Научная тема: «ТЕОРИЯ ДИФРАКЦИИ РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ОТ НЕОДНОРОДНЫХ СЛОИСТЫХ СРЕД»
Специальность: 01.04.07
Год: 2014
Основные научные положения, сформулированные автором на основании проведенных исследований:
  1. Применение теории возмущений по высоте шероховатостей для исследования особенностей дифракции РИ от шероховатых слоисто-неоднородных сред и анализа экспериментальных данных по отражению и рассеянию РИ.
  2. Методики определения скэйлинговых экспонент и PSD-функций границ раздела сред в in-situ исследованиях шероховатости растущих/эродирующих поверхностей.
  3. Точное решение фазовой проблемы в in-situ рефлектометрии растущих слоистых структур.
  4. Самосогласованный безмодельный подход к исследованию 3D структуры слоистых образцов.
  5. Аналитическая теория отражения РИ от многослойных структур с монотонно изменяющимся периодом и основанный на ней подход к проблеме синтеза (конструирования) широкополосных рентгеновских зеркал.
  6. Аналитическая теория отражения и дифракции РИ от ламелларных многослойных структур, работающих в одномодовом режиме.
Список опубликованных работ
A1. Виногpадов, А.В. Об эффекте полного внешнего отpажения pентгеновских лучей / А.В. Виногpадов, Н.Н. Зоpев, И.В. Кожевников, И.Г. Якушкин // ЖЭТФ. - 1985. - Т. 89. - С. 2124-2132.

A2. Виногpадов, А.В. Об особенностях диффузного pассеяния пpи отpажении pентгеновско-го излучения / Виногpадов, Н.Н. Зоpев, И.В. Кожевников, С.И. Сагитов, А.Г. Туpьянский // Пpепpинт ФИАН. - 1986. - № 319. - 31 с.

A3. Виногpадов, А.В. О pассеянии pентгеновского излучения слабошеpоховатыми повеpхно-стями / А.В. Виногpадов, Н.Н. Зоpев, И.В. Кожевников, С.И. Сагитов, А.Г. Туpьянский // ЖЭТФ. - 1988. - Т. 94. - С. 203-216.

A4. Виноградов, А.В. Зеркальная рентгеновская оптика / А.В. Виноградов, И.А. Брытов, А.Ю. Грудский, М.Т. Коган, И.В. Кожевников, В.А. Слемзин, 1989. - Л.: Машиностроение. - 464 с.

A5. Виногpадов, А.В. О пpименимости метода TIS для исследования шеpоховатости свеpх-гладких повеpхностей по pассеянию pентгеновского излучения / А.В. Виногpадов, И.В. Кожевников, М.М. Митpопольский, В.А. Слемзин // Кpаткие сообщения по физике. - 1989. -№ 11. - С. 29-31.

A6. Виногpадов, А.В. Отpажение и pассеяние pентгеновского излучения от шеpоховатых по-веpхностей / А.В. Виногpадов, И.В. Кожевников, // Рентгеновская оптика. - Тpуды ФИАН. - Т.196. М.: Наука. - 1989. - С. 18-46.

A7. Vinogradov, A.V. Investigation of superpolished surfaces by X-ray scattering / A.V. Vinogradov, I.A. Artyukov, S.S. Borisova, N.N. Zorev, I.V. Kozhevnikov, I.F. Mikhailov, S.I. Sagitov, A.I. Fedorenko // Proceedings of SPIE. - 1989. - V. 1140. - P. 490-499.

A8. Borisova, S.S. Determination of the roughness spectrum of superpolished surfaces by measuring X-ray scattering / S.S. Borisova, I.F. Mikhailov, I.V. Kozhevnikov, A.V. Vinogradov // Optical & Acoustical Review. - 1990. - V. 1. - P. 183-195.

A9. Mikerov, V.I. Investigation of interfaces with grazing incident neutron radiation / V.I. Mikerov, A.V. Vinogradov, I.V. Kozhevnikov, F.A. Pudonin, V.A. Tukarev, M.P. Yakovlev // Physica B. - 1991. - V. 174. - P. 174-176.

A10. Каpабеков, А.Ю. Рассеяние pентгеновского излучения шеpоховатой пленкой / А.Ю. Каpабеков, И.В. Кожевников // Пpепpинт ФИАН. - 1993. - № 6. - 47 с.

A11. Karabekov, A.Yu. Interference suppression of X-ray scattering under total external refection from rough surfaces / A.Yu Karabekov, I.V. Kozhevnikov, V.E. Fedyukovich // Journal of X-Ray Science and Technology. - 1993. - V. 4. - P. 37-43.

A12. Kozhevnikov, I.V. X-ray investigations of supersmooth surfaces / I.V. Kozhevnikov, V.E. Asadchikov, B.M. Alaudinov, A.Yu. Karabekov, A.V. Vinogradov // Proceedings of SPIE. - 1994.- V. 2253. - P. 679-690.

A13. Karabekov, A.Yu. Pecularities of X-ray scattering by thin flm roughness / A.Yu. Karabekov, I.V. Kozhevnikov // Proceedings of SPIE. - 1995. - V. 2453. - P. 176-185.

A14. Kozhevnikov, I.V. Refection and scattering of x-rays from rough surfaces / I.V. Kozhevnikov, A.V. Vinogradov // Journal of Russian Laser Research. - 1995. - V. 16. - P. 229-258.

A15. Кожевников, И.В. О pассеянии волн от шеpоховатой повеpхности конечных pазмеpов / И.В. Кожевников // Повеpхность. - 1998. - № 11. - С. 18-24.

A16. Асадчиков, В.Е. Экспеpиментальные исследования коppеляции шеpоховатостей пленки и подложки методом pентгеновского pассеяния / В.Е. Асадчиков, А.Ю. Каpабеков, В.В. Клечковская, И.В. Кожевников, В.Е. Левашов, С.И. Сагитов // Кpисталлогpафия. - 1998. -Т. 43. - С. 119-130.

A17. Асадчиков, В.Е. Исследования микpошеpоховатостей свеpхгладких повеpхностей методом pассеяния pентгеновского излучения / В.Е. Асадчиков, Е.Е. Андpеев, А.В. Виногpадов, А.Ю. Каpабеков, И.В. Кожевников, Ю.С. Кpивоносов, А.А. Постнов, С.И. Сагитов // По-веpхность. - 1998. - № 7. - С. 17-29.

A18. Kozhevnikov, I.V. Theoretical study of multilayer x-ray mirrors with a wide spectral band of refection / I.V. Kozhevnikov, N.I. Bukreeva, E. Ziegler // Proceedings of SPIE. - 1998. - V. 3448. - P. 322-331.

A19. Kozhevnikov, I.V. Comparative study of the roughness of optical surfaces and thin flms using atomic force microscopy, x-ray scattering and light scattering methods / I.V. Kozhevnikov, V.E. Asadchikov, A. Duparr´e, O.N. Gilev, N.A. Havronin, Yu.S. Krivonosov, V.I. Ostashev, J. Steinert // Proceedings of SPIE. - 1999. - V. 3739. - P. 348-354.

A20. Asadchikov, V.E. X-ray and AFM studies of ultrathin flms for EUV and soft X-ray applications / V.E. Asadchikov, A. Duparr´e, I.V. Kozhevnikov, Yu.S. Krivonosov, S.I. Sagitov // Proceedings of SPIE. - 1999. - V. 3738. - P. 387-393.

A21. Ziegler, E. Depth-graded multilayer mirrors for the hard x-ray spectral region: theory, inverse and direct problems / E. Ziegler, I.N. Bukreeva, I.V. Kozhevnikov, A.S. Pirozhkov, E.N. Ragozin // Proceedings of SPIE. - 1999. - V. 3737. - P. 386-395.

A22. Asadchikov, V.E. Comparative study of the roughness of optical surfaces and thin flms by use of x-ray scattering and atomic force microscopy / V.E. Asadchikov, A. Duparr´e, S. Jakobs, A.Yu. Karabekov, I.V. Kozhevnikov, Yu.S. Krivonosov // Applied Optics. - 1999. - V. 38. - P. 684-691.

A23. Асадчиков, В.Е. Изучение микpоpельефа повеpхности некотоpых матеpиалов для ми-кpоэлектpоники методом pассеяния pентгеновского излучения в условиях полного внешнего отpажения / В.Е. Асадчиков, А.Ю. Каpабеков, И.В. Кожевников, Ю.С. Кpивоносов, С.И. Сагитов // Известия ВУЗов. Матеpиалы электpонной техники. - 1999. - № 1. - С. 65-69.

A24. Kozhevnikov, I.V. Use of DWBA and perturbation theory in x-ray control of the surface roughness / I.V. Kozhevnikov, M.V. Pyatakhin // Journal of X-Ray Science and Technology. -2000. - V. 8. - P. 253-275.

A25. Kozhevnikov, I.V. X-ray study of the roughness of surfaces and interfaces / I.V. Kozhevnikov, V.E. Asadchikov, I.N. Bukreeva, A. Duparr´e, Yu.S. Krivonosov, C. Morawe, V.I. Ostashev, M.V. Pyatakhin, E. Ziegler // Proceedings of SPIE. - 2000. - V. 4099. - P. 267-278.

A26. Kozhevnikov, I.V. Design of x-ray supermirrors / I.V. Kozhevnikov, I.N. Bukreeva, E. Ziegler // Nuclear Instruments and Methods A. -2001. - V. 460. - P. 424-443.

A27. Асадчиков, В.Е. Метод pентгеновского pассеяния в изучении пpоцесса полиpовки свеpх-гладких подложек / В.Е. Асадчиков, А.В. Виногpадов, В.Н. Зpюев, И.В. Кожевников, Ю.С. Кpивоносов, Р. Меpсье, И. Намба, С.И. Сагитов, М. Ямамото // Заводская лабоpатоpия. Диагностика матеpиалов. - 2001. - Т. 67. - С. 19-23.

A28. Duparr´e, A. Surface charcterization of optical components for the DUV, VUV and EUV / A. Duparr´e, I. Kozhevnikov, S. Gilech, J. Steinert, G. Notni // Microelectronics Engineering. - 2001. - V. 57-58. - P. 65-70.

A29. Ziegler, E. Wide-band multilayer mirrors for medium to hard x-ray applications / E. Ziegler, C. Morawe, I.V. Kozhevnikov, T. Bigault, C. Ferrero, A. Tallinder // Proceedings of SPIE. - 2002. - V. 4782. P.

A30. Morawe, C. Design and fabrication of depth-graded x-ray multilayers / C. Morawe, E. Ziegler, J.-C. Pefen, I.V. Kozhevnikov // Nuclear Instruments and Methods A. - 2002. - V. 493. - P. 189-198.

A31. Morawe, C. Depth-graded multilayers / C. Morawe, J.-C. Pefen, I.V. Kozhevnikov // J. Physique IV France. - 2003. - V. 104. - P. 239-240.

A32. Асадчиков, В.Е. Рентгеновские исследования тонких пленок и пpиповеpхностных слоев твеpдых тел / В.Е. Асадчиков, И.В. Кожевников, Ю.С. Кpивоносов // Кpисталлогpафия. -2003. - Т. 48. - С. S43-S58.

A33. Асадчиков, В.Е. Рентгеновские исследования повеpхностных шеpоховатостей / В.Е. Асадчиков, И.В. Кожевников, Ю.С. Кpивоносов // Кpисталлогpафия. - 2003. - Т. 48. - С. 897-911.

A34. Kozhevnikov, I.V. Physical analysis of the inverse problem of X-ray refectometry / I.V. Kozhevnikov // Nuclear Instruments and Methods A. - 2003. - V. 508. - P. 519-541.

A35. Kozhevnikov, I.V. Analysis of X-ray scattering from a rough multilayer mirror in the frst-order perturbation theory / I.V. Kozhevnikov // Nuclear Instruments and Methods A. - 2003. -V. 498. - P. 482-495.

A36. Asadchikov, V.E. Application of x-ray scattering technique to the study of supersmooth surfaces / V.E. Asadchikov, I.V. Kozhevnikov, Yu.S. Krivonosov, R. Mercier, T.H. Metzger, C. Morawe, E. Ziegler // Nuclear Instruments and Methods A. - 2004. - V. 530. - P. 575-595.

A37. Peverini, L. Roughness conformity during tungsten flm growth: An in situ synchrotron x-ray scattering study / L. Peverini, E. Ziegler, T. Bigault, I. Kozhevnikov // Physical Review B. - 2005. - V. 71. - P. 045445-6.

A38. Кожевников, И.В. Конструирование, изготовление и исследование широкополосных рентгеновских зеркал / И.В. Кожевников, А.С. Воронов, Б.С. Рощин, В.Е. Асадчиков, К.Н. Медников, А.С. Пирожков, Е.Н. Рагозин, Дж. Ванг, Дж. Джонг, Ф. Ванг // Кристаллография. - 2006. - Т. 51. - С. 1146-1152.

A39. Peverini, L. Dynamic scaling of roughness at the early stage of tungsten flm growth / L. Peverini, E. Ziegler, T. Bigault, I. Kozhevnikov // Physical Review B. - 2007. - V. 76. - P. 045411-5.

A40. Peverini, L. Dynamic scaling in ion etching of tungsten flms / L. Peverini, E. Ziegler, I. Kozhevnikov // Applied Physics Letters. - 2007. - V. 91. - P. 053121-3.

A41. Peverini, L. Dynamic scaling in sputter grown tungsten thin flms / L. Peverini, E. Ziegler, I. Kozhevnikov // Thin Solid Films. - 2007. - V. 515. - P. 5541-5545.

A42. Peverini, L. Real-time X-ray refectometry during thin-flm processing / L. Peverini, I. Kozhevnikov, E. Ziegler // Phys. Stat. Sol. (a). - 2007. - V. 204. - P. 2785-2791.

A43. Kozhevnikov, I. Exact solution of the phase problem in in-situ X-ray refectometry of growing layered flms / I. Kozhevnikov, L. Peverini, E. Ziegler // Journal Applied Physics. - 2008. - V. 104. - P. 054914-6.

A44. Kozhevnikov, I. Exact determination of the phase in time-resolved x-ray refectometry / I. Kozhevnikov, L. Peverini, E. Ziegler // Optics Express. - 2008. - V. 14. - P. 144-149.

A45. Кожевников, И.В. Влияние поверхностных шероховатостей на эффективность рентгеновских зеркал с шепчущими модами / И.В. Кожевников // Кристаллография. - 2009. - Т. 54. - С. 350-355.

A46. Filatova, E.O. Investigation of the structure of thin HfO2 flms by soft x-ray refectometry techniques / E.O. Filatova, A.A. Sokolov, I.V. Kozhevnikov, E.Yu. Taracheva, O.S. Grunsky, F. Schaefers, W. Braun // Journal of Physics: Condensed Matter. - 2009. - V. 21. - P. 185012-7.

A47. Filatova, E. Atomic ordering in TiO2 thin flms studied by X-ray refection spectroscopy / E. Filatova, E. Taracheva, G. Shevchenko, A. Sokolov, I. Kozhevnikov, S. Yulin, F. Schaefers, W. Braun // Phys. Stat. Solidi B. 2009. - V. 246. - P. 1454-1458.

A48. Kozhevnikov, I.V. Design of X-ray multilayer mirrors with maximal integral efciency / I.V. Kozhevnikov, C. Montcalm // Nuclear Instruments and Methods A. - 2010. - V. 624. - P. 192-202.

A49. Filatova, E.O. Evolution of surface morphology at the early stage of Al2O3 flms growth on a rough substrate / E.O. Filatova, L. Peverini, E. Ziegler, I.V. Kozhevnikov, P. Jonnard, J.-M. Andr´e // Journal of Physics: Condensed Matter. - 2010. - V. 22. - P. 345003-8.

A50. Кожевников, И.В. Общие закономерности отражения рентгеновского излучения от шероховатых поверхностей. I. Закон сохранения энергии / И.В. Кожевников // Кристаллография. - 2010. - Т. 55. - С. 581-587.

A51. de Rooij-Lohmann, V.I.T.A. Roughness evolution of Si surfaces upon Ar ion erosion / V.I.T.A. de Rooij-Lohmann, I.V. Kozhevnikov, L. Peverini, E. Ziegler, R. Cuerno, F. Bijkerk, A.E. Yakshin // Applied Surface Science. - 2010. - V. 256. - P. 5011-5014.

A52. Kozhevnikov, I.V. High-resolution, high-refectivity operation of lamellar multilayer amplitude gratings: identifcation of the single-order regime / I.V. Kozhevnikov, R. van der Meer, H. J. M. Bastiaens, K.-J. Boller, F. Bijkerk // Optics Express. - 2010. - V. 18. - P. 16234-16242.

A53. Yakshin, A.E. Broadband depth-graded multilayer mirrors for EUV optical systems / A. E. Yakshin, I. V. Kozhevnikov, E. Zoethout, E. Louis, F. Bijkerk // Optics Express. - 2010. - V. 18.- P. 6957-6971.

A54. van der Meer, R. Improved resolution for soft-x-ray monochromatization using lamellar multilayer gratings / R. van der Meer, B. Krishnan, I.V. Kozhevnikov, M.J. de Boer, B. Vratzov, H.M.J. Bastiaens, J. Huskens, W.G. van der Wiel, P.E. Hegeman, C.G.S. Brons, K.-J. Boller, F. Bijkerk // Proceedings of SPIE. - 2011. - V. 8139. - P. 81390Q-8.

A55. Kozhevnikov, I.V. Analytic theory of soft X-rays difraction by lamellar multilayer gratings / I.V. Kozhevnikov, R. van der Meer, H.J.M. Bastiaens, K.-J. Boller, F. Bijkerk // Optics Express. - 2011. - V. 19. - P. 9172-9184.

A56. Кожевников, И.В. Обратные задачи в теории многослойных рентгеновских зеркал / И.В. Кожевников // Сборник материалов 3-й международной молодежной научной школы-семинара “Современные методы анализа дифракционных данных” (В. Новгород, 12-16 сентября 2011 г.) - С.64-65.

A57. Filatova, E.O. Characterization of High-k Dielectrics Internal Structure by X-Ray Spect-roscopy and Refectometry. New Approaches to Inter Layer Identifcation and Analysis / E.O. Filatova, I.V. Kozhevnikov, A.A. Sokolov // High-k Gate Dielectrics for SMOS Technology, 2012. - Weinhem: Wiley-VCH Verlag. - Gang He, Ed. - Chapter 7. - P. 225-271.

A58. Кожевников, И.В. Общие закономерности отражения рентгеновского излучения от шероховатых поверхностей. II. Конформные шероховатости / И.В. Кожевников // Кристаллография. - 2012. - Т. 57. - С.417-426.

A59. Kozhevnikov, I.V. Development of a self-consistent free-form approach for studying the three-dimensional morphology of a thin flm / I.V. Kozhevnikov, L. Peverini, E. Ziegler // Physical Review B. - 2012. - V. 85. - P. 125439-15.

A60. Ziegler, E. Comparative study of the morphology of tungsten flms after deposition, erosion and oxidation treatments / E. Ziegler, I. V. Kozhevnikov, L. Peverini // 11th Biennial Conference of High Resolution X-Ray Difraction and Imaging (XTOP 2012, S.Petersburg, 15-20 September 2012). Book of abstracts. - 2012. - P.343.

A61. Filatova, E.O. Soft X-ray refectometry, hard X-ray photoelectron spectroscopy and transmission electron microscopy investigations of the internal structure of TiO2(Ti) / SiO2 / Si stacks / E.O. Filatova, I.V. Kozhevnikov, A.A. Sokolov, E.V. Ubiyvovk, S. Yulin, M. Gorgoi, F. Schaefers // Science and Technology of Advanced Materials. - 2012. - V. 13. - P. 015001-12.

A62. van der Meer, R. Extended theory of soft x-ray refection for realistic lamella multilayer gratings / R. van der Meer, I.V. Kozhevnikov, H.M.J. Bastiaens, K.-J. Boller, F. Bijkerk // Optics Express. - 2013. V. 21. - P. 13105-13117.

A63. van der Meer, R. Single-order operation of lamellar multilayer gratings in the soft x-ray spectral range / R. van der Meer, I. Kozhevnikov, B. Krishnan, J. Huskens, W. van der Wiel, P. Hegeman, C. Brons, B. Bastiaens, K. Boller, F. Bijkerk // AIP Advances. - 2013. - V. 3. - P. 012103-7.