- Разработанная экспериментальная методика на длине волны 0,154 нм обеспечивает прецизионные измерения поверхностного распределения значений коэффициентов отражения (пропускания), брэгговских углов и кривых качания. МРЗ могут иметь изогнутую форму и градиентное распределение периода по поверхности. Методика может применяться для изучения микрошероховатости плоских поверхностей.
- Методики, развитые на основе анализа угловых зависимостей интенсивности диффузного рассеяния и зеркального отражения жесткого рентгеновского излучения, позволяют определять ширину и структуру переходных областей, толщины и плотности пленок в многослойных структурах с произвольным профилем диэлектрической проницаемости в периоде.
- Короткопериодные W/B4C МРЗ представляют собой хорошо скоррелированные по границам многослойные структуры. Перемешивание пленок вносит основной вклад в глубину переходных областей в многослойных структурах с периодами более 1 нм. При меньших периодах нарушается сплошность пленок, что приводит к резкому росту межслоевой шероховатости.
- Разработанные на основе светосильных монохроматоров и новых рентгенооптических схем рефлектометры и экспериментальные методики обеспечивают прецизионные измерения поверхностного распределения угловых и спектральных зависимостей коэффициентов отражения и пропускания рентгенооптических элементов с произвольной формой поверхностей в диапазоне длин волн 0,6-25 нм.
- Коэффициент конверсии энергии электронного пучка в энергию флуоресценции L-линии кремния в окрестности 13,5 нм при бомбардировке 10 кэВ электронами мишени кремния составил
- (3,04±0,06)-10- %. Применение многослойной мишени Zr/Si позволяет увеличить коэффициент конверсии в 2 раза.
- Применение ионной очистки мишеней, анодов, на которых установлено до 8-ми мишеней из различных материалов, и материалов термокатода с низкой работой выхода в совокупности позволило создать на базе разборной рентгеновской трубки эффективные источники МР и ЭУФ излучения по основным техническим характеристикам превосходящие мировые аналоги.
- Распад переходного слоя в Ni/C и Co/C МРЗ в процессе термического отжига начинается на границах и сопровождается распространяющейся вглубь металлического слоя волной кристаллизации металла с вытеснением из металлической матрицы атомов углерода. Повышение температуры отжига приводит к объемной кристаллизации металла и росту межслоевой шероховатости. Оптимальной, с точки зрения коэффициента отражения, температурой отжига являются та, при которой кристаллизация металла происходит на границах металл-углерод.
- Развитые принципы оптимизации оптических элементов спектрометров на основе многослойных рентгеновских зеркал позволили разработать высокоэффективные приборы для диагностики высокотемпературной и низкотемпературной плазмы.
- Источник на основе одномодового оптического волокна с субволновой выходной апертурой формирует сферическую волну с рекордно низкой аберрацией, что позволило создать на его основе дифракционный интерферометр для изучения формы светосильных поверхностей и волновых деформаций оптических систем с субнанометровой точностью.
- Развитая комплексная методика коррекции формы оптических элементов, основанная на применении вакуумного напыления и ионно-пучкового травления, обеспечивает изготовление атомарно гладких подложек, включая асферические, с субнанометровой точностью формы поверхности.
[A3] Кругляков, Э.П. Многослойные зеркала для мягкого рентгеновского излучения / Э.П. Кругляков, М.В. Федорченко, Н.И. Чхало // Физика плазмы. - 1992. - Т.18.Вып.4. - С.482-484. [A4] Renner, O. Properties of laser-sputtered Ti/Be multilayers / O. Renner, M. Kopecky, E. Krousky, F. Schafers, B.R. Muller, N.I. Chkhalo // Review of Scientific Instruments. - 1992. - V.63.No.1. - P.1478-1481. [A5] Горбовский, А.И. Лазерно-плазменный источник мягкого рентгеновского излучения для калибровки спектральной аппаратуры / А.И. Горбовский, Э.П. Кругляков, М.В. Федорченко, Н.И. Чхало // Физика плазмы. - 1994. - Т.20.Вып.1. - С.98-100.
[A6] Анашин, В.В. Сверхвысоковауумная автоматизированная установка для лазерного напыления многослойных структур / В.В. Анашин, И.Е. Валыка, Н.Г. Гаврилов, Э.П. Кругляков, М.В. Федорченко, Н.И. Чхало // Приборы и техника эксперимента. - 1995. -№ 4. - С.177-184.
[A7] Chernov, V.A. Study of the Inner Structure of Co/C and Ni/C Multilayers Prepared by Pulsed Laser Evaporation Method / V.A. Chernov, N.I. Chkhalo, M.V. Fedorchenko, E.P. Kruglyakov, S.V. Mytnichenko, S.G. Nikitenko // Journal of X-Ray Science and Technology. - 1995. - V.5. - P.65-72.
[A8] Chernov, V.A. Structural Changes Study of Co/C and Ni/C Multilayers upon Annealing / V.A. Chernov, N.I. Chkhalo, M.V. Fedorchenko, E.P. Kruglyakov, S.V. Mytnichenko, S.G. Nikitenko // Journal of X-Ray Science and Technology. - 1995. - V.5. - P.389-395. [A9] Chkhalo, N.I. The station for detector calibration in the soft X-ray range at the VEPP-2M storage ring / N.I. Chkhalo, A.V. Evstigneev, M.A. Kholopov, V.V. Lyakh, A.D. Nikolenko, V.F. Pindyurin, A.N. Subbotin // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. -1995. - V.359. - P.440-444.
[A10] Chkhalo, N.I. Status of X-ray mirror optics at the Siberian SR Centre / N.I. Chkhalo, M.V. Fedorchenko, N.V. Kovalenko, E.P. Kruglyakov, A.I. Volokhov, V.A. Chernov, S.V. Mytnichenko // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. - 1995. - V.359. -P.121-126.
[A11] Chkhalo, N.I. Ultradispersed diamond powders of detonation nature for polishing X-ray mirrors / N.I. Chkhalo, M.V. Fedorchenko, E.P. Kruglyakov, A.I. Volokhov, K.S. Baraboshkin, V.F. Komarov, S.I. Kostyakov, E.A. Petrov // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. - 1995. - V.359. - P.155-156.
[A12] Chkhalo, N.I. Al/Al2O3: new type of mirrors for intense synchrotron radiation beams / N.I. Chkhalo, M.V. Fedorchenko, A.V. Zarodyshev, V.A. Chernov, V.I. Kirillov, A.A. Nikiforov // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. - 1995. - V.359. -P.127-130.
[A13] Chernov, V.A. Fabrication and performance characteristics of a Ni/C multilayer grating for hard X-rays / V.A. Chernov, N.I. Chkhalo, N.V. Kovalenko, S.V. Mytnichenko // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. - 1995. - V.359. - P.138-140.
[A14] Chernov, V.A. The application of the X-ray standing wave method for study Ni/C layered structures obtained by laser-assisted deposition / V.A. Chernov, N.I. Chkhalo, I.P. Dolbnya, K.V. Zolotarev // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. - 1995. - V.359. - P.175-177.
[A15] Baryshev, V.B. X-ray fluorescence analysis of a surface oriented at the Bragg angle to the exciting radiation beam / V.B. Baryshev, N.I. Chkhalo, V.I. Kondratyev, G.N. Kulipanov // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. - 1995. - V.359. - P.310-311.
[A16] Chernov, V.A. Evolution of Interface Structure in Ni-C Multilayers Depending on Annealing Temperature: Use of Embedded Co Sublayers-Markers / V.A. Chernov, N.I. Chkhalo, S.G. Nikitenko // Journal de Physique 4 France 7. - 1997. - C2-699-C2-700.
[A17] Carraro, L. The ultra-soft x-ray multilayer mirror-based duochromator for the reverse field pinch experiment / L. Carraro, M.E. Puiatti, P. Scarin, M. Valisa, N. Chkhalo, E.P. Kruglyakov // Review of Scientific Instruments. - 1997. - V.68.No.1. - P.1043-1046.
[A18] Chkhalo, N.I. Reflectometer for precision tests of optical components in the ultrasoft X-ray range / N.I. Chkhalo, A.N. Kirpotin, E.P. Kruglyakov, E.P. Semenov // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. - 1998. - V.405. - P.393-395.
[A19] Chernov, V.A. X-ray performance of multilayer gratings: recent advantages at SSRC / V.A. Chernov, V.I. Erofeev, N.I. Chkhalo, N.V. Kovalenko, S.V. Mytnichenko // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. - 1998. - V.405. - P.310-318.
[A20] Chkhalo, N.I. Optimization of optical components of spectrometers based on multilayer mirrors for soft X-ray radiation / N.I. Chkhalo, E.P. Kruglyakov, E.P. Semenov // Plasma Devices and Operation. - 1999. -V.7. - P.123-132.
[A21] Erofeev, V.I. High resolution instruments based on X-ray multilayer gratings / V.I. Erofeev, N.V. Kovalenko, E.P. Kruglyakov, O.K. Myskin, N.I. Chkhalo // Plasma Devices and Operation. - 1999. -V.7. - P.173-180.
[A22] Коваленко, Н.В. Оптика многослойных рентгеновских решеток применительно к синхротронному излучению / Н.В. Коваленко, Н.И. Чхало, В.И. Ерофеев, В.А. Чернов, С.В. Мытниченко // Поверхность. - 1999. - №1. - С.124-129.
[A23] Волохов, А.И. Подложки для многослойных рентгеновских зеркал / А.И. Волохов, Э.П. Кругляков, Н.И. Чхало // Поверхность. -1999. - №1. - С.130-132.
[A24] Кругляков, Э.П. Спектрометры на основе многослойных рентгеновских зеркал для диагностики высокотемпературной плазмы / Э.П. Кругляков, А.Д. Николенко, Е.П. Семенов, Е.Д. Чхало, Н.И. Чхало // Поверхность. - 1999. - №1. - С.151-154.
[A25] Akhsakhalyan, A.D. Method for manufacturing of double-bent X-ray optics / A.D. Akhsakhalyan, N.I. Chkhalo, A.I. Kharitonov // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. - 2001. - V.470. -P.142-144.
[A26] Shmaenok, L.A. Multilayer based instrumentation developments for EUVL source metrology / L.A. Shmaenok, N.N. Salashchenko, N.I. Chkhalo, I.G. Zabrodin, S.Yu. Zuev, I.A. Kaskov, E.B. Klyuenkov, V.L. Sukhanov, V.V. Zabrodsky, V.P. Belik // Proceedings of International SEMATECH EUV Source Workshop, Santa Clara California, USA,February 23, 2003.
[A27] Бибишкин, М.С. Рефлектометрия в мягком рентгеновском и экстремальном ультрафиолетовом диапазонах / М.С. Бибишкин, И.Г. Забродин, С.Ю. Зуев, Е.Б. Клюенков, Н.Н. Салащенко, Д.П. Чехонадских, Н.И. Чхало, Л.А. Шмаенок // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2003. -№1. - С.70-77.
[A28] Ахсахалян, А.А. Особенности изготовления короткофокусных рентгеновских цилиндрических отражающих систем / А.А. Ахсахалян, А.Д. Ахсахалян, М.С. Бибишкин, Б.А. Володин, Е.Б. Клюенков, В.А. Муравьев, Н.Н. Салащенко, А.И. Харитонов, Н.И. Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2003. - №1. - С.81-85.
[A29] Бибишкин, М.С. Определение микрошероховатости поверхностей с помощью мягкого рентгеновского излучения / М.С. Бибишкин, С.Ю. Зуев, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2003. - №1. - С.94-96.
[A30] Бибишкин, М.С. Новая разборная трубка для мягкого рентгеновского излучения / М.С. Бибишкин, И.Г. Забродин, Е.Б. Клюенков, Н.Н. Салащенко, Д.П. Чехонадских, Н.И. Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2003. - №2. - С.41-45.
[A31] Бибишкин, М.С. Характеристики детекторов на основе МКП и каналовых умножителей при работе в счетном режим / М.С. Бибишкин, И.Г. Забродин, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Д.П. Чехонадских, Н. И. Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2003. - №7. - С.5-8. [A32] Andreev, S.S. Multilayer optics for XUV spectral region: technology fabrication and applications / S.S. Andreev, A.D. Akhsakhalyan, M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, S.V. Gaponov, S.A. Gusev, E.B. Kluenkov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, F. Schafers, S.Yu. Zuev // Central European Journal of Physics 1. - 2003. - P.191-209. [A33] Andreev, S.S. Short-period multilayer X-ray mirrors / S.S. Andreev, M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, E.B. Kluenkov, K.A. Prokhorov,
N.N. Salashchenko, M.V. Zorina, F. Schafers, L.A. Shmaenok // Journal of Synchrotron Radiation. - 2003. - V.10.No.5. - P.358-360. [A34] Shmaenok, L.A. Novel instrumentation for in- and out of band metrology of EUVL sources / L.A. Shmaenok, N.N. Salashchenko, N.I. Chkhalo, E.B. Kluenkov, A.Yu. Lopatin, K.A. Prokhorov, V.L. Sukhanov, V.V. Zabrodsky, V.P. Belik, V.Y. Banine // Proceedings of 2nd International Extreme Ultraviolet Symposium, Antwerp, Belgium, September 30-October 2, 2003.
[A35] Bibishkin, M.S. Apparatus and methods for investigations of multilayer mirrors in the 0.6-20 nm spectral range / M.S. Bibishkin, D.P. Chekhonadskih, N.I. Chkhalo, I.A. Kaskov, E.B. Klyuenkov, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, I.G. Zabrodin, S.Yu. Zuev // Proceedings of the 7th International Conference on the Physics of X-Ray Multilayer Structures, Rusutsu Resort, Sapporo, Japan, March 7-11, 2004. - O7-02.
[A36] Бибишкин, М.С. Двухзеркальный рефлектометр для относительных измерений коэффициентов отражения многослойных зеркал на длине волны 13.5 нм / М.С. Бибишкин, И.Г. Забродин, И.А. Каськов, Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Д.П. Чехонадских, Н.И. Чхало, Л.А. Шмаенок // Известия академии наук. Серия физическая. - 2004. - Т.68.№ 4. - С.560-564. [A37] Андреев, С.С. Поляризаторы и фазовращатели на основе многослойных зеркал и свободновисящих пленок для диапазона длин волн излучения 2.1-4.5 нм / С.С. Андреев, М.С. Бибишкин, Х. Кимура, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, К.А. Прохоров, Н.Н. Салащенко, Т. Хироно, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало // Известия академии наук. Серия физическая. - 2004. - Т.68.№4. - С.565-568.
[A38] Bibishkin, M.S. Laboratory methods for investigation of multilayer mirrors in Extreme Ultraviolet and Soft X-Ray region / M.S. Bibishkin, D.P. Chekhonadskih, N.I. Chkhalo, E.B. Klyuenkov, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, L.A. Shmaenok, I.G. Zabrodin, S.Yu. Zuev // Proceedingsof SPIE, 2004. - V.5401 - P.8-15.
[A39] Гапонов, С.В. Работы в области проекционной EUV-литографии в рамках российской программы / С.В. Гапонов, Е.Б. Клюенков, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, В.Е. Костюков, Л.А. Синегубко, В.Д. Скупов, А.Ю. Седаков // Материалы симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника», Нижний Новгород, Россия, 25-29 марта 2005. - Нижний Новгород: ИФМ РАН, 2005. - Т.1. - С.44-47.
[A40] Бибишкин, М.С. Исследование характеристик многослойных рентгеновских зеркал с ультракороткими периодами d = 0,7-2,4 нм /
М.С. Бибишкин, Ю.А. Вайнер, А.Е. Пестов, К.А. Прохоров, Н.Н. Салащенко, А.А. Фраерман, Н.И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. - 2005. - Т.69.№2. - С.199-206.
[A41] Bibishkin, M.S. Ultra-short period X-ray mirrors: Production and investigation / M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, A.A. Fraerman, A.E. Pestov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. - 2005. - V.543. - P.333-339.
[A42] Andreev, S.S. Application of free-standing multilayer films as polarizers for X-ray radiation / S.S. Andreev, M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, A.E. Pestov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. - 2005. - V.543. - P.340-345.
[A43] Андреев, С.С. Фазовращатели на основе свободновисящих многослойных структур Cr/Sc / С.С. Андреев, М.С. Бибишкин, H. Kimura, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, К. А. Прохоров, Н.Н. Салащенко, Т. Hirono, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало // Известия академии наук. Серия физическая. - 2005. - Т.69.№ 2. - С.207-210.
[A44] Бибишкин, М.С. Рефлектометр с модернизированной оптической схемой для исследования элементов рентгенооптики в диапазоне 0,6-20 нм / М.С. Бибишкин, И.Г. Забродин, С.Ю. Зуев, Е. Б. Клюенков, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Е.П. Чехонадских, Н. И. Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2005. - №2. - С.23-27.
[A45] Andreev, S.S. Transmission type phase retarders based on free standing Cr/Sc multilayers / S.S. Andreev, M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, T. Hirono, H. Kimura, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, N.N. Tsybin // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. - 2005. - V.543. - P.340-345.
[A46] Gaponov, S.V. Research activity in the field of projection EUV-Lithography within the framework of the Russian program / S.V. Gaponov, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, N.I. Chkhalo // Abstracts of International Conference "Micro- and nanoelectronics - 2005", Zvenigorod, Russia, October 3-7, 2005. - O1-01.
[A47] Панкратов, Е.Л. Тепловые нагрузки рентгеновских трубок с неподвижным анодом при длительных выдержках / Е.Л. Панкратов, Н.И. Чхало // Теплофизика высоких температур. - 2006. - Т.44.№5. - С.570-576.
[A48] Барышева,М.М. Поляризационные и фазовращательные свойства многослойных рентгеновских зеркал с флуктуирующими параметрами. Численный анализ / М.М. Барышева, А.М. Сатанин, Н. И. Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2006. - №2. - С.96-100.
[A49] Вайнер, Ю.А. Исследование поперечной корреляции шероховатостей границ в многослойных структурах с ульра-короткими периодами / Ю.А. Вайнер, А.Е. Пестов, К.А. Прохоров, Н.Н. Салащенко, А.А. Фраерман, В.В. Чернов, Н.И. Чхало // Журнал экспериментальной и теоретической физики. - 2006. - Т.130.№3. -С.401-408.
[A50] Забродин, И.Г. Новая мощная трубка на длину волны 13,5 нм / И.Г. Забродин, И.А. Каськов, Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, Д.Г. Раскин, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, В.А. Кузнецов, В.М. Артюхов // Материалы симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника», Нижний Новгород, Россия, 13-17 марта 2006. - Т.2. - С.387-388.
[A51] Вайнер, Ю.А. Многослойные рентгеновские зеркала на основе W/B4C с ульракороткими (d = 0.7 - 1.5 нм) периодами / Ю.А. Вайнер, Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, К.А. Прохоров, Н.Н. Салащенко, А.А. Фраерман, В.В. Чернов, Н.И. Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2007. -№1. - С.10-16.
[A52] Климов, А.Ю. Экспериментальные исследования возможностей интерферометра с дифракционной волной сравнения для контроля формы оптических элементов / А.Ю. Климов, Е.Б. Клюенков, А. Л. Мизинов, Е.Л. Панкратов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Е. Д. Чхало, Н. И. Чхало, Н.Б. Вознесенский // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2007. - №6. - С.99-103.
[A53] Забродин, И.Г. Абсолютно калиброванный измеритель ЭУФ-мощности для аттестации и оптимизации источников излучения на 13,5 нм / И.Г. Забродин, Б.А. Закалов, С.Ю. Зуев, И.А. Каськов, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, Н.Н. Салащенко, Л.А. Суслов, А.Е. Пестов, Н. И. Чхало, Л.А. Шмаенок // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2007. - №6. - С.104- 107.
[A54] Ахсахалян, А.А. Стенд для исследования фокусирующих свойств двоякоизогнутых рентгеновских зеркал / А.А. Ахсахалян, А.Д. Ахсахалян, Е.Б. Клюенков, Н.Н. Салащенко, А.И. Харитонов,
Н.И. Чхало, О.И. Бугаенко, С.В. Кузин, А.А. Перцов, С.В. Шестов // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2007. - №7. - С.79-81.
[A55] Барышева, М.М. Изучение строения и отражательных характеристик в окрестности К-края поглощения бора La/B4C(B9C) многослойных структур / М.М. Барышева, С.С. Андреев, Ю.А. Вайнер, С. Ю. Гусев, С.Ю. Зуев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, H. Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Материалы совещания «Рентгеновская оптика - 2008», Черноголовка, Россия, 6-9 октября 2008. - С.32-34.
[A56] Пестов А.Е. Флуоресценция многослойных мишеней в окрестности 13,5 нм при возбуждении быстрыми электронами / А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Материалы симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника», Нижний Новгород, Россия, 10-14 марта 2008. - Т.1. - С.220-221.
[A57] Забродин, И.Г. Рефлектометр для изучения оптики МР и ЭУФ диапазона / И.Г. Забродин, Б.А. Закалов, И.А. Каськов, Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Материалы симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника», Нижний Новгород, Россия, 10-14 марта 2008. - Т.1. - С.222-223.
[A58] Субботин, А.Н. Результаты тестирования рентгеновского спектрографа на базе многослойного зеркала с переменным по длине периодом / А.Н. Субботин, И.А. Гусихина, Н.В. Жидков, Н.И. Чхало, И.А. Щелоков // Digest reports of the XVII International Synchrotron Radiation Conference SR-2008, Novosibirsk, Russia, June 15 - 20, 2008. - P.1-9.
[A59] Chkhalo, Nikolay I. Capabilities of microinterferometer with digital recording of images for studying micro-objects with sub-nanometer resolution / Nikolay I. Chkhalo, Denis G. Raskin, and Nikolay N. Salashchenko // Proc. SPIE, 2008. - V.7025. - P.702512. [A60] Chkhalo, Nikolay I. A plane wave diffraction on a pin-hole in a film with a finite thickness and real electrodynamic properties / Nikolay I. Chkhalo, Illarion A. Dorofeev, Nikolay N. Salashchenko, and Mikhail N. Toropov // Proc. SPIE, 2008. - V.7025. - P.702507.
[A61] Chkhalo, Nikolay I. A new source of a reference spherical wave for a point diffraction interferometer / Nikolay I. Chkhalo, Alexander Y. Klimov, Denis G. Raskin, Vladimir V. Rogov, Nikolay N. Salashchenko, and Mikhail N. Toropov // Proc. SPIE, 2008. - V.7025. - P.702506.
[A62] Chkhalo, Nikolay I. Manufacturing and investigation of objective lens for ultrahigh resolution lithography facilities / Nikolay I. Chkhalo, Evgeniy B. Kluenkov, Aleksey E. Pestov, Denis G. Raskin, Nikolay N. Salashchenko, and Mikhail N. Toropov // Proc. SPIE, 2008. - V.7025. -P.702505.
[A63] Bibishkin, M. S. Multilayer Zr/Si filters for EUV lithography and for radiation source metrology / M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, N. N. Tsybin, and S. Y. Zuev // Proc. SPIE, 2008. - V.7025. - P.702502.
[A64] Chkhalo, N. Investigation of fluorescence on wavelength 13.5 nm of x-ray tube for nanolithographer / N. Chkhalo, I. Zabrodin, I. Kas´kov, E. Kluenkov, A. Pestov, and N. Salashchenko // Proc. SPIE, 2008. - V.7025. - P.702504.
[A65] Chkhalo, N. Correction of the EUV mirror substrate shape by ion beam / N. Chkhalo, L. Paramonov, A. Pestov, D. Raskin, and N. Salashchenko // Proc. SPIE, 2008. - V.7025 - P.702503. [A66] Забродин, И.Г. Разборные рентгеновские трубки для исследований в диапазоне длин волн 0,6-20 нм / И.Г. Забродин, Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Материалы совещания «Рентгеновская оптика - 2008», Черноголовка, Россия, 6¬9 октября 2008. - С.44-46.
[A67] Климов, А.Ю. Источник сферической волны на основе зонда ближнепольного микроскопа / А.Ю.Климов, В.В. Рогов, Н.Н. Салащенко, Н. И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. -Т.72.№2. - С.221-223.
[A68] Клюенков, Е.Б. Коррекция формы оптических поверхностей с субнанометровой точностью. Проблемы, статус, перспективы / Е.Б. Клюенков, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т.72.№2. - С.205-208.
[A69] Пестов, А.Е. Моделирование интенсивности излучения рентгеновских трубок в мягком рентгеновском и экстремальном ультрафиолетовом диапазоне / А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т.72.№2. - С.218-220.
[A70] Салащенко, Н.Н. Коротковолновая проекционная литография / Н. Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Вестник Российской Академии Наук. - 2008. - Т.78.№5. - С.13-20.
[A71] Салащенко, Н.Н. Влияние неровностей субмикронных отверстий на дифракцию света / М.Н. Торопов, Н.И. Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2008. - №7. - С.3-5.
[A72] Chkhalo, N.I. A source of a reference spherical wave based on a single mode optical fiber with a narrowed exit aperture / N.I. Chkhalo, A.Yu. Klimov, V.V. Rogov, N.N. Salashchenko, and M.N. Toropov // Rev. Sci. Instrum. - 2008. - V.79. - P.033107.
[A73] М.С. Бибишкин, Е.Д. Казаков, Ю.С.Касьянов, В.И. Лучин, Н.Н. Салащенко, В.В. Чернов, Н.И. Чхало, А.П. Шевелько. Новые фокусирующие многослойные структуры для рентгеновской спектроскопии плазмы // Квантовая электроника 2008. №2. 169-171.
[A74] Бороздин, Ю.Э. Рентгеновская и ВУФ спектроскопия плазмы с использованием новых фокусирующих многослойных структур / Ю.Э. Бороздин, Е.Д. Казаков, В.И. Лучин, Н.Н. Салащенко, И.Ю. Толстихина, В.В. Чернов, Н.И. Чхало, А.П. Шевелько, О.Ф. Якушев // Письма в ЖЭТФ. - 2008. - Т.87.Вып.1. - С.33-35.
[A75] Водопьянов, А.В. Источник жесткого ультрафиолетового излучения на основе ЭЦР разряда / А.В. Водопьянов, С.В. Голубев, Д.А. Мансфелд, А.Г. Николаев, К.П. Савкин, Н.Н. Салащенко, Н.И.
Чхало, Г.Ю. Юшков // Письма в ЖЭТФ. - 2008. - Т.88.Вып.2. - С.103-106.
[A76] Клюенков, Е.Б. Измерение и коррекция формы оптических элементов с субнанометровой точностью / Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Д.Г. Раскин, М.Н. Торопов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Российские нанотехнологии. - 2008. -Т.3.№9-10. - С.90-98.
[A77] Клюенков, Е.Б. Работы по созданию и аттестации рентгенооптических элементов и систем сверхвысокого разрешения в ИФМ РАН / Е.Б. Клюенков, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. - 2009. - Т.73.№1. - С.66-70. [A78] Горай, Л.И. Определение углов наклона и высот граней квантовых точек из анализа диффузного и зеркального рентгеновского рассеяния / Л.И. Горай, Н.И. Чхало, Г.Э. Цырлин // Журнал технической физики. - 2009. - Т.79.№4. - С.117-124.