования по-верхностных слоев фторсодержащих стекол// Физика и химия стекла. 2008.
Т.34. №2. С.170–181.
50. Землянский В.С., Степанчук А.А., Сычев М.М., Храмцовский И.А. Влияние
физико-химической структуры поверхностного слоя кварцевого стекла на потери излучения в УФ области спектра // Физика и химия стекла. 2008. Т.34, №3, С.326–335.
51. Прокопенко В.Т., Храмцовский И.А., Землянский В.С., Лисицын Ю.В., Секарин К.Г. Эллипсометрия оптических соединений элементов оптоэлек-троники // Приборостроение. Изв. ВУЗОВ. 2008. Т.51. №10. С.59–67.
52.Землянский В.С.,Храмцовский И.А.,Горляк А.Н.,Степанчук А.А. Методы эллипсометрического анализа неоднородных поверхностных слоев эле-ментов оптоэлектроники // Опт. и спектр. 2008. Т.105. № 2. С.346–351.
53. Новиков А.А., Храмцовский И.А., Иванов В.Ю., Федоров И.С., Туркбоев А. Эллипсометрия неоднородных поверхностных слоев анизотропных опти-ческих элементов // Приборостроение. Изв. ВУЗОВ. 2009. Т.52. № 1. С.62 –68.
54.Gorlyak A.N., Khramtsovskij I. A. Diagnostics of the physicochemical state of the surface of optoelecronics elements by ellipsometry method // 5 th Workshop Ellipsomtry / Germaniy. Zweibruecken. 2009. P.63.
55. Храмцовский И.А., Трофимов В.А., Секарин К.Г., Степанчук А.А. Методы многоугловой и иммерсионной эллипсометрии // Меж.вуз. Сб.: Неразруша-ющий контроль и диагностика окружающей среды, материалов и промыш-ленных изделий / Под ред. А.И.Потапова. СПб: СЗТУ. 2009. вып.16. С.93 –101.