- системные исследования физико-химических и термических свойств летучих координационных и металлоорганических соединений, а также совокупность приемов к целенаправленному выбору прекурсоров, определению параметров экспериментов и реализация процессов осаждения оксидных и металлических слоев методом MOCVD;
- методы синтеза комплексов Zr, Hf, Ru, Ir, Cu, Au с (3-дикетонатными, карбоксилатными, диэтилдитиокарбаматными, дииминатными, салицил-альдиминатными, хинолинатными, диеновыми, аллильными лигандами; S результаты кристаллохимического анализа комплексов металлов; S результаты исследования термических свойств соединений в конденсированном состоянии;
- данные по температурным зависимостям давления насыщенного пара и термодинамическим параметрам процессов парообразования летучих комплексов металлов;
- результаты исследования термического разложения паров соединений методом in situ высокотемпературной масс спектрометрии; S параметры осаждения оксидных ZrO2, HfO2 и металлических Ru, Ir, Cu, Au слоев методом MOCVD и результаты исследования их состава и структуры.
2.Морозова Н.Б., Митькин В.Н., Игуменов И.К., Земсков СВ., Пота¬пова О.Г. Р-Дикетонаты рутения (III) // Коорд. химия - 1989. - Т. 15, выпЛ.-С. 110-115.
3.Морозова Н.Б., Игуменов И.К., Юшина И.В., Аюпов Б.М., Лисойван В.И. Осаждение пленок ZrO2 из газовой фазы и их исследование методами рентгенофазового анализа и эллипсометрии // Неорг. материалы - 1993. -Т. 29, N 7. - С. 949-952.
4.Bykov A.F., Morozova N.B., Igumenov I.K., Sysoev S.V. Investigation of thermal properties of rathenium(III) (3-diketonate precursors for preparation of Ru02 films by CVD // J. of Therm. Anal. - 1996. - V. 46. - P. 1551-1565.
5.Morozova N.B., Sysoev S.V., Igumenov I.K., Golubenko A.N. Study of temperature dependence of saturated vapour pressure of zirconium(IV) P-diketonates // J. of Therm. Anal. - 1996. - V. 46. - P. 1367-1373.
6.Sysoev S.V., Morozova N.B., Zharkova G.I., Igumenov I.K., Semyanni-kov P.P., Grankin V.M. Vapour pressure and thermoanalytical study of diethyl-dithiocarbamates of platinum metals // J. of Therm. Anal. - 1998. - V. 53. -P. 87-96.
7.Игуменов И.К., Шипачев В.А., Горнева Г.А., Морозова Н.Б. Способ получения Р-дикетонатов родия(Ш) и иридия(Ш). Заявитель: ИНХ. Заявка N 96116609/02 от 14.08.96 г. Положительное решение от 30.07.96 г. Па¬тент N 2105008 от 20.02.98 г.
8.Игуменов И.К., Исакова В.Г., Морозова Н.Б., Шипачев В.А. Способ получения трис-Р-дикетонатов редких металлов. Заявитель: ИНХ. Заявка ЕА N 199700172 от 14.08.96 г. Положительное решение от 05.04.99 г. Патент ЕА N 000402 от 09.04.99 г.
9.Исакова В.Г., Байдина И.А., Морозова Н.Б., Игуменов И.К., Рыбаков В.Б. Синтез и рентгеноструктурное исследование ацетилацетоната ири-дия(Ш) и его Br-, I-замещенных аналогов // Журн. структ. химии - 1999. -Т. 40, N 2. - С. 331 -339.
10.Исакова В.Г., Байдина И.А., Морозова Н.Б., Игуменов И.К., Рыбаков В.Б. Синтез и рентгеноструктурное исследование Cl-замещенного ацетилаце-тоната иридия(ш) // Журн. структ. химии - 1999. - Т. 40, N 2. - С. 379-383.
11.Morozova N.B., Semyannikov P.P., Sysoev S.V., Grankin V.M., Igu-menov I.K. Saturated vapor pressure of iridium(III) acetylacetonate // J. о! Therm. Anal. and Cal. - 2000. - V. 60. - P. 489-495.
12.Isakova V.G., Baidina LA., Morozova N.B., Igumenov I.K. -Halogenated iridium (III) acetylacetonates // Polyhedron - 2000. - N 19. -P. 1097-1103.
13.Morozova N.B., Zharkova G.I., Semyannikov P.P., Sysoev S.V., Igume-nov I.K., Fedotova N.E., Gelfond N.V. Vapor pressure of precursors for CVD on the base of platinum group metals // J. Phys. IV France - 2001. -V. 11. - P. 609-616.
14.Бадалян А.М., Белый В.И., Гельфонд Н.В., Игуменов И.К., Косинова М.Л., Морозова Н.Б., Расторгуев А.А., Румянцев Ю.М., Смирнова Т.П., Файнер Н.И., Яковкина Л.В. Химическое строение и структура тонких пленок, полученных химическим осаждением из газовой фазы // Журн. структ. химии - 2002. - Т. 43, N 4. -С. 605-628.
15.Стабников П.А., Байдина И.А., Сысоев С.В., Ванина Н.С., Морозова Н.Б., Игуменов И.К. Давление пара и кристаллическая структура бис-(2-имино-4-пентаноната) меди(П) // Журн. структ. химии - 2003. - Т. 44, N 6. - С. 1138-1145.
16.Яковкина Л.В., Кичай В.Н., Смирнова Т.П., Шубин Ю.Н., Каичев В.В., Жерикова К.В., Морозова Н.Б., Игуменов И.К. Синтез и свойства тонких пленок HfO2 // Неорг. Материалы. - 2005 - N 12. - C. 1-6.
17.Жерикова К.В., Морозова Н.Б., Куратьева Н.В., Байдина И.А., Игу¬менов И.К. Синтез и рентгеноструктурное исследование комплексов гаф-inm(IV) с ацетилацетоном и трифторацетилацетоном // Журн. структ. химии - 2005. - Т. 46, N 6. - С. 1075-1082.
18.Жерикова К.В., Морозова Н.Б., Байдина И.А., Алексеев В.И., Игуме¬нов И.К. Синтез и рентгеноструктурное исследование восьмикоординиро-ванного комплекса гафния(! с гексафтор-ацетилацетоном // Журн. структ. химии - 2006. - Т. 47, N 1. - С. 87-90.
19.Жерикова К.В., Морозова Н.Б., Пересыпкина Е.В., Байдина И.А., Игуменов И.К. Синтез и рентгеноструктурное исследование комплекса гафния^Х´) с пивалоилтрифторацетоном // Журн. структ. химии - 2006. -Т. 47, N 3. - С. 587-592.
20.Бессонов А.А., Байдина И.А., Морозова Н.Б., Семянников П.П., Тру-бин С.В., Гельфонд Н.В., Игуменов И.К. Синтез, кристаллическая струк¬тура и термические свойства ацетата диметилзолота(Ш) // Журн. структ. химии - 2007. - Т. 48, N 2. - С. 289-295.
21.Bessonov A.A., Morozova N.B., Gelfond N.V., Semyannikov P.P., Trubin S.V., Shevtsov Yu.V., Shubin Yu.V., Igumenov I.K. Dimethylgold(III) carboxylates as new precursors for gold CVD II Surface & Coatings Technol¬ogy - 2007. - V. 201, N 22-23. - P. 9099-9103.
22.Igumenov I.K., Semyannikov P.P., Trubin S.V., Morozova N.B., Gelfond N.V., Mischenko A.V., Norman J.A. Approach to control deposition of ultra thin films from metal organic precursors: Ru deposition II Surface & Coatings Technology - 2007. - V.201, N 22-23. -P. 9099-9103.
23.Жерикова К.В., Морозова Н.Б., Куратьева Н.В., Байдина И.А., Стаб¬ников П.А., Игуменов И.К. Рентгеноструктурное исследование фториро¬ванных (3-дикетонатных комплексов циркония(1У) // Журн. структ. химии - 2007. - Т. 48, N 3, - С. 539-547.
24.Морозова Н.Б., Стабников П.А., Байдина И.А., Семянников П.П., Трубин СВ., Игуменов И.К. Синтез, структура и термические свойства летучих комплексов меди(П) с р-дииминными производными ацетилаце-тона и строение кристаллов 2-(метиламино)-4-(метилимино)-2-пентена // Журн. структ. химии - 2007. -Т. 48, N 5. - С. 947-956.
25.Бессонов А.А., Морозова Н.Б., Куратьева Н.В., Байдина И.А., Гельфонд Н.В., Игуменов И.К. Синтез и кристаллическая структура карбоксилатов диметилзолота(Ш) // Коорд. химия - 2008. - T. 34, N 1. -C. 73-80.
26.Bessonov A.A., Smolentsev A.I., Baidina I.A., Morozova N.B. Dime-thyl[2-(phenylminomethyl)phenolato-^2^,0]gold(III) // Acta Cryst. - 2007. -E 63. -P. m3154.
27.Igumenov I.K., Gelfond N.V., Morozova N.B., Nizard H. Overview of coating growth mechanisms in MOCVD processes as observed in Pt group metals // Chemical Vapor Deposition - 2007. - V. 13. - P. 633-637.
28.Кузнецов Ф.А., Смирнова Т.П., Игуменов И.К., Файнер Н.И., Румян¬цев Ю.М., Косинова М.Л., Яковкина Л.В., Морозова Н.Б., Жерикова К.В., Кеслер В.Г., Кириенко В.В. Материалы и базовые технологии электрон¬ных устройств следующих поколений: диэлектрические слои // Изв. вузов РАН, Материалы электронной техники - 2007. - N 4. - С. 54-62.
29.Smirnova T.P., Yakovkina L.V., Kitchai V.N., Kaichev V.V., Shubin Yu.V., Morozova N.B., Zherikova K.V. Chemical vapor deposition and charac¬terization of hafnium oxide films // Journal of Physics and Chemistry of Solids. - 2008. - N 2-3. - P. 685-687.
30.Morozova N.B., Zherikova K.V., Baidina I.A., Sysoev S.V., Semyanni-kov P.P., Yakovkina L.V., Smirnova T.P., Gelfond N.V., Igumenov I.K., Carta G., Rossetto G. Volatile hafnium(IV) compounds with beta-diketonate and cyclopentadienyl derivatives // Journal of Physics and Chemistry of Solids -2008. - V. 69, N 2-3. - P. 673-679.
31.Бессонов А.А., Морозова Н.Б., Семянников П.П., Трубин С.В., Гель-фонд Н.В., Игуменов И.К. Термические свойства 8-оксихинолината и 8-меркапто-хинолината диметилзолота(Ш) // Коорд. химия - 2008. -T. 34, N 3. - C. 191-194.
32.Бессонов А.А., Байдина И.А., Морозова Н.Б., Куратьева Н.В., Гель-фонд 8-оксихинолината и 8-меркаптохинолината диметилзолота(Ш) // Журн. структ. химии - 2008. - Т. 49, N 1. - C. 70-74.
33.Zherikova K.V., Morozova N.B., Zelenina L.N., Sysoev S.V., Chusova Т.Р., Igumenov I.K. Thermal properties of hafnium(IV) and zirconium(IV) P-diketonates // J. of Therm. Anal, and Cal. - 2008. -V. 92, N 3, P. 729-734.
34.Bessonov A.A., Morozova N.B., Semyannikov P.P., Trubin S.V., Gelfond N.V., Igumenov I.K. Thermal Behaviour of Dimethylgold(III) Carboxylates // J. of Therm. Anal. and Cal. - 2008. - V. 92, N 3. - P 751-755.
35.Жерикова К.В., Морозова Н.Б., Байдина И.А., Сысоев С.В., Игуме¬нов И.К. Синтез, кристаллическая структура и давление пара комплекса меди(П) с 2,2,6,6-тетраметил-4-фторогептан-3,5-дионом // Журн. структ. химии - 2008. - Т. 49, N 1. - С. 63-69.
36.Жерикова К.В., Байдина И.А., Морозова Н.Б., Куратьева КВ., Игу¬менов И.К. Рентгеноструктурное исследование двух комплексов гафния^´у´) с дипивалоилметаном // Журн. структ. химии - 2008. - Т. 49, N 6. - C. 1137-1142.
37.Bessonov A.A., Morozova N.B., Gelfond N.V., Semyannikov P.P., Bai-dina I.A., Trubin S.V., Shevtsov Yu.V., Igumenov I.K. Synthesis, Crystal Structure and Thermal Properties of Dimethylgold(III) Derivatives of Salicy¬laldimine Schiff Bases - New Volatile Precursors for Gold MOCVD Applica¬tions II J. Organomet. Chem. - 2008. -V. 693. - P. 2572-2578.
38.Ayupov B.M, Zherikova K.V., Gelfond N.V., Morozova N.B. Optical properties of MOCVD HfO2 films II Physica Status Solidi - 2009. -V. A206, N 2. - P. 281-286. Morozova N.B., Semyannikov P.P., Trubin S.V., Stabnikov P.P., Besso-nov A.A., Zherikova K.V., Igumenov I.K. Vapor pressure of some volatile iridium(I) compounds with carbonyl, acetylacetonate and cyclopentadienyl ligands II J. of Therm. Anal. and Cal. - 2009. - V. 96(1). - P. 261-266.
39.Гельфонд Н.В., Бобренок О.Ф., Предтеченский М.Р., Морозова Н.Б., Жерикова К.В., Игуменов И.К. Осаждение из газовой фазы тонких пленок электролитов на основе оксида циркония, стабилизированного оксидом иттрия // Неорг. материалы - 2009. - Т. 45, N 6. - С. 718-725.