Научная тема: «ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ И ОКСИДНЫХ СЛОЕВ В ПРОЦЕССАХ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ПАРОВ СОЕДИНЕНИЙ МЕТАЛЛОВ С ОРГАНИЧЕСКИМИ ЛИГАНДАМИ»
Специальность: 02.00.04
Год: 2010
Отрасль науки: Химические науки
Основные научные положения, сформулированные автором на основании проведенных исследований:
  1. совокупность установленных физико-химических закономерностей формирования наноструктурированных металлических и оксидных пленочных материалов в процессах MOCVD;
  2. выявленные взаимосвязи между параметрами процессов осаждения и характером формирования тонких наноразмерных пленок, данные о составе переходных слоев в системах пленка-подложка;
  3. результаты изучения процессов формирования неоднородных по строению покрытий с различной структурой слоев (сплошной, зерни-стой, столбчатой);
  4. данные о составе и структуре нанокомпозитных покрытий на основе иридия и оксида алюминия;
  5. результаты изучения состава и структуры YSZ слоев при изменении условий их синтеза, результаты исследований электрохимических харак-теристик ячеек ТОТЭ с YSZ пленочным электролитом;
  6. результаты исследования коррозионной стойкости покрытий на основе металлов платиновой группы на Ti электродах при электроли-тическом воздействии;
  7. оригинальная методика изучения процессов массопереноса летучих соединений металлов, основанная на непрерывном весовом контроле увеличения массы перенесенного соединения, зависимости скорости мас-сопереноса Cr(acac)3, Ir(acac)3, Cu(ki)2 от основных параметров процесса;
  8. результаты исследования термических свойств карбонильных соеди-нений Re и процессов термического разложения смеси паров трис-ацетилацетонатов Al(III) и Ir(III).
Список опубликованных работ
1. Bessergenev V.G., Gelfond N.V., Igumenov I.K., Ilyasov S.Sh., Kangiev R.D., Kovalevskaya Yu.A., Kravchenko V.S., Slobodyan S.A., Motorin V.I., Shestak A.F. Technology of fabrication and electrical characteristics of W, Mo, Ni and Ir, Pd contacts with YBa2Cu3O7-x // Supercond. Sci. Technol. – 1991. – V. 4, N 7. – P. 273-278.

2. А.с. 1316305 СССР, МКИ3 С 23 С 16/00. Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы / А.Ф. Быков, Н.В. Гельфонд, С.В. Земсков, И.К. Игуменов, И.Г. Ларионов, С.М. Царев (СССР). № 3967495/22-02; Заяв. 25.07.85; Опубл. 23.07.91. – Бюл. № 27. – С. 246.

3. А.с. 1347504 СССР, МКИ3 С 23 С 16/00. Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы / А.Ф. Быков, Н.В. Гельфонд, С.В. Земсков, И.К. Игуменов, Г. Ким, И.Г. Ларионов, А.А. Никифоров, С.М. Царев (СССР). № 3982561/22-02; Заяв. 28.10.85; Опубл. 23.07.91. – Бюл. № 27. – С. 247.

4. Gelfond N.V., Igumenov I.K., Boronin A.I., Bukhtiyarov V.I., Smirnov M.Yu., Prosvirin I.P., Kwon R.I. An XPS study of the composition of iridium films obtained by MO CVD // Surface Science. – 1992. – V. 275. – P. 323-331.

5. Gelfond N.V., Tuzikov F.V., Igumenov I.K. Effect of the deposition temperature on the iridium film microstructure produced by metal-organic chemical vapour deposition: sample characterization using X-ray techniques // Thin Solid Films. – 1993. – V. 227, N 2. – P. 144-152.

6. Dhara S., Awasthy B.R., Rastogi A.C., Das B.K., Gelfond N.V., Fedotova N.E., Bykov A.F., Igumenov I.K. Parametric investigation for direct chemical vapour deposition of magnetite films // J. Magnetism and Magnetic Materials. – 1994. – V. 134. – P. 29-33.

7. Гельфонд Н.В., Зайковский В.И., Игуменов И.К. Электронно-микроскопическое исследование структуры тонких иридиевых пленок, полученных методом химического осаждения из газовой фазы // Поверх-ность. Физика, химия, механика. – 1994. – № 5. – C. 50-57.

8. Патент 2082821 РФ, МКИ6 С 23 С 16/04. Способ получения иридие-вых покрытий / В.А. Алексеев, А.Ф. Быков, Н.В. Гельфонд, А.Д. Дробот, С.В. Земсков, И.К. Игуменов, В.Г. Исакова, С.А. Филин, В.И. Ямпольский (РФ). № 3201540/02; Заяв. 10.06.88; Опубл. 27.06.97. – Бюл. № 18. – С. 157.

9. Igumenov I.K., Gelfond N.V., Tuffias R.H. Thick platinum metal coatings obtained by MO CVD // Chemical Vapor Deposition. Proceedings of the Fourteenth International Conference and EUROCVD-11. Paris. – 1997. Electrochemical Society Proceedings Volume 97-25 / Editors: M.D. Allendorf, C. Bernard. – P. 1618-1625.

10. Gelfond N.V., Boronin A.I., Smirnov M.Yu., Kvon R.I., Igumenov I.K. An XPS study of the influence of iridium CVD conditions on the film composi-tion // Chemical Vapor Deposition. Proceedings of the Fourteenth International Conference and EUROCVD-11. Paris. – 1997. Electrochemical Society Pro-ceedings Volume 97-25 / Editors: M.D. Allendorf, C. Bernard. – P. 1588-1595.

11. Fedotova N.E., Mikheev A.N., Gelfond N.V., Igumenov I.K., Morozova N.B., Tuffias R.H. Modeling of mass-transportation of tris-(acetylacetonato)chromium(III) at atmospheric pressure // J. de Physique IV. – 1999. – V. 9. – P. 251-258.

12. Bakovets V.V., Gelfond N.V., Mitkin V.N., Levashova T.M., Dolgoveso-va I.P., Ratushnjak V.T., Martynets V.G. Metal and oxide thin film MO CVD as a base for nanostructure and superlattice formation // J. de Physique IV. – 2001. – V. 11. – P. 561-567.

13. Gelfond N.V., Galkin P.S., Igumenov I.K., Morozova N.B., Fedotova N.E., Zharkova G.I., Shubin Yu.V. MO CVD obtaining composite coating from metal of platinum group on titanium electrodes // J. de Physique IV. – 2001. – V. 11. – P. 593-599.

14. Morozova N.B., Zharkova G.I., Semyannikov P.P., Sysoev S.V., Igume-nov I.K., Fedotova N.E., Gelfond N.V. Vapor pressure of precursors for CVD on the base of platinum group metals // J. de Physique IV. – 2001. – V. 11. – P. 609-616.

15. Fedotova N.E., Gelfond N.V., Igumenov I.K., Mikheev A.N., Morozova N.B., Tuffias R.H. Experiment and modeling of mass-transfer processes of volatile metal beta-diketonates. I. Study of mass-transfer process of tris-(acetylacetonato) chromium(III) at atmospheric pressure // Int. J. Therm. Sci. – 2001. – V. 40. – P. 469-477.

16. Ryabtsev A.D., Kotsupalo N.P., Titarenko V.I., Igumenov I.K., Gelfond N.V., Fedotova N.E., Morozova N.B., Shipachev V.A., Tibilov A.S. Develop-ment of two-stage electrodialysis set-up for economical desalination of sea type artesian and surface waters // Desalination. – 2001. – V. 137. – P. 207-214.

17. Igumenov I.K., Gelfond N.V., Galkin P.S., Morozova N.B., Fedotova N.E., Zharkova G.I., Shipachev V.A., Reznikova E.F., Ryabtsev A.D., Kotsu-palo N.P., Titarenko V.I., Dikov Yu.P., Distler V.V., Buleev M.I. Corrosion testing of platinum metals CVD coated titanium anodes in seawater simulated solutions // Desalination. – 2001. – V. 136. – P. 273-280.

18. Ryabtsev A.D., Kotsupalo N.P., Titarenko V.I., Igumenov I.K., Gelfond N.V., Fedotova N.E., Morozova N.B., Shipachev V.A. Set-up involving elec-trodialysis for production of drinking-quality water from artesian waters with salt content up to 8 kg/m3 with productivity up to 1 m3/h // Desalination. – 2001. – V. 136. – P. 333-336.

19. Бадалян А.М., Белый В.И., Гельфонд Н.В., Игуменов И.К., Косинова М.Л., Морозова Н.Б., Расторгуев А.А., Румянцев Ю.М., Смирнова Т.П., Файнер Н.И., Яковкина Л.В. Химическое строение и структура тонких пленок, полученных химическим осаждением из газовой фазы // Журн. структ. химии. – 2002. – Т. 43, № 4. – С. 605-628.

20. Черепанов А.Н., Шапеев В.П., Семин Л.Г., Черепанова В.К., Игуменов И.К., Михеев А.Н., Гельфонд Н.В., Морозова Н.Б. Квазиодно-мерная модель тепломассопереноса при сублимации пластины молекуляр-ного кристалла в плоском канале // Прикл. механика и технич. физика. – 2003. – Т. 44, № 4. – С. 109-115.

21. Gelfond N.V., Mikheev A.N., Morozova N.B., Gelfond N.E., Igumenov I.K. Experiment and modeling of mass-transfer processes of volatile metal beta-diketonates. II. Study of mass-transfer process of tris-(acetylacetonato) iridium(III) // Int. J. Therm. Sci. – 2003. – V. 42. – P. 725-730.

22. Bakovets V.V., Mitkin V.N., Gelfond N.V. Mechanism of Ni film CVD with a Ni(ktfaa)2 precursor on a copper substrate // Chemical Vapor Deposition. – 2005. – V. 11, N 2. – P. 112-117.

23. Bakovets V.V., Mitkin V.N., Gelfond N.V. Mechanism of Ni film chemi-cal vapor deposition with Ni(ktfaa)2 precursor on silicon substrate // Chemical Vapor Deposition. – 2005. – V. 11, N 8–9. – P. 368-374.

24. Бессонов А.А., Байдина И.А., Морозова Н.Б., Семянников П.П., Трубин С.В., Гельфонд Н.В., Игуменов И.К. Синтез, кристаллическая структура и термические свойства ацетата диметилзолота(III) // Журн. структ. химии. – 2007. – Т. 48, № 2. – С. 289-295.

25. Igumenov I.K., Semyannikov P.P., Trubin S.V., Morozova N.B., Gelfond N.V., Mischenko A.V., Norman J.A. Approach to control deposition of ultra thin films from metal organic precursors: Ru deposition // Surface & Coatings Technology. – 2007. – V. 201. N 22-23. – P. 9003-9008.

26. Bessonov A.A., Morozova N.B., Gelfond N.V., Semyannikov P.P., Trubin S.V., Shevtsov Yu.V., Shubin Yu.V., Igumenov I.K. Dimethylgold(III) carboxylates as new precursors for gold CVD // Surface & Coatings Technolo-gy. – 2007. – V. 201. N 22-23. – P. 9099-9103.

27. Igumenov I.K., Gelfond N.V., Morozova N.B., Nizard H. Overview of coating growth mechanisms in MOCVD processes as observed in Pt group metals // Chemical Vapor Deposition. – 2007. – V. 13.N 11. – P. 633-637.

28. Бессонов А.А., Морозова Н.Б., Семянников П.П., Трубин С.В., Гель-фонд Н.В., Игуменов И.К. Термические свойства 8-оксихинолината и 8-меркаптохинолината диметилзолота(III) // Коорд. химия. – 2008. – Т. 34, № 3. – С. 191-194.

29. Morozova N.B., Zherikova K.V., Baidina I.A., Sysoev S.V., Semyanni-kov P.P., Yakovkina L.V., Smirnova T.P., Gelfond N.V., Igumenov I.K., Carta G., Rossetto G. Volatile hafnium(IV) compounds with beta-diketonate and cyc-lopentadienyl derivatives // Journal of Physics and Chemistry of Solids. – 2008. – V. 69, N 2-3. – P. 673-679.

30. Bessonov A.A., Morozova N.B., Semyannikov P.P., Trubin S.V., Gelfond N.V., Igumenov I.K. Thermal Behaviour of Dimethylgold(III) Carboxylates // J. of Therm. Anal. and Cal. – 2008. – V. 92, N 3. – P. 751-755.

31. Bessonov A.A., Morozova N.B., Gelfond N.V., Semyannikov P.P., Baidina I.A., Trubin S.V., Shevtsov Yu.V., Igumenov I.K. Synthesis, Crystal Structure and Thermal Properties of Dimethylgold(III) Derivatives of Salicy-laldimine Schiff Bases – New Volatile Precursors for Gold MOCVD Applica-tions // J. Organomet. Chem. – 2008. – V. 693. – P. 2572-2578.

32. Гельфонд Н.В., Бобренок О.Ф., Предтеченский М.Р., Морозова Н.Б., Жерикова К.В., Игуменов И.К. Осаждение из газовой фазы тонких пленок электролитов на основе оксида циркония, стабилизированного оксидом иттрия // Неорганические материалы. – 2009. – Т. 45, № 6. – С. 718-725.

33. Ayupov B.M, Zherikova K.V., Gelfond N.V., Morozova N.B. Optical properties of MOCVD HfO2 films // Physica Status Solidi. – 2009. – V. A 206, N 2. – P. 281-286.

34. Гельфонд Н.В., Морозова Н.Б., Игуменов И.К., Филатов Е.С., Громилов С.А., Квон Р.И. Структура покрытий Ir-Al2O3, полученных методом химического осаждения из паровой фазы в атмосфере водорода // Журн. структ. химии. – 2009. – Т. 50, № 5. – С. 955-959.

35. Гельфонд Н.В., Морозова Н.Б., Громилов С.А., Данилович В.С., Филатов Е.С., Игуменов И.К. Структура рениевых покрытий, полученных методом CVD // Журн. структ. химии. – 2009. – Т. 50, № 6. – С. 1179-1186.

36. Gelfond N.V., Semyannikov P.P., Trubin S.V., Morozova N.B., Igume-nov I.K. Deposition of Ir Nanostructured Thin Films by Pulse CVD // ECS Transactions. – 2009. – V. 25, N 8. – P. 871-874.

37. Trubin S.V., Morozova N.B., Semyannikov P.P., Bessonov A.A., Gelfond N.V., Igumenov I.K. Pulse CVD Deposition of Ru Films from Ru(II) η3-Allylic Complex // ECS Transactions. – 2009. – V. 25, N 8. – P. 881-885.

38. Semyannikov P.P., Morozova N.B., Zherikova K.V., Trubin S.V., Igume-nov I.K., Gelfond N.V. Preparation of Iridium Thin Film by Pulse CVD from Ir(acac)(CO)2 // ECS Transactions. – 2009. – V. 25, N 8. – P. 887-892.

39. Гельфонд Н.В., Морозова Н.Б., Игуменов И.К., Филатов Е.С., Шубин Ю.В., Громилов С.А., Квон Р.И., Данилович В.С. Структура Ir и Ir-Al2O3 покрытий, полученных методом химического осаждения из паровой фазы в присутствии кислорода // Журн. структ. химии. – 2010. – Т. 51, № 1. – С. 88-97.